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题名PECVD氯化硅介质膜Si/N比值的工艺监控
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作者
李惠军
龙莹山
武广栋
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机构
山东工业大学
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出处
《山东科学》
CAS
1995年第1期14-17,共4页
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文摘
本文介绍了作者在微电子工艺PECVD氮化硅制备过程中对其Si/N比值进行测定及工艺监控的技术手段和方法.
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关键词
钝化工艺
氮化硅
硅/氮
PECVD
薄膜
集成电路
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Keywords
stupid technique: silicon nitride: Si/N contrast
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分类号
TN405.2
[电子电信—微电子学与固体电子学]
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题名谈市政道路工程施工技术与质量管理
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作者
武广栋
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机构
青岛西海岸市政工程有限公司
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出处
《中文科技期刊数据库(引文版)工程技术》
2021年第1期249-250,共2页
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文摘
伴随社会主义的发展,城市化建设规模逐渐扩大,市政项目数量也随之增加,作为城市基础设施建设的一部分,确保项目质量非常重要。 因此,进一步研究地方政府道路工程建设技术和质量控制策略显得尤为紧迫。
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关键词
市政道路工程
施工技术
质量管理
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分类号
U412.37
[交通运输工程—道路与铁道工程]
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题名浅析市政工程成本管理的重要性
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作者
武广栋
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机构
青岛西海岸市政工程有限公司
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出处
《中文科技期刊数据库(引文版)工程技术》
2021年第1期218-218,220,共2页
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文摘
建筑公司不单单需要一群优秀的专业人员,还需要对工程项目的管理措施进行完善,成本控制是建筑公司所需要注意的重点,是生产和控制的基础,也是经济效益的前提。注重成本控制和提高项目管理质量是建筑公司生存和发展的永恒主题,在管理当前建筑企业项目的成本方面仍然存在许多挑战,本文简要介绍了市政工程的一些成本控制措施。
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关键词
市政工程
成本
控制
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分类号
F426.92
[经济管理—产业经济]
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