单晶圆湿法清洗工艺中铝金属腐蚀问题研究

在集成电路制造中,湿法清洗工艺中铝金属腐蚀是一种致命缺陷,它的出现将引发产品的可靠性问题。通过控制清洗过程中的工艺参数,增加起侧壁保护作用的铝金属氧化层的厚度,从而抑制铝金属腐蚀缺陷的产生。随着清洗溶液温度的降低,晶圆清洗后6 h铝金属腐蚀缺陷数量明显减少;随着H_(2)SO_(4)标称质量分数由80%增加到105%,铝金属腐蚀缺陷数量减少;而H_(2)SO_(4)标称质量分数继续增加到115%时,铝金属腐蚀缺陷数量却增加。清洗溶液温度和H_(2)SO_(4)质量分数实验结果表明,更低的温度以及一定范围内的高H_(2)SO_(4)质量分数有利于促进铝金属氧化层的生成,强化侧壁保护,从而达到抑制铝金属腐蚀缺陷发生的目的。

幼儿心理健康教育浅议

健康是人类的最基本要求，也是一项最重要的社会目标。然而，对于什么是健康，人们的认识并不完全一致。在许多人脑子里，一提到健康就理解为身体没病，体格健壮。这种单纯的身体健康观，存在很大的片面性，忽视了心理健康的重要性。在幼儿健康教育中，偏重幼儿身体保健教育，缺少幼儿心理卫生教育方面的内容，这种倾向不利于幼儿身心的全面发展。因此，如何克服传统健康观的片面性，树立正确的健康观念，完全将健康剥离到卫生保健工作的管理范围，是当前我们工作中需要着重解决的一个重要问题。