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键合类陶瓷外壳结构对高频信号传输性能的影响
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作者 武伯贤 杨振涛 +2 位作者 高岭 段强 余希猛 《半导体技术》 CAS 北大核心 2021年第9期733-738,共6页
针对陶瓷外壳中影响高频信号传输性能的键合指、传输线、过孔和返回路径平面等结构进行仿真研究,得到了在0~20 GHz频带内的最优参数模型。将其应用于某CLGA49陶瓷外壳产品,高频信号传输性能实测结果与仿真结果符合较好,验证了仿真结果... 针对陶瓷外壳中影响高频信号传输性能的键合指、传输线、过孔和返回路径平面等结构进行仿真研究,得到了在0~20 GHz频带内的最优参数模型。将其应用于某CLGA49陶瓷外壳产品,高频信号传输性能实测结果与仿真结果符合较好,验证了仿真结果的准确性。结果表明,增大键合指与键合丝连接处的宽度为与之相连接微带传输线宽2~2.3倍时,传输性能显著提高;单端阻抗为50Ω,线宽更窄的互连线更有利于传输高频信号;过孔直径增大,接地过孔长度增长会改善传输性能;减少陶瓷外壳中返回路径平面的层数会改善高频信号的传输性能。 展开更多
关键词 CLGA 陶瓷外壳结构 仿真 高频信号 传输性能
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