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紫外激光切割Si片的实验研究 被引量:19
1
作者 楼祺洪 章琳 +2 位作者 叶震寰 董景星 魏运荣 《激光技术》 CAS CSCD 北大核心 2002年第4期250-251,254,共3页
报道了用 193nm准分子激光切割硅片的实验结果。采用柱透镜光学系统及“热劈裂法”获得小于 15 μm的切缝及小于 5
关键词 紫外激光 切割 实验 硅片 半导体 柱透镜光学 热劈裂法
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高功率光纤激光器研究进展 被引量:69
2
作者 楼祺洪 周军 +1 位作者 朱健强 王之江 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2006年第2期135-138,共4页
高功率掺镱双包层光纤激光器由于在效率、散热和光束质量方面的优势,在工业加工、医疗和国防等领域具有广泛的应用前景,是目前国际上激光技术研究的热点之一。首先综述了国际上高功率光纤激光器的研究进展情况,然后重点介绍了中国科学... 高功率掺镱双包层光纤激光器由于在效率、散热和光束质量方面的优势,在工业加工、医疗和国防等领域具有广泛的应用前景,是目前国际上激光技术研究的热点之一。首先综述了国际上高功率光纤激光器的研究进展情况,然后重点介绍了中国科学院上海光学精密机械研究所在连续光纤激光和脉冲光纤激光方面所取得的进展,采用双端泵浦技术,在15 m的国产双包层光纤中获得440W的连续输出,采用MOPA方式,以4m长的国产光纤作为放大介质,在100kHz时,获得了133W的平均功率输出。 展开更多
关键词 激光技术 光纤激光器 双包层掺镱光纤
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光纤激光作为激光武器的能力分析 被引量:31
3
作者 楼祺洪 周军 王之江 《激光技术》 CAS CSCD 北大核心 2003年第3期161-165,共5页
简要介绍了高功率光纤激光的发展 ,分析了双包层光纤激光器作为激光武器的可能性 ,并给出了实现高能单模激光输出的主要技术方案。
关键词 双包层光纤激光 激光武器 模式控制 相干组束
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高功率脉冲双包层光纤激光器的新进展 被引量:14
4
作者 楼祺洪 周军 +1 位作者 孔令峰 薛冬 《量子电子学报》 CAS CSCD 北大核心 2005年第4期510-515,共6页
对高功率脉冲双包层光纤激光器的国内外研究进展进行评述,通过建立了小信号瞬态增益模型,对脉冲激光信号经过双包层光纤放大后的波形进行了数值模拟。分析了基于MOPA方式脉冲双包层光纤激光器的几个问题,报道了中科院上海光机所采用振荡... 对高功率脉冲双包层光纤激光器的国内外研究进展进行评述,通过建立了小信号瞬态增益模型,对脉冲激光信号经过双包层光纤放大后的波形进行了数值模拟。分析了基于MOPA方式脉冲双包层光纤激光器的几个问题,报道了中科院上海光机所采用振荡-放大(MOPA)方法获得133.8 W平均功率脉冲放大输出的实验结果。 展开更多
关键词 激光技术 脉冲光纤激光器 双包层光纤 主振荡-放大(MOPA)
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光纤激光器及其相干组束 被引量:25
5
作者 楼祺洪 何兵 周军 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2007年第2期155-159,共5页
简述了光纤激光器的发展历史,重点介绍了双包层光纤激光器的进展并给出了高功率双包层光纤激光器的最新研究结果。评述了目前国内外高亮度激光的关键技术:光纤激光器的相干组束。介绍了几种典型的相干组束技术并分析了其工作原理。最后... 简述了光纤激光器的发展历史,重点介绍了双包层光纤激光器的进展并给出了高功率双包层光纤激光器的最新研究结果。评述了目前国内外高亮度激光的关键技术:光纤激光器的相干组束。介绍了几种典型的相干组束技术并分析了其工作原理。最后给出了相干组束研究的最新结果。 展开更多
关键词 光纤激光器 双包层光纤 相干组束
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双包层光纤激光器及其在军事中的应用 被引量:15
6
作者 楼祺洪 朱健强 +2 位作者 周军 朱晓峥 王之江 《装备指挥技术学院学报》 2003年第5期28-32,共5页
高功率双包层光纤激光器是国际上新近发展的一种新型固体激光器件,它具有散热面积大、光束质量好、体积紧凑等优点.在简要介绍高功率双包层激光器的原理、特点以及发展现状的基础上,介绍了中科院上海光机所在半导体泵浦技术、光纤耦合... 高功率双包层光纤激光器是国际上新近发展的一种新型固体激光器件,它具有散热面积大、光束质量好、体积紧凑等优点.在简要介绍高功率双包层激光器的原理、特点以及发展现状的基础上,介绍了中科院上海光机所在半导体泵浦技术、光纤耦合技术及光纤激光器方面的主要研究成果;讨论了光纤激光器在军事上的应用,重点分析了光纤激光器作为空间激光武器的可能性;最后给出了实现高功率单模激光输出的技术方案. 展开更多
关键词 双包层光纤激光器 军事应用 半导体泵浦 光纤耦合 空间激光武器 光束质量
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高性能透明激光陶瓷及陶瓷激光器的最新应用进展 被引量:4
7
作者 楼祺洪 漆云凤 +1 位作者 周军 蔡虹 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2008年第6期993-997,共5页
激光陶瓷的出现,为固体激光材料向高功率、大尺寸、多功能发展提供了全新的途径,从而为激光技术的发展提供了更加灵活广阔的设计空间。介绍了近年来国际国内透明激光陶瓷及陶瓷激光器发展的最新进展,并展望了陶瓷激光器的未来发展价值... 激光陶瓷的出现,为固体激光材料向高功率、大尺寸、多功能发展提供了全新的途径,从而为激光技术的发展提供了更加灵活广阔的设计空间。介绍了近年来国际国内透明激光陶瓷及陶瓷激光器发展的最新进展,并展望了陶瓷激光器的未来发展价值。高功率陶瓷激光器方面:中科院上海光学精密机械研究所采用超均匀侧面泵浦技术在1at.%Nd:YAG陶瓷棒中获得输出功率236W,斜率效率62%的连续激光输出。美国利弗莫尔实验室采用Sm3+包边Nd:YAG复合结构陶瓷热容激光器实现了5Hz,67kW激光输出。陶瓷激光器方面,日本World-Labo.Co实验室采用掺杂浓度为15at.%的Yb:YSAG透明陶瓷,获得脉冲宽度280fs,平均输出能量为62mW的锁模脉冲激光输出。陶瓷自调Q脉冲激光器和陶瓷光纤激光器亦有很大进展。陶瓷激光器的开发和应用不仅延伸到传统固体激光器的各个研究领域,并且能够不断突破现有固体激光技术的局限,有望推动未来固体激光工程向更广阔的空间发展。 展开更多
关键词 激光陶瓷 陶瓷激光器 透明陶瓷
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先进光纤激光技术 被引量:3
8
作者 楼祺洪 杜松涛 周军 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2008年第S3期1-7,共7页
高光束质量、高峰值功率、小型化的短脉冲激光系统在激光雷达、光谱学、精密探测等领域有非常广泛的应用。在脉冲光纤激光器方面,针对调Q双包层光纤激光、脉冲调制LD技术及其多级光纤级联放大系统、基于调Q固体激光器的全光纤型MOPA系... 高光束质量、高峰值功率、小型化的短脉冲激光系统在激光雷达、光谱学、精密探测等领域有非常广泛的应用。在脉冲光纤激光器方面,针对调Q双包层光纤激光、脉冲调制LD技术及其多级光纤级联放大系统、基于调Q固体激光器的全光纤型MOPA系统进行了详细的理论分析和实验研究,研制出了全光纤化的脉冲光纤激光器。这些工作为全光纤化脉冲光纤激光器的研制和推广奠定了基础。 展开更多
关键词 光纤激光 声光调Q 光纤放大器 全光纤
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用脉冲紫外激光预处理提高刀具的金刚石涂层的附着强度 被引量:1
9
作者 楼祺洪 李铁军 +3 位作者 董景星 魏运荣 周军 刘晶儒 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2003年第8期746-750,共5页
 采用脉冲紫外激光(XeCl,308nm)表面消融预处理方法以硬质合金为衬底制备了金刚石涂层刀具。利用压痕法对涂层结合强度进行了测试,得到了最佳预处理工艺条件。采用碳化硅增强铝合金材料对制备的金刚石涂层刀具进行了实际切削性能实验...  采用脉冲紫外激光(XeCl,308nm)表面消融预处理方法以硬质合金为衬底制备了金刚石涂层刀具。利用压痕法对涂层结合强度进行了测试,得到了最佳预处理工艺条件。采用碳化硅增强铝合金材料对制备的金刚石涂层刀具进行了实际切削性能实验。实验结果表明:脉冲紫外激光表面消融预处理方法的采用对刀具的金刚石薄膜涂层附着强度的提高有很大的帮助。 展开更多
关键词 脉冲紫外激光 脉冲激光消融 金刚石涂层刀具 附着强度
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纳米玻璃和晶体的光谱特性研究 被引量:1
10
作者 楼祺洪 郑隽 +2 位作者 董景星 魏运荣 丁爱臻 《量子电子学报》 CAS CSCD 1998年第1期110-111,共2页
关键词 纳米玻璃 晶体 光谱 激光技术
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激光技术新进展及其在光伏产业中的应用 被引量:14
11
作者 楼祺洪 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2012年第12期3187-3192,共6页
自从1960年世界上第一台红宝石激光器问世以来,激光技术有了很大的发展,已经从实验室走向应用。激光技术的一些新进展包括:光学设备和材料,从中红外到紫外波段新材料;激光应用中的新型激光源、光纤传感、激光冷却、激光加工;光伏技术:... 自从1960年世界上第一台红宝石激光器问世以来,激光技术有了很大的发展,已经从实验室走向应用。激光技术的一些新进展包括:光学设备和材料,从中红外到紫外波段新材料;激光应用中的新型激光源、光纤传感、激光冷却、激光加工;光伏技术:薄膜电池、有机光伏电池、高效光伏电池。重点介绍了以透明陶瓷为代表的新型激光材料,以光纤激光为代表的新型激光器结构,以掺铥光纤激光器为代表的中红外激光器;并介绍了激光技术在光伏太阳能产业中的应用。 展开更多
关键词 激光材料 激光陶瓷 光纤激光器 光伏太阳能
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准分子激光微细加工 被引量:3
12
作者 楼祺洪 章琳 《杭州师范大学学报(自然科学版)》 CAS 2002年第4期72-76,共5页
准分子激光对无机和有机材料都有着很好的消融和蚀刻性能 .
关键词 准分子激光 消融 蚀刻 微细加工
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波导管中高压氢气受激拉曼散射特性研究 被引量:2
13
作者 楼祺洪 叶震寰 +2 位作者 高鸿奕 魏运荣 董景星 《量子电子学》 CSCD 1993年第2期116-119,共4页
本文研究了波导管中准分子激光泵浦高压氢气的高效受激拉曼散射特性,并从理论上分析了采用波导结构后转换效率提高的原因。
关键词 受激拉曼散射 准分子激光 波导管
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光刻技术的历史与现状 被引量:12
14
作者 楼祺洪 袁志军 张海波 《科学》 2017年第3期32-36,共5页
集成电路的飞速发展有赖于相关的制造工艺——光刻技水的发展,光刻技术是迄今所能达到的最高精度的加工技术。
关键词 激光光刻 大规模集成电路 短波长激光器
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激光在电子器件工业中的应用 被引量:3
15
作者 楼祺洪 《电子器件》 CAS 1999年第1期1-4,共4页
激光加工按加工尺度可分为宏观加工,微细加工和光刻,本文重点讨论激光在电子器件工业中微细加工及光刻中的应用。
关键词 激光加工 微细加工 光刻 集成电路 IC芯片
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光纤和光纤激光器 被引量:8
16
作者 楼祺洪 张海波 袁志军 《科学》 2018年第2期32-37,2+4,共6页
光纤和光纤激光器的发展推动了国民经济的进步。高功率光纤激光器以其优越的性能和超值的价格,将会成为人类认识世界、改造世界的有力工具。
关键词 光纤 光纤激光器 激光武器
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脉冲放电时间对XeCl准分子激光输出的影响 被引量:2
17
作者 楼祺洪 《激光杂志》 CAS 1986年第4期195-199,共5页
本文研究了脉冲放电时间对X光预电离XeCl脉冲雪崩放电激光器激光和荧光特性的影响。结果表明限止放电型XeCl准分子激光脉冲持续时间的因素是HCl在放电过程中分解产生的H对XeCl(B)态的猝灭效应。
关键词 XECL准分子激光 脉冲持续时间 激光输出 放电时间 放电激光器 荧光特性 猝灭效应 放电过程 预电离 HCl
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双向对称泵浦染料激光器特性研究
18
作者 楼祺洪 薛绍林 +1 位作者 董景星 魏运荣 《大连理工大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1997年第S2期45-45,共1页
双向对称泵浦染料激光器特性研究楼祺洪薛绍林董景星魏运荣(中国科学院上海光机所201800)激光核聚变是当前激光科学领域最活跃的方向之一,它需要高能量、高功率和高质量的激光光束。对于棒状固体激光介质,由于热量分布不均匀... 双向对称泵浦染料激光器特性研究楼祺洪薛绍林董景星魏运荣(中国科学院上海光机所201800)激光核聚变是当前激光科学领域最活跃的方向之一,它需要高能量、高功率和高质量的激光光束。对于棒状固体激光介质,由于热量分布不均匀引起热透镜和热效应力效应,很难满足... 展开更多
关键词 染料激光器 准分子激光 中国科学院 光束质量 特性研究 能量转换效率 输出激光 侧面泵浦 激光腔 激光介质
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20瓦横向流动X光预电离XeCl准分子激光器
19
作者 楼祺洪 霍芸生 +4 位作者 董景星 丁爱臻 魏运荣 丁泽安 王润文 《激光杂志》 CAS 1987年第1期66-70,共5页
自从1975年稀有气体卤化物准分子激光器出现以来,这类激光器已被誉为新一代紫外光源。近几年来,在高能激光武器、激光核聚变、激光同位素分离、激光化学、激光半导体材料表面处理、微电子加工和激光医学等方面都获得了很大的进展。在... 自从1975年稀有气体卤化物准分子激光器出现以来,这类激光器已被誉为新一代紫外光源。近几年来,在高能激光武器、激光核聚变、激光同位素分离、激光化学、激光半导体材料表面处理、微电子加工和激光医学等方面都获得了很大的进展。在这些应用中,所需要的激光平均功率也日益提高, 展开更多
关键词 准分子激光器 XECL 横向流动 预电离 激光同位素分离 X光 高能激光武器 材料表面处理 激光核聚变 微电子加工
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准分子激光及其在微细加工中的应用
20
作者 楼祺洪 《电子器件》 CAS 1994年第2期13-19,共7页
本文介绍准分子激光发展历史基本原理及其特性,并讨论了准分子激光在微细加工中的应用。
关键词 准分子激光 微细加工 应用
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