大尺寸高端显示器件用薄膜晶体管Al–Mo复合电极坡度的形成过程与可控调节

栅极坡度角(PA)对薄膜晶体管(TFT)性能和良率具有重要影响,如何将坡度角调节到合适的范围是TFT量产中关键技术之一.本文以大尺寸高端显示器件用a-Si TFT的Al/Mo、Mo/Al/Mo电极在磷酸系溶液下刻蚀得到的坡度角为研究对象,探究了膜层结构、Mo厚度、刻蚀时间对坡度角的影响.结果表明:在Al/Mo结构中,随着顶Mo厚度增加,Al与光刻胶之间的间隙增加,刻蚀液更易侵入,侧向刻蚀增强,坡度角减小;在Mo/Al/Mo三层电极结构中,随着底Mo厚度增加,底Mo和中间临近的Al侧壁发生电偶腐蚀,Al侧壁上形成氧化物钝化层,Al刻蚀速率减慢,坡度角变小.水池效应将导致刻蚀液残留在电极底部,阻碍新鲜刻蚀液与底部接触,底部刻蚀速率低于顶部;故当刻蚀时间延长时,底部和顶部刻蚀速率差进一步增大,导致坡度角减小.得到了Mo/Al/Mo坡度角与顶Mo和底Mo厚度回归方程,为调节坡度角和优选Mo厚度提供了依据.此电极坡度角的调节技术可为确保TFT的良率和性能提供参考.

一种新型阻燃抗熔滴共聚酯的合成及表征

双酚A与碳酸乙烯酯反应得到改性单体双（羟乙基）双酚A（BHEEB）,BHEEB与对苯二甲酸、乙二醇及阻燃剂[（6-氧代-6H-二苯并[c,e][1,2]氧磷杂己环-6-基）甲基]丁二酸（DDP）通过无规共聚合成了一种新型阻燃共聚酯PBPET.用1H-NMR、ICP-AES对共聚酯的结构进行了表征,用热重分析（TGA）、氧指数（LOI）测定、垂直燃烧测试等对共聚酯的热稳定性、阻燃性和熔滴行为进行了研究.结果表明,BHEEB可以提高共聚酯的热稳定性,含5 mol%BHEEB与4.8 mol%DDP的共聚酯P4.8B5PET,其TGA测试中600℃下氮气氛残炭（wt6R00）可达18.0%.燃烧测试表明,P4.8B5PET的LOI值可达37.0,垂直燃烧达V-0级,并且改性单体BHEEB的引入还能有效地改善聚酯燃烧时的熔滴行为.