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基于光纤光谱仪的LED光学特性测试 被引量:1
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作者 张一超 池超旦 +3 位作者 龚雪 张利宏 张洪伟 金立 《实验室研究与探索》 CAS 北大核心 2015年第9期66-69,共4页
以海洋光学实验仪器(光谱仪、积分球、光纤、电源)为测量系统,搭建发光二极管(LED)光源特性测试平台,通过Spectra Suite软件对LED的光学特性数据获取与处理,分别测试白光、红光、黄绿光、蓝绿光、黄光和蓝光LED的光学性质。用光谱仪USB2... 以海洋光学实验仪器(光谱仪、积分球、光纤、电源)为测量系统,搭建发光二极管(LED)光源特性测试平台,通过Spectra Suite软件对LED的光学特性数据获取与处理,分别测试白光、红光、黄绿光、蓝绿光、黄光和蓝光LED的光学性质。用光谱仪USB2000+与USB650 Red Tide获得各种LED光的辐射通量光谱分布图、发光强度光谱分布图、色品图,以及各单色光LED半宽度、峰值波长、色坐标、主波长、色纯度等数据,并对不同颜色的LED进行光学性能对比。实验结果表明,蓝光LED波峰辐射通量最大,红光LED单色性最好,红光的色纯度最大。简要比较光谱仪USB2000+与USB650 Red Tide在测量结果上的区别。 展开更多
关键词 光纤光谱仪 光谱分布图 峰值波长 色品图
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用于制备具有超光滑表面异质集成4英寸硅基砷化镓薄膜的高效离子剥离技术 被引量:1
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作者 孙嘉良 林家杰 +6 位作者 金婷婷 池超旦 周民 Robert Kudrawiec 李进 游天桂 欧欣 《Science China Materials》 SCIE EI CAS CSCD 2023年第1期211-218,共8页
在Si衬底上将单晶GaAs薄膜与其进行异质集成有望为硅基光电集成提供新的材料平台.本文基于对GaAs材料剥离机理的分析阐述,优化了GaAs薄膜转移工艺的离子注入条件.结果表明,相比于He离子单独注入,由于较小的热预算和注入后相对更低的缺... 在Si衬底上将单晶GaAs薄膜与其进行异质集成有望为硅基光电集成提供新的材料平台.本文基于对GaAs材料剥离机理的分析阐述,优化了GaAs薄膜转移工艺的离子注入条件.结果表明,相比于He离子单独注入,由于较小的热预算和注入后相对更低的缺陷密度,He/H离子共注入对于GaAs薄膜转移更高效.以Al2O3为键合介质层,通过优化的离子剥离技术成功地将4英寸GaAs薄膜转移到Si(100)衬底上.探索了包括化学机械抛光、臭氧辐照氧化和KOH清洗的表面处理工艺,以将转移后GaAs薄膜的表面质量提高到可以高质量外延的水平.在400℃退火1 h后,转移的GaAs薄膜单晶质量进一步提高,X射线摇摆曲线的半峰全宽仅为89.03 arcsec. 展开更多
关键词 剥离技术 化学机械抛光 异质集成 缺陷密度 光电集成 GaAs薄膜 离子注入 表面处理工艺
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