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多体宽束冷阴极离子源在真空镀膜中的运用
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作者 汤彦骐 孙屹群 《云光技术》 1994年第3期26-30,共5页
关键词 冷阴极 离子源 离子束蒸发 镀膜
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机床加工光学柱面镜的分析
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作者 汤彦骐 《云光技术》 1990年第4期23-25,共3页
关键词 光学仪器 柱面镜 机床加工
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冷阴极离子源辅助镀膜技术及应用 被引量:1
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作者 孙屹群 汤彦骐 《激光技术》 CAS CSCD 北大核心 1997年第5期318-320,共3页
叙述了离子束辅助镀膜的特点。对冷阴极和热阴极两种离子源作了比较。论述了冷阴极离子源及其在真空镀膜中的应用。
关键词 离子束辅助蒸发 冷阴极离子源 真空镀膜技术
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