一种优化MEMS可变电容电荷泵上升时间的方法

近来,一种MEMS可变电容电荷泵被提出,在这种方式下,通过使用MEMS谐振器来改变每一阶的电容容值来产生一个高电压。谐振器的振幅和频率会对可变电容电荷泵的上升时间产生影响,本项研究的目的是最小化可变电容电荷泵的上升时间。