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直管式反应室感应耦合等离子体技术制备氮化硅薄膜研究 被引量:2
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作者 樊双莉 陈俊芳 +5 位作者 吴先球 赵文锋 孙辉 符斯列 向鹏飞 蒙高庆 《华南师范大学学报(自然科学版)》 CAS 2004年第4期65-69,共5页
采用直管式反应感应耦合等离子体增强化学气相沉积法(ICPECVD)制备氮化硅薄膜,并用傅立叶变换红外光谱仪测试了氮化硅薄膜的红外光谱,结果表明氮化硅薄膜中不仅存在Si-N键,而且由于杂质氢的存在而含有Si-H键和N-H键.用朗缪尔单探针测试... 采用直管式反应感应耦合等离子体增强化学气相沉积法(ICPECVD)制备氮化硅薄膜,并用傅立叶变换红外光谱仪测试了氮化硅薄膜的红外光谱,结果表明氮化硅薄膜中不仅存在Si-N键,而且由于杂质氢的存在而含有Si-H键和N-H键.用朗缪尔单探针测试了直管式反应室中的等离子体参数,得到离子密度Ni在反应室内轴向以及径向位置的变化规律,弄清了离子密度Ni分布比较均匀的区域,分析了离子密度Ni分布的均匀性对等离子体干法刻蚀和薄膜制备的影响和意义. 展开更多
关键词 感应耦合等离子体 氮化硅薄膜 离子密度 直管 薄膜制备 化学气相沉积法 等离子体参数 反应室 并用 增强
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等离子体参数诊断及其特性研究 被引量:14
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作者 符斯列 陈俊芳 +3 位作者 吴先球 赵文峰 樊双莉 马涛 《华南师范大学学报(自然科学版)》 CAS 2004年第2期77-81,共5页
利用朗缪尔探针,诊断了Pw=650W、Im=145A、p=0 1Pa条件下在微波电子回旋共振等离子体增强有机金属化学气相沉积ECR-PEMOCVD装置反应室中ECR等离子体密度和电子温度的空间分布规律并分析了磁场对等离子体分布的影响.上游I区的等离子体受... 利用朗缪尔探针,诊断了Pw=650W、Im=145A、p=0 1Pa条件下在微波电子回旋共振等离子体增强有机金属化学气相沉积ECR-PEMOCVD装置反应室中ECR等离子体密度和电子温度的空间分布规律并分析了磁场对等离子体分布的影响.上游I区的等离子体受磁场梯度影响、按磁场位形扩散且等离子体分布不均匀;下游II区的等离子体具有良好的径向分布均匀性.下游Ⅱ区z=30cm、直径为16cm区域内等离子体密度均匀性达到了96 3%.这种大面积均匀分布的等离子体在等离子体加工工艺中具有广泛的应用. 展开更多
关键词 等离子体参数诊断 朗缪尔探针 电子温度 离子密度 ECR-PEMOVD 微波电子回旋共振
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纳米粉体材料氮化硅的ICP制备技术和红外光学特性 被引量:2
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作者 赵文锋 陈俊芳 +3 位作者 吴先球 熊予莹 符斯列 樊双莉 《华南师范大学学报(自然科学版)》 CAS 2004年第2期72-76,共5页
采用ICP等离子体化学气相沉积技术,用硅烷和氮气为反应气体合成氮化硅纳米粉体.利用朗缪尔探针诊断了反应室内等离子体参数,得到不同位置、不同功率和不同气压下等离子体密度的变化规律,等离子体密度随着功率的增大而增大,随着气压的升... 采用ICP等离子体化学气相沉积技术,用硅烷和氮气为反应气体合成氮化硅纳米粉体.利用朗缪尔探针诊断了反应室内等离子体参数,得到不同位置、不同功率和不同气压下等离子体密度的变化规律,等离子体密度随着功率的增大而增大,随着气压的升高而减小,由于离子鞘层的存在,提供了局部等离子体密度稳定的区域.利用傅立叶红外光谱仪分析了氮化硅纳米粉体红外光谱和键态结构的特性,结果表明:氮化硅的表面特性和纳米材料的表面效应导致富氧层的存在. 展开更多
关键词 纳米粉体材料 氮化硅 ICP 制备技术 红外光学特性 等离子体化学气相沉积 陶瓷材料
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Tunneling-induced ultraslow bright and dark solitons in quantum wells
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作者 樊双莉 石义萍 +1 位作者 张红军 孙辉 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2012年第11期237-241,共5页
We show the formation of tunneling-induced ultraslow bright and dark solitons in an asymmetric double-quantum- well structure based on the tunneling induced transparency. In this semiconductor structure, the pump fiel... We show the formation of tunneling-induced ultraslow bright and dark solitons in an asymmetric double-quantum- well structure based on the tunneling induced transparency. In this semiconductor structure, the pump field is replaced by the electron-tunneling coupling, which can be modulated by a static electric field. With appropriate conditions, we demonstrate by modulating the intensity of the static electric field that the interplay between the group velocity dispersion and the self-Kerr nonlinearity results in the generation of dark and bright solitons with ultraslow group velocity. 展开更多
关键词 optical solitons quantum wells tunneling induced transparency
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Ion Density Distribution in an Inductively Coupled Plasma Chamber 被引量:4
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作者 陈俊芳 赵文锋 +2 位作者 吴先球 樊双莉 符斯列 《Plasma Science and Technology》 SCIE EI CAS CSCD 2004年第2期2233-2236,共4页
The ion density distribution in the reaction chamber was diagnosed by a Langmuir probe. The rules of the ion density distribution were obtained under the pressures of 9 Pa, 13 Pa, 27 Pa and 53 Pa in the reaction chamb... The ion density distribution in the reaction chamber was diagnosed by a Langmuir probe. The rules of the ion density distribution were obtained under the pressures of 9 Pa, 13 Pa, 27 Pa and 53 Pa in the reaction chamber, different radio-frequency powers and different positions. The result indicates that the ion density decreases as the pressure increases, and increases as the power decreases. The ion density of axial position z =0 achieves 5.8×1010 on the center of coil under the power of 200 w and pressure of 9 Pa in the reaction chamber. 展开更多
关键词 inductively coupled plasma ion density distribution angmuir probe
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