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四氯化硅综合利用的现状及发展趋势 被引量:9
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作者 张晓薇 顾克军 殷恒志 《上海化工》 CAS 2012年第12期21-25,共5页
介绍了西门子法多晶硅的副产物四氯化硅的综合利用技术及其现状,目前,四氯化硅主要用来制备气相白炭黑、硅酸乙酯、光纤、多晶硅及三氯氢硅等,重点介绍了国内外四氯化硅氢化技术的最新进展。
关键词 四氯化硅 多晶硅 气相白炭黑 硅酸乙酯 三氯氢硅
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