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微型柔性剪切应力传感器的制作研究
被引量:
6
1
作者
陈四海
汪殿民
+2 位作者
朱福龙
徐涌
易新建
《传感器技术》
CSCD
北大核心
2005年第8期80-82,85,共4页
利用微机电系统(MEMS)技术,制作了一种新型传感器阵列。首先,在刚性衬底上制作了一种8×8切应力传感器阵列,然后,利用硅岛阵列技术制作了一种柔性结构。试验结果表明:所制作的柔性传感器阵列经多次弯扭循环后,电阻值基本没有变化,...
利用微机电系统(MEMS)技术,制作了一种新型传感器阵列。首先,在刚性衬底上制作了一种8×8切应力传感器阵列,然后,利用硅岛阵列技术制作了一种柔性结构。试验结果表明:所制作的柔性传感器阵列经多次弯扭循环后,电阻值基本没有变化,柔性传感器在经过弯扭3300次后,传感器本身的柔性材料并没有断。
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关键词
微机电系统
剪切应力传感器
硅岛阵列
柔性结构
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职称材料
基于MoEMS工艺制作柔性光学传感器
被引量:
1
2
作者
陈四海
潘峰
+5 位作者
付小朝
柯才军
汪殿民
向思桦
赖建军
易新建
《半导体光电》
CAS
CSCD
北大核心
2005年第B03期64-66,共3页
基于MOEMS技术研究了一种用于仿生柔性光学传感器的曲面微透镜的制作方法。首先利用传统的光刻胶热熔工艺制作了平面微透镜阵列,然后利用深刻蚀(ICP)制作了一种硅岛阵列支撑结构,在硅岛上涂覆一层聚酰亚胺,并固化,形成柔性的结构。...
基于MOEMS技术研究了一种用于仿生柔性光学传感器的曲面微透镜的制作方法。首先利用传统的光刻胶热熔工艺制作了平面微透镜阵列,然后利用深刻蚀(ICP)制作了一种硅岛阵列支撑结构,在硅岛上涂覆一层聚酰亚胺,并固化,形成柔性的结构。利用这种技术所制作的微型光学传感器既具有一定的柔性,又具有一定的强度,而且与传统的硅工艺相兼容。
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关键词
柔性传感器
硅岛阵列
微光机电系统(MOEMS)技术
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职称材料
题名
微型柔性剪切应力传感器的制作研究
被引量:
6
1
作者
陈四海
汪殿民
朱福龙
徐涌
易新建
机构
华中科技大学光电子工程系
华中科技大学微系统研究中心
出处
《传感器技术》
CSCD
北大核心
2005年第8期80-82,85,共4页
基金
国家863计划资助项目(2003AA404090)
文摘
利用微机电系统(MEMS)技术,制作了一种新型传感器阵列。首先,在刚性衬底上制作了一种8×8切应力传感器阵列,然后,利用硅岛阵列技术制作了一种柔性结构。试验结果表明:所制作的柔性传感器阵列经多次弯扭循环后,电阻值基本没有变化,柔性传感器在经过弯扭3300次后,传感器本身的柔性材料并没有断。
关键词
微机电系统
剪切应力传感器
硅岛阵列
柔性结构
Keywords
microelectromechanical systems (MEMS)
shear stress sensor
silicon islands array
flexible structure
分类号
TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
TH-39 [机械工程]
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职称材料
题名
基于MoEMS工艺制作柔性光学传感器
被引量:
1
2
作者
陈四海
潘峰
付小朝
柯才军
汪殿民
向思桦
赖建军
易新建
机构
华中科技大学光电子工程系、微系统研究中心
华中科技大学光电子工程系
出处
《半导体光电》
CAS
CSCD
北大核心
2005年第B03期64-66,共3页
文摘
基于MOEMS技术研究了一种用于仿生柔性光学传感器的曲面微透镜的制作方法。首先利用传统的光刻胶热熔工艺制作了平面微透镜阵列,然后利用深刻蚀(ICP)制作了一种硅岛阵列支撑结构,在硅岛上涂覆一层聚酰亚胺,并固化,形成柔性的结构。利用这种技术所制作的微型光学传感器既具有一定的柔性,又具有一定的强度,而且与传统的硅工艺相兼容。
关键词
柔性传感器
硅岛阵列
微光机电系统(MOEMS)技术
分类号
TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
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1
微型柔性剪切应力传感器的制作研究
陈四海
汪殿民
朱福龙
徐涌
易新建
《传感器技术》
CSCD
北大核心
2005
6
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职称材料
2
基于MoEMS工艺制作柔性光学传感器
陈四海
潘峰
付小朝
柯才军
汪殿民
向思桦
赖建军
易新建
《半导体光电》
CAS
CSCD
北大核心
2005
1
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职称材料
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参考文献
引证文献
统计分析
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