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用MOCVD在ZnO/Al_2O_3衬底上生长GaN及其特性 被引量:11
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作者 毛祥军 杨志坚 +2 位作者 李景 屈建勤 张国义 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 1999年第8期639-643,共5页
本文报道利用直流反应磁控溅射技术在 Al2 O3 上生长一层 Zn O,再用 L P M O C V D 在 Zn O/ Al2 O3 衬底上生长 Ga N.实验发现低温生长 Ca N 过渡层有利于晶体质量的提高; P L 谱主峰红... 本文报道利用直流反应磁控溅射技术在 Al2 O3 上生长一层 Zn O,再用 L P M O C V D 在 Zn O/ Al2 O3 衬底上生长 Ga N.实验发现低温生长 Ca N 过渡层有利于晶体质量的提高; P L 谱主峰红移到蓝光区;二次离子质谱仪( S I M S)测量发现有 Zn 扩散到 Ga N 外延层, Zn 的扩散引起光致发光谱主峰移动.估算出在 1050℃ Zn 在 Ga N 中扩散系数是 86×10- 14 cm 2 /s. 展开更多
关键词 氮化镓 MOCVD 外延生长
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快速退火Mg∶GaN的光致发光研究 被引量:1
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作者 毛祥军 杨志坚 +4 位作者 金泗轩 童玉珍 王晶晶 李非 张国义 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 1999年第10期857-861,共5页
本文报道利用LP-MOCVD在Al2O3 衬底上生长Mg∶GaN,在N2 气氛下,经高温快速退火,然后进行光致发光测量.分析发现光致发光谱可以分解成410nm 和450nm 两个发光峰的叠加,本文对这两个峰的来源作了探讨... 本文报道利用LP-MOCVD在Al2O3 衬底上生长Mg∶GaN,在N2 气氛下,经高温快速退火,然后进行光致发光测量.分析发现光致发光谱可以分解成410nm 和450nm 两个发光峰的叠加,本文对这两个峰的来源作了探讨,提出深N 空位能级到Mg 展开更多
关键词 快速退火 光致发光 氮化镓
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在ZnO/Al_2O_3衬底上生长高质量GaN单晶薄膜 被引量:1
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作者 毛祥军 杨志坚 +1 位作者 张国义 叶志镇 《高技术通讯》 EI CAS CSCD 1999年第3期35-38,共4页
利用LP-MOCVD在ZnO/Al2O3衬底上生长了GaN。实验发现低温生长GaN过渡层有利于晶体质量的提高;样品PL谱主峰红移到蓝光区。
关键词 衬底 氧化锌 氮化镓 单晶 薄膜 蓝色 LED
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