小尺寸物体三维面形高精度测量

采用变形光栅条纹囹样直接分析的方法对小尺寸物体面形实现高精度测量．研制了一台小型的三维表面轮廓测试仪，测量范围（30×30）mm2，精度20μm，初步用于人类牙齿表面三维测量．最后提出了存在的问题和改进方向．

二元光学衍射透镜波象差分析

通过对衍射透镜一级衍射象的波象差分析。

衍射透镜衍射效率及光学传递函数

分析了衍射透镜的衍射效率及其对光学传递函数的影响，得出了总的光学传递函数和各衍射级次光学传递函数之间的加权和关系公式。最后进行了实例计算和讨论。

光栅变形条纹直接分析法用于牙冠形状的三维测量——正交验波法

目的：测量具有轴面代表性的中切牙唇面和具有咬合面代表性的磨牙牙合面，为牙冠三维面形重建及ＣＡＤ／ＣＡＭ的实现奠定基础。方法：采用变形光栅条纹直接分析法，研制了一台小型的牙冠三维表面轮廓测量仪，编制了支持软件，建立了一套自动“光学印模”系统。结果：获得了１唇面和｜６６｜牙合面的三维表面轮廓条纹图。结论：该方法采集图像速度快，测量装置小巧可靠，有置入口腔内实测的潜力。

牙冠表面三维光学测量和重建方法

选取光栅变形条纹直接分析方法，采用自制的牙冠表面形状三维测量仪和精密可调转台获得了上颌中切牙和下颌磨牙牙冠各个面的三维测量数据，将各面数据在ＵｎｉＧｒａｐｈｉｃ软件平台上通过旋转坐标拍的方法实现数据拼合，重建了牙冠表面的三维形态，生成了牙冠实体模型．

牙冠外形三维光学测量系统标定实验(二)——位相-高度转换实验

目的：验证牙冠外形三维光学测量系统标定实验（一）的结果。方法：用牙冠外形三维光学测量系统测量标准圆柱状石膏模型，将测量得到的位相值转成该石膏模型表面高度值。结果：得到标准圆柱状石膏模型表面实际高度图，比较准确地反映出了被测量圆柱标准试件的高度。结论：所采取标定实验简单实用。

牙冠外形三维光学测量系统标定实验(一)——误差消除和标定曲线获得

目的：消除牙冠外形三维光学测量系统的系统误差和位相分布测量计算误差。方法：用牙冠外形三维光学测量系统测量标准石膏模型，确定位相分布与该石膏模型表面高度的关系。结果：得到一个位相—高度映射关系曲线。结论：可以消除系统误差和位相分布测量计算误差的影响，其最终测量误差只与标定实验过程本身的系统误差和随机误差有关。

软X射线衍射色散元件

软Ｘ射线衍射色散元件袁利祥，范正修，殷功杰（中国科学院上海光学精密机械研究所，上海２０１８００）崔明启（中国科学院高能物理研究所，北京１０００３９）沈孝良（复旦大学分析测试中心，上海２００４３３）纳米量级的多层膜沉积技术和微电子制作技术的结合已使软ｘ...

小角衍射法精确测定Mo/Si软X射线多层膜的结构

通过对周期性Mo/Si多层膜Cu靶K_(?)线小角衍射曲线的分析,并进一步采用对局部曲线进行分步数值拟合的方法,确定了多层膜的结构参数及界面质量。估算了多层膜样品在λ=20nm附近的正入射反射率接近10％。

利用自适应阈值条纹调制度分析方法进行位相去包裹研究

提出了一种基于条纹调制度分析的位相去包裹新算法。该算法用于三维测量中位相图的去包裹处理，取得了好的实验结果。它同样适用于激光干涉条纹的处理。

W／C超薄多层膜的制备及其结构与光学特性分析

利用平面磁控溅射技术，制备了Ｗ／Ｃ超薄多层膜样品。低角Ｘ射线衍射测试、透射电子显微镜显微剖面分析给出了该样品的结构参数，由这些结构参数模拟给出的光学特性与实测的１．４７ｎｍ的绝对反射率角谱有较一致的表现。

簿膜结构分析中的低角X射线衍射方法

利用带折射修正的布喇格衍射定律和薄膜光学理论分析了低角Ｘ射线衍射谱中出现的一系列现象，导出了多层膜周期厚度和周期中不同材料间的配比率的计算公式，对多层膜的低角Ｘ射线衍射谱中主峰间的次峰现象作出了解释，并对低角Ｘ射线衍射测量单层膜厚度进行分析，给出了精确的测厚公式。

亚微米光栅周期的软X射线多层膜光栅的衍射效率研究

简要叙述软x射线多层膜位相光栅的理论设计、实验制备,详细给出了在北京同步辐射装置3B1束线上对多层膜位相光栅衍射效率的测试,以及对测试结果的分析,并与理论值进行了比较.

应用微分电磁理论研究软X光衍射光栅

微分法是软Ｘ光波段唯一精确计算衍射光栅效率的电磁理论。应用这种理论成功地设计出带有位相光栅的软互光激光反射输出镜，计算出可能的实验误差。对微分理论的数值结果和精度进行了分析和讨论。

软X光多层膜位相型矩形光栅的实验研究及其光学特性

详细给出了软Ｘ光多层膜位相型矩形光栅的实验、分析测试结果以及在北京国家同步辐射实验室测得的光学衍射特性，井进行了分析．