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考虑温度影响的高灵敏度微压力传感器 被引量:2
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作者 乔晶 陈德媛 +2 位作者 段亚丽 梁吴燕 谷云斌 《半导体光电》 北大核心 2017年第6期806-809,867,共5页
提出了一种考虑温度影响的基于光子晶体的微压力传感器,传感器由微压力传感和温度传感两部分构成,其中微压力传感部分测量的是所处温度环境下的压力值。两部分传感器均利用波导和腔的耦合实现带阻滤波功能,根据带阻滤波器的模式在所处... 提出了一种考虑温度影响的基于光子晶体的微压力传感器,传感器由微压力传感和温度传感两部分构成,其中微压力传感部分测量的是所处温度环境下的压力值。两部分传感器均利用波导和腔的耦合实现带阻滤波功能,根据带阻滤波器的模式在所处温度下线性红移,分别计算相应的温度值和该温度下的压力值,并通过热光效应和热膨胀效应计算出温度对器件材料折射率的影响,从而得到真实的微压力。文中对结构参数进行了优化设计,实现了1.33nm/μN的微压力灵敏度。 展开更多
关键词 光子晶体 压力传感器 温度 悬臂
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基于光子晶体波导和腔耦合的光单向传输结构 被引量:1
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作者 段亚丽 陈德媛 +2 位作者 乔晶 谷云斌 梁吴燕 《固体电子学研究与进展》 CAS CSCD 北大核心 2018年第4期292-296,300,共6页
设计并优化了一种紧凑、简洁易实现的光单向传输结构,该结构基于硅柱型二维正方格子光子晶体,以空气为背景材料,在光子晶体中引入两个相互垂直的线缺陷形成波导W1和W2,同时引入点缺陷形成腔连接两个波导,利用腔和两个波导之间模式的匹... 设计并优化了一种紧凑、简洁易实现的光单向传输结构,该结构基于硅柱型二维正方格子光子晶体,以空气为背景材料,在光子晶体中引入两个相互垂直的线缺陷形成波导W1和W2,同时引入点缺陷形成腔连接两个波导,利用腔和两个波导之间模式的匹配与否,实现单向传输。设计的单向传输中心波长为通信波长1.55μm。当偶模式的入射光在该结构的W1→腔→W2光路上传输时,由于腔模式和两侧的波导模式均匹配,光路导通,中心波长处透射率达到96.5%;而同样模式的光在逆向W2→腔→W1光路上,由于W2内传播的光模式和腔模式不匹配,无法耦合到腔中,透射效率几乎为0。本结构的仿真和光的传输特性分析是应用COMSOL和Rsoft软件实现的。该结构在未来的全光集成电路中有可能得到广泛应用。 展开更多
关键词 光子晶体 波导 谐振腔 模式匹配
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基于等离激元的双边耦合谐振腔T形波分复用器
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作者 谷云斌 陈德媛 +2 位作者 梁吴燕 夏雨 陈兵 《半导体光电》 CAS 北大核心 2018年第6期774-779,共6页
设计了一种基于等离激元的具有对称双边耦合谐振腔的T形波分复用器,与单边耦合的结构相比,新结构由于对称谐振腔的相互耦合,透射波振幅得到了加强,因此系统的透射特性得到了一定的提升。对透射特性的分析采用模式耦合理论,并且用有限元... 设计了一种基于等离激元的具有对称双边耦合谐振腔的T形波分复用器,与单边耦合的结构相比,新结构由于对称谐振腔的相互耦合,透射波振幅得到了加强,因此系统的透射特性得到了一定的提升。对透射特性的分析采用模式耦合理论,并且用有限元法(FEM)进行数值仿真。仿真结果表明,此结构的各信道共振波长可通过改变结构的几何参数来调节,同时对填充在谐振腔中的介质折射率有着较强的响应。两个端口处的透射峰波长分别为1 310和1 550nm,透射率分别达到了67%和70%,对于未来光通信和光子集成光路具有重要的参考价值。 展开更多
关键词 表面等离激元 波分复用器 谐振腔 光通信
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