容性耦合硅烷等离子体尘埃颗粒空间分布的二维流体模拟

基于自主研发的二维流体尘埃模型,研究了射频容性耦合硅烷等离子体放电中不同腔室结构对尘埃颗粒密度空间分布的影响.模拟发现,有别于一维模型,径向电场和作用在尘埃颗粒上的离子拖拽力径向分量是导致尘埃颗粒密度分布径向不均匀的主要因素,使其在极板边缘处呈现两个局部峰值,其中一个峰值表明尘埃颗粒有可能会克服电场力的支撑更接近极板.在极板半径较小或极板间距较小的情况下,径向离子拖拽力的作用增强,使尘埃颗粒更易于在极板边缘处和腔室侧壁附近聚集,出现环状尘埃颗粒分布带.在放电极板有介质材料包裹的情况下,尘埃颗粒密度径向分布的均匀性得到改善.最后,还模拟了单个尘埃颗粒在极板边缘处的涡旋运动规律.

广义单透镜系统的傅里叶变换

一般情况下,单透镜实现傅里叶变换均将透镜处于空气中。广义单透镜系统的傅里叶变换是指单透镜不是处于空气中,而是处于前后介质折射率不同的光路中实现傅里叶变换,推证了广义条件下透镜的位相变换因子,论证了透镜前、后介质折射率不同时光学傅里叶变换的光场分布。结果表明：在广义单透镜系统中,透镜后焦面上光场复振幅分布相当于坐标压缩后物体的傅里叶变换。当透镜两侧介质折射率相同时,在透镜后焦面上可以实现物体准确的傅里叶变换;当透镜两侧介质折射率不同时,后焦面上光场分布相当于受凹凸透镜位相调制并将原物实施坐标压缩后的变形物体的傅里叶变换,等效透镜的凹凸性质取决于透镜前后介质的相对折射率。计算机模拟实验验证了结论的可靠性与可行性。