自组装纳米结构阵列光电探测器的制备与研究

为了避免耗时长、设备昂贵、步骤复杂的传统光刻技术,解决微电子制造领域"卡脖子"的技术难题,提出了利用液面自组装聚苯乙烯(PS)纳米球制备纳米结构阵列.成功在n型硅衬底上制备了成本低廉、大面积、尺寸可控的纳米结构阵列,并将纳米结构阵列成功应用于光电探测器.研究表明:纳米结构的引入可以有效提高硅表面的抗反射性能,与平面硅相比反射率最多降低约96%.纳米结构器件的光/暗电流比接近一个数量级.在+5V偏压处,365 nm和405 nm波长处纳米结构的响应度相较于平板结构的分别提升了10.1倍和3.7倍.在+5V偏压处,纳米结构在365 nm波长处的外量子效率(External Quantum Efficiency,EQE)比平板结构的高10.1倍,405 nm波长处高3.7倍.这为制备高性能纳米结构光电器件提供了一条低成本、高效和可靠简便的途径.

校园诗声

学校是育人的场所,人才是祖国的希望。由贵州省大方县一中余廷林先生组织的大方一中学生的作品,很有诗味,很有生活气息。本刊特专栏选发,以飨读者。同时也希望各地学校以此为榜样,积极组稿,本刊愿意为各校提供发表平台。