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一种三维立体传输结构的分段式设计方法
1
作者
栗辰烨
李振松
缪旻
《半导体光电》
CAS
北大核心
2020年第3期362-367,共6页
随着信号频率以及芯片集成密度的持续增长,三维集成系统内部面临严重的耦合噪声问题。针对三维集成技术中广泛使用的硅通孔(TSV)和水平重布线层(RDL)构成的三维互连结构,提出了一种基于分段传输线(STL)的三维互连结构优化设计方案。通...
随着信号频率以及芯片集成密度的持续增长,三维集成系统内部面临严重的耦合噪声问题。针对三维集成技术中广泛使用的硅通孔(TSV)和水平重布线层(RDL)构成的三维互连结构,提出了一种基于分段传输线(STL)的三维互连结构优化设计方案。通过将三维互连结构传输线按STL模式划分为数个传输线片段生成复数反射波,并运用基因算法(GA)筛选片段特征信息,从而优化反射波叠加效果,实现对传输过程中产生的信号损失进行补偿。仿真结果表明,该方法可以有效改善三维互连结构中由于耦合噪声造成的信号反射问题,提升系统传输性能。
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关键词
硅通孔(TSV)
水平布线层(RDL)
分段传输线(STL)
基因算法(GA)
三维集成技术
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职称材料
题名
一种三维立体传输结构的分段式设计方法
1
作者
栗辰烨
李振松
缪旻
机构
北京信息科技大学信息与通信工程学院
北京大学微米纳米加工技术国家重点实验室
出处
《半导体光电》
CAS
北大核心
2020年第3期362-367,共6页
基金
国家自然科学基金项目(61674016,U1537208)
北京市自然科学基金项目(4162026)
北京市科技新星计划交叉学科合作资助课题(Z161100004916036)
文摘
随着信号频率以及芯片集成密度的持续增长,三维集成系统内部面临严重的耦合噪声问题。针对三维集成技术中广泛使用的硅通孔(TSV)和水平重布线层(RDL)构成的三维互连结构,提出了一种基于分段传输线(STL)的三维互连结构优化设计方案。通过将三维互连结构传输线按STL模式划分为数个传输线片段生成复数反射波,并运用基因算法(GA)筛选片段特征信息,从而优化反射波叠加效果,实现对传输过程中产生的信号损失进行补偿。仿真结果表明,该方法可以有效改善三维互连结构中由于耦合噪声造成的信号反射问题,提升系统传输性能。
关键词
硅通孔(TSV)
水平布线层(RDL)
分段传输线(STL)
基因算法(GA)
三维集成技术
Keywords
TSV
RDL
STL
GA
three-dimensional integration technology
分类号
TN402 [电子电信—微电子学与固体电子学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
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1
一种三维立体传输结构的分段式设计方法
栗辰烨
李振松
缪旻
《半导体光电》
CAS
北大核心
2020
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