并联3-RRRPP踝关节康复机构的设计与分析

分析了一种3-RRRPP新型踝关节康复并联机器人机构。综合了该并联机构的结构特性,基于螺旋理论对机构的自由度进行计算,确定其为具有三维转动自由度且转动中心与人体踝关节中心重合的无过约束机构;并基于坐标变换法对机构位置逆解进行分析,利用ADAMS软件进行仿真,验证其正确性;再对其工作空间进行分析,验证其满足踝关节康复训练的需求。

铜工艺阵列基板上数据线和公共电极不可见的短路原因分析及改善

本文针对铜工艺TFT-LCD制作过程中遇到的不可见的数据信号线和公共电极信号线短路(DCS),提出切割实验方案,精确定位不可见类型的DCS异常的实际位置。基于数据和失效模式分析结果,设计不同灰化工艺时间膜层形貌观察实验,探究发生机理。本文产出的异常发生机理是灰化过程中反应气体SF6残留在“屋檐状”光刻胶下方对公共电极Cu金属造成腐蚀,在产线湿度高的情况下易加剧腐蚀,腐蚀产物向上生长,后续栅极绝缘层/活性层镀膜无法完全覆盖住腐蚀产物,造成源、漏(Source&Drain,SD)层镀膜后数据线与腐蚀产物相连接,最终形成TFT基板膜层正面不可见的DCS异常。依据以上调查结果进行灰化工艺SF6气体用量、产线相对湿度(RH)、灰化工序至2nd栅极湿刻工序等待时间和设计相关的改善验证,最终通过量产导入灰化工艺SF6气体用量降低、产线相对湿度(RH)降低、缩短灰化工序至2nd栅极湿刻工序等待时间和优化异常发生区域开槽设计以增大间距H等改善措施,大幅减少了不可见类型的DCS异常。