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题名面向微电子超声键合的精密气浮定位平台特性分析
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作者
梁存满
王福军
杨庆国
张大卫
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机构
天津大学机械工程学院
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出处
《焊接学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2014年第6期77-80,117,共5页
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基金
国家自然科学基金资助项目(51205279)
天津市应用基础与前沿技术青年项目(13JCQNJC04100)
天津大学北洋学者青年骨干教师项目(60301014)
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文摘
基于有限元方法,详细考察了两自由度气浮支撑定位平台的静动态特性.建立了定位平台的有限元模型,分别对其进行了静态、模态和瞬态分析.通过静态分析,考察了系统在静力载荷作用下的响应特性;经模态分析,获取了定位平台的固有频率以及模态振型;通过施加脉冲力激励,探讨了系统的脉冲响应,通过方波力信号模拟定位平台的实际工作状态,得到了定位平台的瞬态响应特性.结果表明,该定位平台具有良好的静动态特性,为该类气浮支撑定位平台的结构优化设计与控制提供了重要信息.
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关键词
气浮支撑
定位平台
特性分析
有限元方法
超声键合
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Keywords
air-supported
positioning table
characteristic analysis
finite element method
ultrasonic bonding
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分类号
TN405
[电子电信—微电子学与固体电子学]
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题名谈马丽散对松软煤层区的加固作用
被引量:2
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作者
梁存满
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机构
龙煤集团双鸭山分公司七星煤矿
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出处
《河北煤炭》
2006年第1期29-30,共2页
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文摘
双鸭山矿业集团首次在七星煤矿东四区综采面遇岩包时,采取注射马丽散对岩包上部松软煤层区域的加固,获得了成功。采取该措施,使回采循环进度加快,安全程度高,大大降低了职工的劳动强度,适应高产高效的需要,取得了可观的经济效益。
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关键词
岩包
马丽散
加固
松软煤层
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分类号
TD265.4
[矿业工程—矿井建设]
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