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电磁脉冲冲击下工业芯片LDMOS器件可靠性仿真方法研究
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作者 朱亚星 赵东艳 +7 位作者 陈燕宁 刘芳 吴波 王凯 梁英宗 郁文 池泊明 连亚军 《集成电路与嵌入式系统》 2024年第10期25-30,共6页
电磁脉冲冲击环境下工业芯片LDMOS(Laterally Diffused Metal Oxide Semiconductor)器件的可靠性仿真通常基于周期性单TLP(Transmission Line Pulse)脉冲信号的参数作为瞬态输入条件,利用商业TCAD(Technology Computer Aided Design)软... 电磁脉冲冲击环境下工业芯片LDMOS(Laterally Diffused Metal Oxide Semiconductor)器件的可靠性仿真通常基于周期性单TLP(Transmission Line Pulse)脉冲信号的参数作为瞬态输入条件,利用商业TCAD(Technology Computer Aided Design)软件基础退化模块进行仿真。由于仿真条件简单,难以覆盖工业芯片常见的复杂电磁脉冲环境,器件的可靠性寿命预期值与实际经验值之间相差巨大,导致芯片的稳定性很难得到精准评估。本研究结合期望最大算法和可靠性应力转化理论,在进行可靠性仿真前对复杂电磁脉冲信号进行预处理,降低整体电磁信号的复杂度,提高仿真效率,增强建模的可靠性。系列过程可作为电磁场仿真模块补充嵌入到主流的TCAD仿真软件,提高工业芯片器件可靠性仿真精准度。 展开更多
关键词 电磁脉冲冲击 LDMOS器件 期望最大算法 可靠性理论
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