半导体工业用高纯度气体与化学品的应用

1前言本文将就高纯度材料中具关键代表性之高纯度气体与化学品在半导体制程中的相关应用作一概略性的介绍。气体和化学品与超纯水类似,同为半导体制程中不可或缺之高纯度流体原料。气体和化学药品合计约占半导体材料成本之1/3(其余为硅芯片,光阻,溅镀靶等)。