期刊文献+
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
共找到1篇文章
< 1 >
每页显示 20 50 100
已选择0条
导出题录 引用分析
参考文献
引证文献
 统计分析
检索结果
已选文献
显示方式：
工序粒子计数器
1
作者 水野真人 韩美 《低温与特气》 CAS 1997年第1期27-29,共3页
工序粒子计数器水野真人目前，在０．２μｍ超微细膜片加工过程或薄膜晶体管中，４００ｍｍ２的大面积均匀成膜加工工艺，已达到实用化，而表面污染控制技术对产品合格率、质量、可靠性具有直接较大的影响力。仅从粒子来看，曾经竞相建... 工序粒子计数器水野真人目前，在０．２μｍ超微细膜片加工过程或薄膜晶体管中，４００ｍｍ２的大面积均匀成膜加工工艺，已达到实用化，而表面污染控制技术对产品合格率、质量、可靠性具有直接较大的影响力。仅从粒子来看，曾经竞相建立超净室，由于过程、装置无人化、自... 展开更多
关键词 半导体薄膜 粒子计数器 污染控制
下载PDF
已选择0条
导出题录 引用分析
参考文献
引证文献
 统计分析
检索结果
已选文献
上一页 1 下一页 到第 页
使用帮助 返回顶部