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氧化钒薄膜的制备及电致开关特性的研究 被引量:4
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作者 张楷亮 韦晓莹 +2 位作者 王芳 武长强 赵金石 《光电子.激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第5期656-659,共4页
采用反应溅射法,室温下,在Cu/Ti/SiO2/Si衬底上制备了氧化钒(VOx)薄膜,并对薄膜进行450℃、30min的真空退火处理。采用X-射线衍射(XRD)、原子力显微镜(AFM)对薄膜的结晶取向和表面形貌进行了表征,通过半导体参数分析仪对薄膜的电... 采用反应溅射法,室温下,在Cu/Ti/SiO2/Si衬底上制备了氧化钒(VOx)薄膜,并对薄膜进行450℃、30min的真空退火处理。采用X-射线衍射(XRD)、原子力显微镜(AFM)对薄膜的结晶取向和表面形貌进行了表征,通过半导体参数分析仪对薄膜的电开关特性进行测试,并利用导电原子力显微镜(CAFM)对VOx薄膜的导电机制进行了探索。测试结果表明,VOx薄膜在Cu/Ti/SiO2/Si衬底取向生长,并且是以V2O5为主的V6O13和V2O5的混合物,薄膜表面颗粒大小均匀(30~40 nm),粗糙度为2.4 nm。电学测试结果表明薄膜具有较低(Vset=0.72 V,Vreset=0.39 V)的开关电压,开关电阻的转变倍率约3个数量级,经CAFM测试发现,VOx薄膜导电态中有导电细丝,结合VOx/Cu界面态及Cu离子快扩散特性,认为VOx薄膜导电态主要是Cu离子在薄膜中扩散形成的导电细丝所致。 展开更多
关键词 氧化钒(VOx)薄膜 电阻开关特性 阻变机理
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Effects of electrodes on resistance switching characteristics of TiO_2 for flexible memory
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作者 张楷亮 武长强 +3 位作者 王芳 苗银萍 刘凯 赵金石 《Optoelectronics Letters》 EI 2013年第4期263-265,共3页
Flexible TiO2 memory devices are fabricated on a plastic substrate at room temperature. The metal-insulator-metal (MIM) structure is grown on polyimide (PI). Several metals with different ductilities, such as Al, W, C... Flexible TiO2 memory devices are fabricated on a plastic substrate at room temperature. The metal-insulator-metal (MIM) structure is grown on polyimide (PI). Several metals with different ductilities, such as Al, W, Cu and Ag, are selected as electrode. The test results show that the samples have stable resistive switching behaviors, and the electric characteristics can stay stable even after the radius of substrate is bent up to 10 mm. After 103 times of substrate bend-ing, the memory cells with W as bottom electrode on PI still show stable resistive switching characteristics and low switching voltages. The set voltage and reset voltage can be as low as 0.9 V and 0.3 V, respectively. 展开更多
关键词 TiO2电极 导通电阻 开关特性 存储器 塑料基板 设备制作 二氧化钛 聚酰亚胺
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