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四氯化硅综合利用的现状及发展趋势
被引量:
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作者
张晓薇
顾克军
殷恒志
《上海化工》
CAS
2012年第12期21-25,共5页
介绍了西门子法多晶硅的副产物四氯化硅的综合利用技术及其现状,目前,四氯化硅主要用来制备气相白炭黑、硅酸乙酯、光纤、多晶硅及三氯氢硅等,重点介绍了国内外四氯化硅氢化技术的最新进展。
关键词
四氯化硅
多晶硅
气相白炭黑
硅酸乙酯
三氯氢硅
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职称材料
题名
四氯化硅综合利用的现状及发展趋势
被引量:
9
1
作者
张晓薇
顾克军
殷恒志
机构
江苏扬农化工集团有限公司
出处
《上海化工》
CAS
2012年第12期21-25,共5页
文摘
介绍了西门子法多晶硅的副产物四氯化硅的综合利用技术及其现状,目前,四氯化硅主要用来制备气相白炭黑、硅酸乙酯、光纤、多晶硅及三氯氢硅等,重点介绍了国内外四氯化硅氢化技术的最新进展。
关键词
四氯化硅
多晶硅
气相白炭黑
硅酸乙酯
三氯氢硅
Keywords
Silicon tetrachloride
Polysilicon
Fumed silica
Ethyl silicate
Trichtorosilane
分类号
TQ127.2 [化学工程—无机化工]
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作者
出处
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1
四氯化硅综合利用的现状及发展趋势
张晓薇
顾克军
殷恒志
《上海化工》
CAS
2012
9
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