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参比场效应晶体管(REFET)及其与ISFET集成化的研究 被引量:1
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作者 王东红 武士香 +2 位作者 虞惇 王贵华 沈汉平 《传感技术学报》 CAS CSCD 1989年第1期19-23,共5页
本文介绍为实现带有参比电极的ISFET测量探头微型化而研制成的一种新型探头。采用等离子聚合方法在ISFET敏感栅上覆盖一层聚苯烯薄膜(PPS),使其成为对H^+不敏感的参比场效应晶体管(REFET)。而后采用IC艺,将ISFET,REFET和伪参比电极集成... 本文介绍为实现带有参比电极的ISFET测量探头微型化而研制成的一种新型探头。采用等离子聚合方法在ISFET敏感栅上覆盖一层聚苯烯薄膜(PPS),使其成为对H^+不敏感的参比场效应晶体管(REFET)。而后采用IC艺,将ISFET,REFET和伪参比电极集成化,得到可用于微量溶液测量的微型探头,将探头中的ISFET和REFET按差分对管方式连接于差放线路中,由于两管对溶液中pH值响应不同,可输出随pH值变化的差模信号。研制的REFET在pH4~pH11范围内几乎无响应,表明了PPS膜具有较少的表面态及良好的H^+掩蔽性。用集成化探头测量pH值,灵敏度可达55mV/pH。 展开更多
关键词 聚苯乙烯 等离子聚合 半导体集成电路 PH测量 离子敏场 效应晶体管
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ISFET在FIA中的应用
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作者 王贵华 虞惇 +2 位作者 武士香 孙玉德 姚建庭 《传感技术学报》 CAS CSCD 1989年第2期10-17,共8页
本文介绍了把pH-ISFET用作检测器的单管道FIA测量系统,研究了该系统中流动注射参数的影响,探讨了标准曲线法与测量范围的拓展方法。研究表明,用ISFET作为FIA的检测器,与其它种类检测器的规律相似。FIA-ISFET系统具有测量速度快、样品与... 本文介绍了把pH-ISFET用作检测器的单管道FIA测量系统,研究了该系统中流动注射参数的影响,探讨了标准曲线法与测量范围的拓展方法。研究表明,用ISFET作为FIA的检测器,与其它种类检测器的规律相似。FIA-ISFET系统具有测量速度快、样品与试剂用量少、重现性好及操作简便等特点。其测量范围和测量精度与ISFET的静态测量方法相同。 展开更多
关键词 离子敏场效应晶体管 流动注射分析技术
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