三氯氢硅歧化法多晶硅生产工艺的热力学分析

根据反应平衡时体系Gibbs自由能最小原理,对歧化法生产硅烷的过程进行了模拟分析,得出了不同条件下反应的平衡转化率及适宜的操作条件,依据计算结果设计了三氯氢硅歧化法生产硅烷的四塔流程,并且对三氯氢硅歧化反应精馏塔,二氯二氢硅歧化反应精馏塔进行了详细的灵敏度分析,得到了最优的过程参数,根据优化过程参数操作后,硅烷的单程实收率达到9.45%。