基于矩阵变换器的异步电机直接转矩控制研究

为了降低谐波污染,实现异步电动机的高性能控制,提出了一种基于矩阵变换器(Matrix Converter,简称MC)供电的异步电动机器直接转矩控制(DTC)系统和控制方法。基于电机控制专用DSP芯片TMS320LF2812A研发了一套矩阵变换器的交流电动机DTC试验系统。实验得到了较为理想的结果,验证了其可行性。

高阻晶体硅电池扩散炉温度控制的研究

介绍了一种用于太阳能电池高阻扩散工艺的扩散炉温度控制系统,该系统结构简单,控制效果良好,能满足60Ω以上高阻的生产要求。

矩阵变换器的无速度传感器DTC研究

研究基于矩阵变换器直接转矩控制系统应用无速度传感器技术以及将三者融合的技术。仿真结果表明参数辨识的精度高于测量模块的测量精度,动态响应好。在电机加减速运行和负载转矩变化时,系统能够实现转矩和磁链的控制要求,系统运行稳定,矩阵变换器能够实现能量双向流动和输入单位功率因数。

无速度传感器直接转矩控制与矩阵变换器的融合系统研究

提出一种基于矩阵变换器供电的交流电动机无速度传感器直接转矩控制系统和控制方法,以降低谐波污染,提高控制精度。在阐述矩阵变换器和无速度传感器直接转矩控制方法的基础上,重点讨论了二者的融合技术和转速的模型参考自适应参数辨识法。仿真结果表明参数辨识的精度高于测量模块的测量精度,动态响应好。同时能发挥矩阵变换器和直接转矩控制的优势,成为一种高性能的交流调速系统。

基于MC-DTC的速度辨识仿真与实验研究

基于矩阵变换器(MC)直接转矩控制系统(MC-DTC)应用无速度传感器技术以及将三者融合的技术讨论了速度自适应辨识方法与满足系统融合要求的控制策略。仿真和实验结果表明系统动态响应好,同时能发挥MC和DTC的优势,是一种高性能的交流调速系统。

高产能晶体硅太阳能电池制绒设备及工艺研究

制绒工艺作为晶体硅太阳能电池生产的重要环节,电池厂商在要求保证工艺质量的前提下,希望能扩大单台设备的产能。介绍了一种用于太阳能电池制绒设备及该系统中关键部件制绒槽和移载机械手。该系统结构简单,控制效果良好,通过对工艺的研究该系统能满足100 MW生产线的生产要求。

基于DSP的矩阵变换器直接转矩控制的研究

提出了一种适用于矩阵变换器供电的异步电动机调速系统的组合控制策略,同时实现了矩阵变换器的空间矢量调制和异步电动机的定子磁场定向直接转矩控制。实验结果表明,使用该控制策略的调速系统有良好的动态性能。

电网扰动时矩阵变换器的电流闭环控制及稳定性分析

矩阵变换器作为一种交-交直接变换电路拓扑,由于没有中间储能环节,当电网电压不平衡或非正弦时将直接影响其输出特性。以提高矩阵变换器的输出电流品质为控制目标,基于空间矢量调制技术,同时结合PI调制对输出电流进行闭环控制。通过控制输出电流空间矢量幅值维持恒定,在电网存在扰动时都能使得输出电流波形正弦且平衡。基于开环传递函数,运用对数频率稳定判据对系统进行了稳定性分析。在此基础上采用Matlab软件对该控制策略在3种不同工作条件下进行了仿真分析,结果表明输出电流幅值和频率都能很好地跟随给定,动态响应快,且不受电网低次谐波和负序分量的影响,同时器件的开关频率恒定,验证了控制策略的可行性和有效性。

采集瞬时无功作为辅助变量的直接转矩控制

在参考模型自适应(Model Reference Adap- tive System-MRAS)理论基础上讨论了二种转速观测法,提出了一种以电机的瞬时无功作为辅助变量,鲁棒性良好的新型MRAs速度估汁方案。该方法能较好地解决电机参数变化对调速精度和系统稳定性影响的问题,仿真结果证明了该方案的有效性。

MC-DTC系统的无速度传感器控制算法研究

对于无速度传感器的研究主要针对电动机的矢量控制系统,而应用于直接转矩控制(DTC)系统很少.本文研究基于矩阵变换器(MC)直接转矩控制系统(MC-DTC)应用无速度传感器技术以及将三者融合的技术.讨论了无速度传感器的直接计算方法和模型自适应方法,重点讨论了速度自适应辨识方法与满足系统融合要求的控制策略.仿真实验表明,速度自适应辨识速度高于直接计算精度,动态响应好.同时能发挥MC和DTC的优势,成为一种高性能的交流调速系统.

高温MOCVD温度控制系统研究与设计

温度控制技术是MOCVD控制系统关键技术之一,直接影响材料生长的质量。通过对温度控制系统的研究,分析了MOCVD温度控制特点,介绍了一种用于高温MOCVD设备的温度控制系统,着重讨论了温度串级控制及可变斜率控制方法在高温MOCVD设备中的应用。该系统控制效果良好,能进行稳定、均匀、高效的温度控制,为高温MOCVD的工艺研究奠下了坚实的基础。

基于Solid Works的斗轮机关键零部件参数化设计

以斗轮机关键零部件作为研究对象,论述了参数化建模技术基本原理,对基于SolidWorks参数化设计的主要方法进行了详细介绍,并介绍了斗轮机关键零部件三维参数化设计的具体实现过程。

晶体硅太阳能电池生产线外围设施建设经验漫谈

中国电子科技集团公司第四十八研究所是国内最早从事晶体硅太阳能电池整线交钥匙工程的单位,在国内已完成了几十家太阳能整线的建设。整线建设包括生产线设备的配置、安装,外围设施建设(厂房设计,净化间施工,水、电、气的设计施工),工艺调试,投产。其中外围设施建设的重要性往往被人们忽视。作者通过承担几条生产线的整线设计,参与了外围设施设计并在现场跟踪施工全过程,直至整线交付。在外围设施建设过程中发现了一些可修改的设计问题,在此提出来与大家分享。

扩散炉自动上下料系统安全性设计

介绍了一种用于卧式扩散炉的自动上下料系统,对自动上下料系统组成进行了介绍,着重讨论了系统的安全性问题,并对安全性提出了解决方案,该系统控制效果良好,能为电池片生产企业降低人工成本,提高生产效率,增强了设备的安全性,适合大规模电池片生产要求。

太阳能电池生产线中新型等离子体刻蚀机刻蚀工艺探讨

介绍了一种新型等离子体刻蚀机的使用条件,通过对各种参数变化的组合实验,得到了最佳工艺数据。利用该刻蚀机生产的电池片刻蚀效果好,刻蚀后经检测,电池片漏电流小,并联电阻大,提高了电池片的综合性能指标。

扫描式磁控溅射设备及工艺研究

介绍了一种扫描式双腔连续生产型磁控溅射镀膜设备,通过研究不同溅射压强、溅射功率密度下金属薄膜的沉积速率以及沉膜均匀性,实验结果表明在溅射压强0.3 Pa、溅射功率密度9 W/cm^2的条件下沉积TiW薄膜的沉膜速率约41.5 nm/min,均匀性低于4%;沉积Cu薄膜的沉膜速率约95.2 nm/min,均匀性低于3%,符合电子器件镀膜工艺需求。

多靶磁控溅射镀膜设备及其特性

介绍了一种多靶磁控溅射镀膜设备,阐述了镀膜室、工件台、阴极溅射靶、辅助离子源、真空系统等关键部件的设计思想。镀膜工艺结果显示,设备满足工艺要求,膜层均匀性优于±3%。

基于改进A-Kano模型的外延设备控制系统研究

碳化硅外延设备是半导体产业链的重要设备之一,外延设备的控制系统直接决定了设备的优劣。针对用户对外延设备控制系统各项功能的需求尚未明确的问题,首先通过会议讨论、问卷调查、专家访谈等方式,收集整理出完整的用户需求清单并分类整合。其次运用改进A-Kano (Analytical Kano)问卷对用户需求及满意度进行权重评分。创新性地对问卷选项分值进行优化设计,有效确保了A-Kano的调查问卷所得到的结果与传统Kano模型没有原则上的偏差,提高了需求划分的相对准确性。进而利用A-Kano模型量化评估外延设备控制系统中各功能的需求层次属性,筛选出基础型需求、期望型需求和魅力型需求。根据需求清单及AKano需求实现优先级原则,制定了3类典型需求的设计、实现与优化研发方案,通过架构设计、应用界面设计、算法优化、差异化需求实现等确保提供给用户稳定的基础型需求、极致的期望型需求和惊喜的魅力需求。最终经实际验证系统稳定、可靠,已生产出膜厚均匀性、掺杂浓度均匀性、表面粗糙度等关键指标符合质量标准的外延片,达到工艺要求,并且用户NPS调研满意度高。

碳化硅外延设备干扰问题与解决方案

SiC外延设备工作过程中经常会遇到信号干扰的问题,会对生产造成不便,更严重的则会造成设备损毁从而危险人身安全。为此,从工程实践的角度出发,针对控制系统一般性干扰问题和SiC外延设备特殊性干扰问题展开分析。基于目前已有的抗干扰技术,从干扰源、干扰途径入手,系统性地对碳化硅外延设备研发中出现的干扰问题进行分析解决。选取具有特点的通讯干扰、视频信号干扰、模拟信号干扰等干扰问题进行分析;通过RS485隔离集线器、双绞屏蔽线、接地铜带、抗干扰磁环等,提升设备生产过程中的抗干扰性能;使用示波器、万用表等仪器进行检测。结果表明:采用所提方法能够明显改善信号质量,所提方案稳定、可靠,研究结果为SiC外延设备的研发与工作生产提供参考。

扩散炉反应管压力自平衡系统的设计

对晶体硅太阳能电池片生产用扩散炉反应管压力平衡系统的要求及原理进行了阐述,由于反应管内气流变化对扩散效果影响很大,本系统根据实际使用经验,对工艺管内压力进行检测,在外围尾气排放不稳定的条件下,对反应管内气体排放进行调节,从而控制管内压力,使管内流速均匀,达到好的扩散效果。