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声光调Q Nd:YAG激光对硅划片的研究 被引量:3
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作者 齐军 王昆林 +1 位作者 梁绵长 朱允明 《材料工程》 EI CAS CSCD 北大核心 1999年第3期45-48,共4页
研究了利用调QNdYAG激光对硅片的激光划片,得出了刻槽深度和宽度与工艺参数之间的关系。还从理论上探讨了划片时激光束和材料的相互作用过程,推导了激光束使材料发生熔化和汽化时的能量密度阈值。
关键词 激光划片 硅片 能量密度阈值
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InSb的激光划片研究
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作者 齐军 王昆林 +3 位作者 梁绵长 朱允明 方鸣岗 虞孝舜 《激光与红外》 CAS CSCD 北大核心 1999年第2期88-91,共4页
研究了对InSb的激光划片过程,得出了刻槽深度和宽度随着脉冲重复频率、工作电流和刻划速度的变化规率。
关键词 InSb晶片 激光划片 脉冲频率 激光加工
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激光脉冲重复频率对InSb划片的影响 被引量:1
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作者 齐军 王昆林 +1 位作者 梁绵长 朱允明 《微细加工技术》 1999年第3期69-73,共5页
激光划片是半导体工业中一种有效的划片方法。目前在半导体材料划片中多采用调 Q Nd: Y A G 激光器。脉冲重复频率是这种激光器的一个重要参数,它影响着激光器的平均输出功率、脉冲峰值功率以及脉冲宽度等特性。因此,脉冲重... 激光划片是半导体工业中一种有效的划片方法。目前在半导体材料划片中多采用调 Q Nd: Y A G 激光器。脉冲重复频率是这种激光器的一个重要参数,它影响着激光器的平均输出功率、脉冲峰值功率以及脉冲宽度等特性。因此,脉冲重复频率对激光划片效果有重要影响。研究了利用调 Q Nd: Y A G 激光对 In Sb 的激光划片,得出了刻槽深度和宽度与脉冲重复频率之间的关系。还从理论上探讨了划片时激光束和材料的相互作用过程,分析了各种刻槽形成的原因。 展开更多
关键词 激光器 脉冲重复频率 激光划片 INSB
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激光打标的标记对比度的分析 被引量:3
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作者 齐军 王昆林 +1 位作者 梁绵长 朱允明 《应用激光》 CSCD 北大核心 1999年第1期32-34,共3页
设计了一种能对标记对比度进行定量分析的装置,并对调QNd:YAG激光在45#钢上所打标记进行了分析.得出了标记对比度随各工艺参数的变化规律;标记处的能谱图表明了材料氧化程度和标记对比度的关系.
关键词 激光打标 对比度 45钢
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激光熔凝镍基热喷涂层残余应力的X射线衍射分析 被引量:11
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作者 朱允明 张人佶 +1 位作者 窦建清 梁绵长 《中国激光》 EI CAS CSCD 北大核心 1993年第7期530-535,共6页
本文用X射线衍射法研究了45号钢基体上镍基热喷涂层经激光熔凝处理后的残余应力。
关键词 激光熔凝 镍基 热喷涂层 残余应力
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