φ200mm轻型石英反射镜的研制

本文报导了φ200mm轻型石英反射镜研制结果。研究分析了轻型反射镜对材料的要求,选择了石英做主反射镜材料;研究了具有高结合强度的封接材料及封接技术;研究了环辐型、多环型、井字型及六角型轻型结构,选择了多环型及六角型结构制成了φ150及φ200mm轻型石英反射镜;进行了高温、低温、一年时效、高能电子辐照、高能质子辐照及振动对轻型石英反射镜光学质量影响的研究,研究结果表明具有稳定的光学质量。可做为天文望远镜、卫星及激光系统主反射镜以及高稳定性的台基。

大规模集成电路掩模缺陷激光修正技术

本文介绍了用激光投影系统汽化C_r板的技术。可在C_r板上汽化出3μm×3μm至80μm×80μm的矩形方孔,最细线宽1μm的线条,最小直径φ1.5μm的园形孔。汽化质量已达到修正LSI掩模缺陷的使用要求。讨论了汽化质量与激光参数的关系。