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题名声光调Q Nd:YAG激光对硅划片的研究
被引量:3
- 1
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作者
齐军
王昆林
梁绵长
朱允明
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机构
清华大学机械工程系
澳门大学科技学院
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出处
《材料工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
1999年第3期45-48,共4页
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文摘
研究了利用调QNdYAG激光对硅片的激光划片,得出了刻槽深度和宽度与工艺参数之间的关系。还从理论上探讨了划片时激光束和材料的相互作用过程,推导了激光束使材料发生熔化和汽化时的能量密度阈值。
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关键词
激光划片
硅片
能量密度阈值
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Keywords
laser scribing silicon
wafer energy density threshold
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分类号
TN305.1
[电子电信—物理电子学]
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题名InSb的激光划片研究
- 2
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作者
齐军
王昆林
梁绵长
朱允明
方鸣岗
虞孝舜
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机构
清华大学机械系
澳门大学科技学院
华北光电技术研究所
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出处
《激光与红外》
CAS
CSCD
北大核心
1999年第2期88-91,共4页
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文摘
研究了对InSb的激光划片过程,得出了刻槽深度和宽度随着脉冲重复频率、工作电流和刻划速度的变化规率。
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关键词
InSb晶片
激光划片
脉冲频率
激光加工
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Keywords
InSb wafer,laser scribing,pulse frequency
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分类号
TG665
[金属学及工艺—金属切削加工及机床]
TN305.1
[电子电信—物理电子学]
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题名激光脉冲重复频率对InSb划片的影响
被引量:1
- 3
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作者
齐军
王昆林
梁绵长
朱允明
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机构
清华大学机械工程学院
澳门大学科技学院
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出处
《微细加工技术》
1999年第3期69-73,共5页
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文摘
激光划片是半导体工业中一种有效的划片方法。目前在半导体材料划片中多采用调 Q Nd: Y A G 激光器。脉冲重复频率是这种激光器的一个重要参数,它影响着激光器的平均输出功率、脉冲峰值功率以及脉冲宽度等特性。因此,脉冲重复频率对激光划片效果有重要影响。研究了利用调 Q Nd: Y A G 激光对 In Sb 的激光划片,得出了刻槽深度和宽度与脉冲重复频率之间的关系。还从理论上探讨了划片时激光束和材料的相互作用过程,分析了各种刻槽形成的原因。
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关键词
激光器
脉冲重复频率
激光划片
INSB
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Keywords
Q switched Nd:YAG laser
pulse frequency
laser scribing
InSb
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分类号
TN248.34
[电子电信—物理电子学]
TN248.109
[电子电信—物理电子学]
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题名激光打标的标记对比度的分析
被引量:3
- 4
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作者
齐军
王昆林
梁绵长
朱允明
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机构
清华大学机械工程系
澳门大学科技学院
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出处
《应用激光》
CSCD
北大核心
1999年第1期32-34,共3页
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文摘
设计了一种能对标记对比度进行定量分析的装置,并对调QNd:YAG激光在45#钢上所打标记进行了分析.得出了标记对比度随各工艺参数的变化规律;标记处的能谱图表明了材料氧化程度和标记对比度的关系.
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关键词
激光打标
对比度
45钢
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Keywords
laser marking
contrast
carbon steel
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分类号
TG665
[金属学及工艺—金属切削加工及机床]
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题名激光熔凝镍基热喷涂层残余应力的X射线衍射分析
被引量:11
- 5
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作者
朱允明
张人佶
窦建清
梁绵长
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机构
清华大学机械工程系
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出处
《中国激光》
EI
CAS
CSCD
北大核心
1993年第7期530-535,共6页
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文摘
本文用X射线衍射法研究了45号钢基体上镍基热喷涂层经激光熔凝处理后的残余应力。
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关键词
激光熔凝
镍基
热喷涂层
残余应力
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Keywords
laser melting and consolidation, Ni- based thermal sprayed coating, residual stress, X-ray diffraction
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分类号
TG156.99
[金属学及工艺—热处理]
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