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多体宽束冷阴极离子源在真空镀膜中的运用
1
作者
汤彦骐
孙屹群
《云光技术》
1994年第3期26-30,共5页
关键词
冷阴极
离子源
离子束蒸发
镀膜
下载PDF
职称材料
机床加工光学柱面镜的分析
2
作者
汤彦骐
《云光技术》
1990年第4期23-25,共3页
关键词
光学仪器
柱面镜
机床加工
下载PDF
职称材料
冷阴极离子源辅助镀膜技术及应用
被引量:
1
3
作者
孙屹群
汤彦骐
《激光技术》
CAS
CSCD
北大核心
1997年第5期318-320,共3页
叙述了离子束辅助镀膜的特点。对冷阴极和热阴极两种离子源作了比较。论述了冷阴极离子源及其在真空镀膜中的应用。
关键词
离子束辅助蒸发
冷阴极离子源
真空镀膜技术
下载PDF
职称材料
题名
多体宽束冷阴极离子源在真空镀膜中的运用
1
作者
汤彦骐
孙屹群
出处
《云光技术》
1994年第3期26-30,共5页
关键词
冷阴极
离子源
离子束蒸发
镀膜
分类号
TG174.442 [金属学及工艺—金属表面处理]
下载PDF
职称材料
题名
机床加工光学柱面镜的分析
2
作者
汤彦骐
出处
《云光技术》
1990年第4期23-25,共3页
关键词
光学仪器
柱面镜
机床加工
分类号
TH740.6 [机械工程—光学工程]
下载PDF
职称材料
题名
冷阴极离子源辅助镀膜技术及应用
被引量:
1
3
作者
孙屹群
汤彦骐
机构
云南光学仪器厂
出处
《激光技术》
CAS
CSCD
北大核心
1997年第5期318-320,共3页
文摘
叙述了离子束辅助镀膜的特点。对冷阴极和热阴极两种离子源作了比较。论述了冷阴极离子源及其在真空镀膜中的应用。
关键词
离子束辅助蒸发
冷阴极离子源
真空镀膜技术
Keywords
ion beam auxiliary deposition(IAD) cold cathode ion source
分类号
TN305.8 [电子电信—物理电子学]
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
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1
多体宽束冷阴极离子源在真空镀膜中的运用
汤彦骐
孙屹群
《云光技术》
1994
0
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职称材料
2
机床加工光学柱面镜的分析
汤彦骐
《云光技术》
1990
0
下载PDF
职称材料
3
冷阴极离子源辅助镀膜技术及应用
孙屹群
汤彦骐
《激光技术》
CAS
CSCD
北大核心
1997
1
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职称材料
已选择
0
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