题名 高频压电MEMS微镜设计与仿真
1
作者
张浩
汪洋
武震宇
机构
中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室
中国科学院大学
上海微技术工业研究院
上海大学微电子学院
出处
《传感器与微系统》
CSCD
北大核心
2024年第2期76-80,共5页
基金
国家重点研发计划资助项目(2021YFB3202500)
上海市产业协同创新项目(HCXBCY—2021—044)。
文摘
阵列化微镜设计可以实现微镜的高频工作。本文采用将驱动器隐藏在六边形镜面下方的设计方案来实现微镜阵列单元的制备,减小了微镜尺寸。在镜面内部引入了柔性结构匀散应力,降低微镜应力断裂风险,提高了微镜的可靠性,采用六边形密排的方式可以实现大于90%的占空比。所设计的微镜可以实现倾斜、偏转和活塞3种工作自由度,工作频率达到了23 000 Hz以上,共振偏转角度可以达到6.5°。对比传统的微镜阵列设计,本文设计提高了空间利用率和致动效率。
关键词
微机电系统
压电驱动
微镜阵列
高频
Keywords
micro-electro-mechanical system(MEMS)
piezoelectric drive
micromirror array(MMA)
high frequency
分类号
TP212
[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
题名 卫星激光通信MEMS快速反射镜可靠性研究进展
被引量:1
2
作者
朱伟鸿
汪洋
王栎皓
刘艺晨
武震宇
机构
上海大学微电子学院
中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室
上海微技术工业研究院
中国科学院大学
出处
《红外与激光工程》
EI
CSCD
北大核心
2023年第9期222-234,共13页
基金
中国科学院科学科研仪器装备研制项目(YJKYYQ20190026)
上海市产业协同创新项目(HCXBCY-2021-044)。
文摘
快速反射镜(Fast Steering Mirror,FSM)具有响应快、精度高、分辨率高等优势,被广泛应用于卫星激光通信、超分辨率成像、高精度激光瞄准等领域,是捕获、跟踪和瞄准(Acquisition Tracking and Pointing,ATP)系统中的核心部件。传统快反镜主要由压电陶瓷和音圈电机驱动,而基于微机电(Micro Electro Mechanical System,MEMS)技术制备的快反镜具有小型化及批量化等优势,是技术发展的趋势,但其应用于卫星激光通信领域的可靠性尚未进行全面论证。文中介绍了快反镜的工作原理、环境适应性要求以及国内外快反镜的可靠性水平,结合致动原理和结构分析了现有快反镜的失效机理、评估方法和可靠性加固技术,最后指出了高可靠性快反镜的结构和加固技术发展方向,并通过综合分析与仿真验证了MEMS快反镜应用于卫星激光通信的可行性。
关键词
卫星激光通信
快速反射镜
微机电系统技术
环境适应性
可靠性
Keywords
satellite laser communication
fast steering mirror
micro electro mechanical system
environmental adaptability
reliability
分类号
TH209
[机械工程—机械制造及自动化]
题名 单片机定时器T2在T法测速中的应用
被引量:1
3
作者
李力
武震宇
曾德学
余新亮
机构
水电机械设备设计与维护湖北省重点实验室(三峡大学)
出处
《机械工程师》
2013年第4期36-38,共3页
文摘
针对采用T法测速时存在的两个转速脉冲之间时间间隔测量不便的问题,采用AT89C52单片机的定时器T2进行测量。阐述了定时器T2工作原理,介绍了利用定时器T2实现T法测速的具体实现方式,采用C语言编程,可应用于低速重载设备转速测量系统中。
关键词
AT89C52单片机
定时器T2
捕获模式
速度测量
Keywords
AT89C52 MCU
timer T2
capture mode
speed measurement
分类号
TP271.4
[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
题名 汽车运用与维修专业人才培养模式改革初探
被引量:1
4
作者
武震宇
机构
重庆市万州区教育科学研究所
出处
《内燃机与配件》
2017年第3期153-154,共2页
文摘
中职学校的教育教学工作既要注重学生的知识及技能要求,还必须遵循学生职业生涯成长的规律。本文从重庆市三峡水利电力学校汽车运用与维修专业人才培养模式改革的实际需要出发,积极探索中职学校教学改革的新途径。
关键词
人才培养
专业技能
岗位模拟
分类号
U472-4
[机械工程—车辆工程]
G712
[文化科学—职业技术教育学]
题名 基于金刚石量子色心的温度磁场同步测量技术
被引量:1
5
作者
王曹
刘启慧
程建功
陈浩
武震宇
机构
中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室
中国科学院大学
上海大学微电子学院
上海微技术工业研究院
出处
《微纳电子技术》
CAS
北大核心
2022年第11期1226-1233,1241,共9页
基金
中国科学院战略性先导科技专项(XDC07030200)
中国科学院科研仪器装备研制项目(YJKYYQ20190026)
国家重点研发计划(2021YFB3202500)。
文摘
金刚石中的氮空位(NV)色心具有极佳的量子性质,并且对温度和磁场敏感,为温度与磁场的精密测量提供了新的解决方案。提出一种基于金刚石NV色心的温度和磁场同步测量方法。NV色心自旋塞曼劈裂能级随温度同向移动、随磁场反向移动。通过对劈裂能级同时进行光探测磁共振探测,并结合频率调制解调技术,实现了对温度和磁场的同步测量。自旋双共振系统的3 d B带宽为1 k Hz。在激光功率400 m W、自旋劈裂能级对的驱动微波功率分别为30 d Bm和35 d Bm时,温度灵敏度和磁灵敏度分别约为0.4mK/√Hz和1.1nT/√Hz。温度测量对磁场的隔离度约10 d B。该技术为大动态范围温度与磁场的同步测量提供了解决方案。
关键词
量子传感
氮空位(NV)色心
温度测量
磁测量
自旋双共振
Keywords
quantum sensing
nitrogen-vacancy(NV)color center
temperature measurement
magnetic measurement
spin dual-resonance
分类号
TP212.1
[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
TM936
[电气工程—电力电子与电力传动]
题名 10kV凝结水泵变频器故障分析及处理方法
6
作者
孙彬
栗占伟
马云飞
战群
武震宇
机构
中国大唐集团科学技术研究院有限公司中南电力试验研究院
大唐三门峡电力有限责任公司
出处
《电气应用》
2021年第9期83-87,共5页
文摘
介绍了一起10kV凝结水泵变频器跳闸故障,对该故障原因进行了分析并提出了将凝泵变频器移相变抽头由10.5kV改为10kV和调节变频器内部参数提升输出电压综合处理的方法。通过现场带负荷试验进一步验证了该处理方法的正确性,保障了机组的安全稳定运行,同时也为处理类似变频器故障提供了有力的试验数据证明和宝贵经验。
关键词
凝结水泵
变频器
故障
Keywords
condensate pump
frequency converter
fault
分类号
TM921.51
[电气工程—电力电子与电力传动]
题名 卫星激光通信快速反射镜研究进展及发展趋势
被引量:1
7
作者
余子昊
王栎皓
汪洋
刘艺晨
武震宇
机构
中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室
中国科学院大学
上海微技术工业研究院
上海大学微电子学院
出处
《激光与光电子学进展》
CSCD
北大核心
2023年第15期33-42,共10页
基金
国家重点研发计划(2021YFB3202500)
中国科学院科研仪器设备研制项目(YJKYYQ20190026)
上海市产业协同创新项目(HCXBCY-2021-044)。
文摘
快速反射镜(FSM)具有响应快、精度高、分辨率高等优势,被广泛应用于卫星激光通信、激光武器、自适应光学成像、高精度激光瞄准等领域,是捕获、跟踪和瞄准(ATP)系统中的核心部件。本文介绍了ATP系统和FSM的工作原理,并从驱动方式、FSM的面形、工作带宽、扫描角度范围、控制精度、体积重量及功耗等性能指标及在卫星激光通信的应用等方面,详细介绍了国内外研究机构的多款FSM器件,从音圈电机、压电陶瓷和微机电系统(MEMS)三种驱动结构上对FSM进行了分类,并阐述了不同驱动结构FSM的工作方式及性能差异,分析了影响FSM在ATP系统中应用的关键参数,展望了FSM在激光通信中的关键技术,指出了高精度、数字化、小型化是FSM的发展趋势。
关键词
光通信
卫星激光通信
快速反射镜
压电陶瓷
音圈电机
微机电系统
Keywords
optical communication
satellite laser communication
fast steering mirror
piezoelectric ceramics
voice coil actuator
micro-electro-mechanical system
分类号
TN209
[电子电信—物理电子学]
题名 发电机内冷水轻微泄露的查找方法及处理过程
被引量:1
8
作者
李彬
武震宇
机构
河南三门峡华阳发电有限责任公司
出处
《河南电力》
2012年第1期27-30,共4页
文摘
氢气具有密度小,热传导率高的特点,发电机采用氢气冷却,可提高发电机效率。同样因为氢气极易泄漏,且具有爆炸性,给发电机安全运行带来了隐患,并且查漏有很大的难度。介绍了600MW汽轮发电机发生内冷水系统氢气轻微泄漏的一种特殊的查找方法,对发电机内冷水系统氢气泄漏的原因进行了分析,并通过对本次发电机漏氢的实例查找及处理,提出了在发电机定期检修中检验内冷水系统是否存在泄漏增加一种新的方法和措施。
关键词
定子
漏水
分析
预防
Keywords
generator stator
water leakage
analysis method
precaution method
分类号
TM311
[电气工程—电机]
题名 用于钻石磁传感器量子态操控的微波谐振器
被引量:1
9
作者
刘启慧
汪洋
李凌云
武震宇
机构
中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室
中国科学院大学
中国科学院上海微系统与信息技术研究所中国科学院超导电子学卓越创新中心
出处
《功能材料与器件学报》
CAS
2021年第3期153-164,共12页
基金
中国科学院战略性先导科技专项(XDC07030200)
文摘
钻石氮空位(NV)色心是钻石中取代态的氮原子结合空穴而形成的一种点缺陷,由于其易于初始化和光学读出、长相干时间等特性在近年来受到了广泛关注。用于驱动NV色心电子自旋的微波场在量子信息、磁测量等应用中起着关键作用。调控NV色心量子自旋态的微波谐振器在磁传感应用中采用了不同的结构设计,包括单直导线、平面微带天线、三维介质谐振器等。同时,圆极化天线在精确调控能级的研究中起到关键作用。本文综述了近年来在用于NV色心调控的微波谐振器方面的研究进展,为微波谐振器在NV色心量子态调控及磁传感领域的应用提供指导。
关键词
NV色心
磁传感
自旋调控
微波谐振器
Keywords
Nitrogen vacancy(NV)color center
Magnetic sensor
Spin manipulation
Microwave resonator
分类号
TP212
[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
TN751.2
[电子电信—电路与系统]
题名 关于电磁感应现象的实验教学法
10
作者
武震宇
机构
重庆市万州区教育科学研究所
出处
《价值工程》
2016年第30期149-151,共3页
文摘
学生掌握知识的过程其实就是认识事物的过程,在教学过程中积极采取实验演示等直观教学的方式,注意发挥他们的学习自觉能动性,待学生对物理现象获得感性认识后,引导学生积极思考,让学生把获得的感性认识上升到理论认识、从而帮助学生认识并理解电磁感应这种物理现象。实践证明,通过这种直观并带着启发式的教学方式,绝大部分同学都能够比较好地掌握电磁感应的概念及其规律,从而取得较好的教学效果。
关键词
电磁感应现象
探究性实验教学
教学方法
Keywords
electromagnetic induction phenomenon
exploratory experiment teaching
teaching method
分类号
G633.7
[文化科学—教育学]