基于边缘计算与虚拟化的工业控制代码实时构造

根据运行数据反馈来实时动态优化产线是工业互联网与边缘计算的关键应用之一。然而,现有的工业控制系统软件并不具备实时在线动态重构的能力。本文通过在边缘计算中引入虚拟化技术与分布式工业控制软件标准IEC 61499,实现了模块化的工业控制代码实时构造,并在汽车焊接场景中取得了良好的效果,大幅度提升了补焊的效率。

分子吸收光谱在半导体薄膜化学气相沉积中的应用

在化学气相沉积（CVD）生长半导体薄膜过程中,反应前体的浓度测量对于了解反应机理至关重要。紫外-可见吸收光谱和红外光谱是测量半导体薄膜CVD生长中分子浓度的主要工具,特别是可以实现气体浓度的原位测量。本文介绍了CVD中紫外-可见吸收光谱的测量系统,以及它们在测量Ⅲ～Ⅴ族气体浓度和确定在不同条件下化学反应路径中的应用。包括常见金属有机物等气体的吸收特征,紫外-可见吸收光谱在不同温度和压力下CVD过程中In N、Ga N薄膜生长中的应用。本文也介绍了红外光谱分析方法在CVD中的应用,包括不同条件下TMG和NH3气相反应机理的分析、SiC薄膜的元素成分分析以及Ga N薄膜的气相反应速率的确定。