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化学腐蚀法研究蓝宝石单晶中的位错缺陷
被引量:
11
1
作者
吕海涛
张维连
+1 位作者
左燕
步云英
《半导体技术》
CAS
CSCD
北大核心
2004年第4期48-51,共4页
采用化学腐蚀-金相显微镜法和SEM法观察了CZ法生长的直径50mm的蓝宝石单晶中的位错缺陷.发现位错分布状况为中心较低、边缘较高,密度大约为104~10 5cm-2.在不同温度不同的试剂以及不同的腐蚀时间进行对比结果发现,用KOH腐蚀剂在290℃...
采用化学腐蚀-金相显微镜法和SEM法观察了CZ法生长的直径50mm的蓝宝石单晶中的位错缺陷.发现位错分布状况为中心较低、边缘较高,密度大约为104~10 5cm-2.在不同温度不同的试剂以及不同的腐蚀时间进行对比结果发现,用KOH腐蚀剂在290℃下腐蚀15min时,显示的位错最为清晰、准确,效果最佳.
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关键词
化学腐蚀
蓝宝石单晶
位错缺陷
KOH腐蚀剂
金相显微镜
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职称材料
多频法测量高温超导薄膜表面电阻
2
作者
李伟
阎少林
+3 位作者
路荣涛
何明
步云英
毕笃彦
《南开大学学报(自然科学版)》
CAS
CSCD
北大核心
2004年第1期107-111,共5页
本文对介质谐振器法测量高温超导薄膜微波表面电阻的方法进行了详细的研究 ,并对测试系统的损耗提出了新的计算方法 .由四个不同直径、相同高度的蓝宝石构成四个谐振器 ,对同一组铜膜进行测量 ,根据金属表面电阻与频率的关系 ,分析测试...
本文对介质谐振器法测量高温超导薄膜微波表面电阻的方法进行了详细的研究 ,并对测试系统的损耗提出了新的计算方法 .由四个不同直径、相同高度的蓝宝石构成四个谐振器 ,对同一组铜膜进行测量 ,根据金属表面电阻与频率的关系 ,分析测试装置的损耗 ,从而更精确地测出薄膜的表面电阻 .经实验证明 ,此方法能得到比传统测量更为精确的测量结果 .
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关键词
多频法
测量
表面电阻
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职称材料
题名
化学腐蚀法研究蓝宝石单晶中的位错缺陷
被引量:
11
1
作者
吕海涛
张维连
左燕
步云英
机构
河北工业大学
天津半导体技术研究所
出处
《半导体技术》
CAS
CSCD
北大核心
2004年第4期48-51,共4页
文摘
采用化学腐蚀-金相显微镜法和SEM法观察了CZ法生长的直径50mm的蓝宝石单晶中的位错缺陷.发现位错分布状况为中心较低、边缘较高,密度大约为104~10 5cm-2.在不同温度不同的试剂以及不同的腐蚀时间进行对比结果发现,用KOH腐蚀剂在290℃下腐蚀15min时,显示的位错最为清晰、准确,效果最佳.
关键词
化学腐蚀
蓝宝石单晶
位错缺陷
KOH腐蚀剂
金相显微镜
Keywords
sapphire crystal
dislocation
chemical etch
分类号
TN304.21 [电子电信—物理电子学]
O772 [理学—晶体学]
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职称材料
题名
多频法测量高温超导薄膜表面电阻
2
作者
李伟
阎少林
路荣涛
何明
步云英
毕笃彦
机构
南开大学信息技术科学学院
天津市半导体技术研究所
空军工程大学电子工程系
出处
《南开大学学报(自然科学版)》
CAS
CSCD
北大核心
2004年第1期107-111,共5页
基金
国家重点基础研究 ( 973 )专项经费资助项目
文摘
本文对介质谐振器法测量高温超导薄膜微波表面电阻的方法进行了详细的研究 ,并对测试系统的损耗提出了新的计算方法 .由四个不同直径、相同高度的蓝宝石构成四个谐振器 ,对同一组铜膜进行测量 ,根据金属表面电阻与频率的关系 ,分析测试装置的损耗 ,从而更精确地测出薄膜的表面电阻 .经实验证明 ,此方法能得到比传统测量更为精确的测量结果 .
关键词
多频法
测量
表面电阻
Keywords
multi frequency method
measurement
surface resistance
分类号
O411.5 [理学—理论物理]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
化学腐蚀法研究蓝宝石单晶中的位错缺陷
吕海涛
张维连
左燕
步云英
《半导体技术》
CAS
CSCD
北大核心
2004
11
下载PDF
职称材料
2
多频法测量高温超导薄膜表面电阻
李伟
阎少林
路荣涛
何明
步云英
毕笃彦
《南开大学学报(自然科学版)》
CAS
CSCD
北大核心
2004
0
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职称材料
已选择
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参考文献
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