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题名多层二硫化钼薄膜的制备及其接触电极研究
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作者
梁成豪
鄢传宗
包惠萍
马玲玉
张晓波
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机构
电子科技大学微电子与固体电子学院
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出处
《电子世界》
2014年第12期242-242,共1页
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文摘
单分子层二硫化钼(MoS2)是一种具有直接带隙1.8eV的二维半导体,因其特殊的六方晶系层状结构,其晶体管比硅晶体管体积更小、更省电。通过采取化学气相沉积(CVD)法制备二硫化钼薄膜,利用电子束蒸发长约几纳米的金属钼薄膜,金属钼和硫粉在CVD系统发生化学反应生成均匀连续的二硫化钼薄膜,在这过程中硫蒸汽会腐蚀硅基底,所以要采用转移工艺把制备的MoS2薄膜转移到新硅基底上。通过光刻、长电极等工艺在MoS2薄膜沉积Ni、Ti、Al金属电极,采用探针法测试MoS2晶体管的I-V特性曲线,研究不同金属电极对接触电阻大小的影响,并找出接触电阻最小且最适合作接触电极的金属材料。
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关键词
二硫化钼(MoS2)
化学气相沉积(CVD)
转移
接触电阻
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分类号
O484.1
[理学—固体物理]
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题名基于MIPS架构的软件性能探究工具
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作者
梁成豪
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机构
电子科技大学
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出处
《电子技术与软件工程》
2018年第8期61-62,共2页
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文摘
如今,人们更多的是利用高级语言(如C语言)去开发软件。而随着业务和计算的复杂度提高,以及软件运行平台本身的影响,如何理想地探究单个软件性能成了一个难以完成的任务。本文就在计算机体系结构仿真工具Simple Scalar之上,通过引入统计方式方法,来使在纯净环境下探究MIPS架构下C应用程序的性能成为可能。
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关键词
软件性能
计算机体系结构
SIMPLESCALAR
MIPS
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分类号
TP311.53
[自动化与计算机技术—计算机软件与理论]
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