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基于GaAs工艺的新型I-Q矢量调制器芯片设计 被引量:1
1
作者 沈宏昌 沈亚 +4 位作者 潘晓枫 徐波 李思其 曲俊达 韩群飞 《固体电子学研究与进展》 CAS CSCD 北大核心 2016年第2期115-118,共4页
在传统的单平衡式I-Q矢量调制器的基础上,提出了一种新颖的I-Q矢量调制方法。通过采用180°模拟移相器替代传统的双相调制器和衰减器,从而降低了插入损耗并减小了芯片面积。最终,本文采用0.25μm GaAs PHEMT工艺,设计出了一款K波段... 在传统的单平衡式I-Q矢量调制器的基础上,提出了一种新颖的I-Q矢量调制方法。通过采用180°模拟移相器替代传统的双相调制器和衰减器,从而降低了插入损耗并减小了芯片面积。最终,本文采用0.25μm GaAs PHEMT工艺,设计出了一款K波段单片集成的I-Q矢量调制器。实测结果表明:在21~23GHz频带内,该芯片实现了0到360°的连续变化的相位调制,其幅度调制深度大于20dB,插入损耗小于11.2dB。 展开更多
关键词 单平衡 GAAS 模拟移相器 矢量调制器
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宽带GaN大功率单刀双掷开关设计 被引量:1
2
作者 沈宏昌 任春江 +2 位作者 韩群飞 徐波 李思其 《固体电子学研究与进展》 CAS CSCD 北大核心 2015年第5期444-447,共4页
设计了一款基于MMIC工艺的宽带GaN大功率单刀双掷开关芯片,该款GaN开关芯片电路采用一个串管两并管的结构。在小信号开关芯片设计的基础上,利用了功率开关容量的理论公式,并结合电路仿真以及电磁场仿真,辅之以DOE(Design of experiment... 设计了一款基于MMIC工艺的宽带GaN大功率单刀双掷开关芯片,该款GaN开关芯片电路采用一个串管两并管的结构。在小信号开关芯片设计的基础上,利用了功率开关容量的理论公式,并结合电路仿真以及电磁场仿真,辅之以DOE(Design of experiment)方法设计。开关芯片实测结果表明:在DC-12GHz频带内,插入损耗<1.2dB,隔离度>40dB,P-0.1>44dBm,体积仅为1.8mm×1.0mm×0.1mm。 展开更多
关键词 宽带 氮化镓 大功率 开关
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基于金属陶瓷贴片封装的数控衰减器设计 被引量:2
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作者 沈宏昌 沈亚 《电子与封装》 2010年第12期1-4,19,共5页
衰减器作为幅度调制器件被广泛用于电子战、雷达、测试设备、通信等各种微波领域。随着信息革命的深入发展,通信、雷达、测试设备等各种微波领域的电子设备趋向于小型化、低成本,对元器件的体积、功耗、可靠性、使用方便性的要求越来越... 衰减器作为幅度调制器件被广泛用于电子战、雷达、测试设备、通信等各种微波领域。随着信息革命的深入发展,通信、雷达、测试设备等各种微波领域的电子设备趋向于小型化、低成本,对元器件的体积、功耗、可靠性、使用方便性的要求越来越高。文章介绍了一款采用GaAsPHEMT工艺和金属陶瓷贴片封装制作的L波段高精度单片六位数控衰减器的设计方法和研制结果。测试结果表明在频率为DC~2GHz内,衰减步进0.5dB,衰减范围0~31.5dB,插入损耗IL<2.5dB,输入输出驻波比VSWR<1.4,衰减精度|△A_i|<(0.2+3%A_i)dB。附加相移|△φ|<3°,控制方式为TTL电平。 展开更多
关键词 数控衰减器 PHEMT 衰减精度
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GaAs pHEMT与Si CMOS异质集成的研究 被引量:6
4
作者 吴立枢 赵岩 +2 位作者 沈宏昌 张有涛 陈堂胜 《固体电子学研究与进展》 CAS CSCD 北大核心 2016年第5期377-381,共5页
基于圆片级外延层转移技术,将完成GaAs pHEMT有源器件加工的外延层从原有衬底上完整地剥离下来并转移到完成工艺加工的Si CMOS圆片上,基于开发的异类器件互联以及异类器件单片集成电路设计等一系列关键技术,进行了GaAs pHEMT与Si CMOS... 基于圆片级外延层转移技术,将完成GaAs pHEMT有源器件加工的外延层从原有衬底上完整地剥离下来并转移到完成工艺加工的Si CMOS圆片上,基于开发的异类器件互联以及异类器件单片集成电路设计等一系列关键技术,进行了GaAs pHEMT与Si CMOS异质集成单片电路的工艺加工。研制的GaAs pHEMT与Si CMOS异质集成单片数字控制开关电路与传统的GaAs pHEMT单片电路相比,芯片面积减小15%。 展开更多
关键词 转移 键合 GaAs赝配高电子迁移率晶体管 Si互补金属氧化物半导体 异质互联
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E/D GaAs PHEMT多功能MMIC设计 被引量:9
5
作者 刘石生 彭龙新 +1 位作者 潘晓枫 沈宏昌 《固体电子学研究与进展》 CAS CSCD 北大核心 2014年第1期29-34,40,共7页
基于E/D GaAs赝配高电子迁移率晶体管(PHEMT)工艺研制了Ku波段多功能MMIC芯片。该MMIC集成了数字驱动器和微波电路,内含6bit数控移相器、6bit数控衰减器、3个低噪声放大器、4个数控单刀双掷开关、多个TTL数字驱动器。其中两个低噪声放... 基于E/D GaAs赝配高电子迁移率晶体管(PHEMT)工艺研制了Ku波段多功能MMIC芯片。该MMIC集成了数字驱动器和微波电路,内含6bit数控移相器、6bit数控衰减器、3个低噪声放大器、4个数控单刀双掷开关、多个TTL数字驱动器。其中两个低噪声放大器采用了电流复用技术,总直流功耗小于275mW,实现了节能。测试结果表明:发射支路增益大于2dB,输出P1dB大于9dBm;接收支路增益大于10dB,输出P1dB大于7dBm,噪声系数小于8dB。相对移相误差均方根值(RMS)在发射和接收模式下均小于6°,附加调幅小于1.5dB;衰减误差RMS小于0.7dB,附加调相小于4°。 展开更多
关键词 数字微波集成多功能单片电路 数控移相器 数控衰减器 数字驱动器
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基于LTCC技术的表贴式微波模块设计 被引量:6
6
作者 周骏 窦文斌 +1 位作者 沈亚 沈宏昌 《微波学报》 CSCD 北大核心 2010年第2期47-49,84,共4页
给出了一种新型无引线表贴式微波模块设计方法。采用LTCC多层布线技术,运用垂直过渡方式实现微波信号从基板底部到表面的信号传输,完成表贴式互连结构设计。在DC-18GHz内,该表贴互连驻波小于1.5,插入损耗小于1.5dB(含测试盒插入损耗)。... 给出了一种新型无引线表贴式微波模块设计方法。采用LTCC多层布线技术,运用垂直过渡方式实现微波信号从基板底部到表面的信号传输,完成表贴式互连结构设计。在DC-18GHz内,该表贴互连驻波小于1.5,插入损耗小于1.5dB(含测试盒插入损耗)。在此基础上设计、制作了一款表贴式X波段有源多功能模块,在9~10GHz内,测得噪声系数小于4dB,输出功率大于21dBm。尺寸仅为13×13×4.5mm3,重量小于3g。 展开更多
关键词 表贴 多芯片组件 低温共烧陶瓷 垂直转换
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Ku波段GaN一片式收发组件芯片 被引量:2
7
作者 任春江 彭龙新 +5 位作者 戈勤 沈宏昌 潘晓枫 李建平 李忠辉 陈堂胜 《固体电子学研究与进展》 CAS CSCD 北大核心 2017年第1期1-5,31,共6页
报道了一款应用于Ku波段的GaN T/R MMIC。该芯片采用0.15μm GaN HEMT器件工艺制造,集成了T/R组件的接收通道和发射通道,芯片面积7.00mm×3.32mm。研制的MMIC集成了5位数字衰减器、5位数字移相器、前级低噪声放大器、后级低噪声放... 报道了一款应用于Ku波段的GaN T/R MMIC。该芯片采用0.15μm GaN HEMT器件工艺制造,集成了T/R组件的接收通道和发射通道,芯片面积7.00mm×3.32mm。研制的MMIC集成了5位数字衰减器、5位数字移相器、前级低噪声放大器、后级低噪声放大器、驱动放大器、功率放大器、公用支路的小信号开关和收发切换的功率开关。在16~17GHz工作频带内测得该芯片接收通道增益大于21dB,噪声系数小于3.5dB;发射通道增益大于20.8dB,饱和功率大于40.8dBm,功率附加效率典型值30%。该芯片上集成的5位数字移相器、5位数字衰减器功能正常,达到设计要求。 展开更多
关键词 氮化镓 KU波段 收发 一片式收发组件芯片
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GaN HEMT工艺的X波段发射前端多功能MMIC 被引量:3
8
作者 徐波 戈勤 +2 位作者 沈宏昌 陶洪琪 钱峰 《微波学报》 CSCD 北大核心 2017年第6期57-61,共5页
采用0.25μm Ga N HEMT工艺,研制了一款X波段发射前端多功能MMIC,片上集成了一个单刀双掷(SPDT)开关和一个功率放大器电路。其中SPDT开关采用对称的两路双器件并联结构,功率放大器采用三级放大拓扑结构设计,电路采用电抗匹配方式兼顾输... 采用0.25μm Ga N HEMT工艺,研制了一款X波段发射前端多功能MMIC,片上集成了一个单刀双掷(SPDT)开关和一个功率放大器电路。其中SPDT开关采用对称的两路双器件并联结构,功率放大器采用三级放大拓扑结构设计,电路采用电抗匹配方式兼顾输出功率和效率。测试结果表明,在8~12 GHz频带内,芯片发射通道饱和输出功率为38.6~40.2 d Bm,功率附加效率为29%~34.5%,其中开关插入损耗约为0.8 d B,隔离度优于-45d B。该芯片面积为4 mm×2.1 mm。 展开更多
关键词 氮化镓 功率放大器 单刀双掷开关 发射前端
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Ku波段SiGe幅相多功能芯片设计 被引量:4
9
作者 李健康 沈宏昌 +3 位作者 陈亮 李晓鹏 童伟 曲俊达 《固体电子学研究与进展》 CAS CSCD 北大核心 2017年第1期15-20,共6页
幅相多功能芯片是相控阵雷达的关键部件。为了降低前端收发组件的尺寸和成本,本文采用0.13μm SiGe BiCMOS工艺设计了一款Ku波段幅相多功能芯片,单片集成了接收通道和发射通道,芯片面积2.5 mm×4.5mm。研制的多功能芯片的接收通道... 幅相多功能芯片是相控阵雷达的关键部件。为了降低前端收发组件的尺寸和成本,本文采用0.13μm SiGe BiCMOS工艺设计了一款Ku波段幅相多功能芯片,单片集成了接收通道和发射通道,芯片面积2.5 mm×4.5mm。研制的多功能芯片的接收通道含前端低噪声放大器、六位数控衰减器、驱动放大器、单刀双掷开关、六位数控移相器;发射通道含六位数控移相器、单刀双掷开关、驱动放大器、中功率放大器。此外,为了进一步提高芯片的集成度,采用片上集成的电源管理单元和数字逻辑单元实现电源电压变换、衰减器和移相器的逻辑控制以及收发通道切换等功能。实测结果表明:在f1~f2(1GHz带宽)频带内,实现了发射增益17dB,发射功率(Psat)21.7dBm;接收增益-3dB,接收输入功率(P-1)-8.5dBm,接收噪声系数6.5dB;5.625°移相步进,移相精度(RMS)4.5°;0.5dB衰减步进,衰减精度(0.3dB+7%AS)。 展开更多
关键词 SIGE 异质结双极晶体管 移相器 衰减器 功率放大器 单刀双掷开关
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Ku波段GaN T/R一体多功能MMIC的研制 被引量:3
10
作者 彭龙新 任春江 +5 位作者 戈勤 詹月 沈宏昌 李建平 彭建业 徐波 《固体电子学研究与进展》 CAS CSCD 北大核心 2016年第3期257-,共1页
<正>首次研制了国内第一块Ku波段GaN T/R一体多功能全单片芯片,该芯片集成了T/R的接收通道和发射通道。接收通道含功率输出开关、前级低噪声放大器、5位数字衰减器、后级低噪声放大器、小信号开关和5位数字移相器;发射通道含5位... <正>首次研制了国内第一块Ku波段GaN T/R一体多功能全单片芯片,该芯片集成了T/R的接收通道和发射通道。接收通道含功率输出开关、前级低噪声放大器、5位数字衰减器、后级低噪声放大器、小信号开关和5位数字移相器;发射通道含5位数字移相器、小信号开关、驱动放大器、功率放大器和功率开关,如图1所示。在16~17 GHz工作频率内测得接收通道增益≥20±0.5 dB,噪声系数≤3.5 dB;发射通道增益约44 dB,饱和功率41 dBm(脉冲宽度100μs,10%占空比),功率附加效率约30%。 展开更多
关键词 低噪声放大器 移相器 接收通道 功率附加效率 功率开关 Ku波段GaN T/R MMIC 噪声系数 占空比 衰减器
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EMMI故障定位和基于故障树的GaAs MMIC失效分析 被引量:4
11
作者 王创国 贾洁 +3 位作者 周舟 沈宏昌 贾东铭 林罡 《固体电子学研究与进展》 CSCD 北大核心 2017年第5期333-338,共6页
首先通过故障树的方式,分析了某6位数控衰减器衰减态翻转速度异常的失效模式和失效机理。把故障树的顶事件2dB衰减态翻转速度异常分为开关管ESD损伤、驱动信号异常、衰减电阻异常、控制端电阻异常4个子事件,经过分析得出翻转速度异常最... 首先通过故障树的方式,分析了某6位数控衰减器衰减态翻转速度异常的失效模式和失效机理。把故障树的顶事件2dB衰减态翻转速度异常分为开关管ESD损伤、驱动信号异常、衰减电阻异常、控制端电阻异常4个子事件,经过分析得出翻转速度异常最大可能是由于控制端电阻过大引发RC延迟现象,进而导致关断或开启延迟故障。然后通过微光显微镜和激光感应阻抗变化率对故障件进行故障定位确定了故障点,为分析结果提供了依据。 展开更多
关键词 失效分析 故障树 微光显微镜 激光感应阻抗变化率
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砷化镓0.25μm PHEMT开关模型研究 被引量:5
12
作者 郑惟彬 李拂晓 +3 位作者 李辉 沈亚 潘晓枫 沈宏昌 《固体电子学研究与进展》 CAS CSCD 北大核心 2008年第3期372-376,共5页
借助于传统的FET等效电路模型,给出了0.25μm GaAs PHEMT的开关模型,并在ICCAP和ADS软件中,完成等效电路参数的提取与优化。通过对单刀单掷(SPST)开关的仿真和测试,表明,在0.1~20 GHz的频域内,其"开"态插入损耗误差、端口1... 借助于传统的FET等效电路模型,给出了0.25μm GaAs PHEMT的开关模型,并在ICCAP和ADS软件中,完成等效电路参数的提取与优化。通过对单刀单掷(SPST)开关的仿真和测试,表明,在0.1~20 GHz的频域内,其"开"态插入损耗误差、端口1和端口2的电压驻波比误差分别小于0.3 dB、0.24和0.19;其"关"态隔离度误差、端口1和端口2的电压驻波比误差分别小于1.9 dB、0.12和0.08。文中得到的PHEMT开关模型将有助于控制类单片集成电路的研究与开发。 展开更多
关键词 砷化镓 膺配高电子迁移率晶体管 开关模型
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5G毫米波GaN收发前端芯片研究
13
作者 李大伟 郝张伟 +4 位作者 靳赛赛 沈宏昌 徐阳 汤飞鸿 钱峰 《固体电子学研究与进展》 CAS 北大核心 2023年第3期197-201,共5页
收发前端芯片是5G混合波束赋形系统架构中的关键器件之一,其关键指标包括发射通路的高效率与接收通路的低噪声。研制了一款采用GaN集成工艺的Ka波段收发前端MMIC,采用谐波匹配技术提高发射通路的效率,通过接收电路拓扑的正确选择及前级... 收发前端芯片是5G混合波束赋形系统架构中的关键器件之一,其关键指标包括发射通路的高效率与接收通路的低噪声。研制了一款采用GaN集成工艺的Ka波段收发前端MMIC,采用谐波匹配技术提高发射通路的效率,通过接收电路拓扑的正确选择及前级匹配网络的优化设计降低接收通路的噪声系数。测试结果表明,芯片在37~40 GHz频率范围内发射通路饱和输出功率大于36 dBm,饱和效率大于26%,功率回退8 dB时三阶交调失真小于-33 dBc;接收通路增益大于19 dB,噪声系数小于3.6 dB。该收发前端芯片可应用于5G毫米波基站中。 展开更多
关键词 收发前端芯片 5G GAN KA波段 效率 噪声系数
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基于电容补偿技术的毫米波反射式衰减器设计
14
作者 浦鈺钤 沈宏昌 +3 位作者 汤飞鸿 郝张伟 张有明 黄风义 《Journal of Southeast University(English Edition)》 EI CAS 2023年第2期153-160,共8页
为提升衰减精度和附加相移性能,采用电容补偿技术吸收了开关管的寄生效应,设计了2款5位毫米波反射式衰减器芯片.通过剖析3种基本电容补偿拓扑,借助史密斯圆图,分析负载反射系数、衰减量和附加相移随补偿电容的变化情况,总结出采用电容... 为提升衰减精度和附加相移性能,采用电容补偿技术吸收了开关管的寄生效应,设计了2款5位毫米波反射式衰减器芯片.通过剖析3种基本电容补偿拓扑,借助史密斯圆图,分析负载反射系数、衰减量和附加相移随补偿电容的变化情况,总结出采用电容补偿技术设计反射式衰减器的设计流程和优化方法,并流片验证.2款芯片均集成有1个五位衰减器和1个单刀双掷开关,总芯片面积均为3 mm×1 mm.其中芯片A基于0.5μm砷化镓PHEMT工艺,采用了尾电容补偿技术;芯片B基于0.15μm砷化镓PHEMT工艺,采用了开关管前/后电容补偿技术.结果表明,2款芯片包含开关的插入损耗均小于4.5 dB,其中衰减器的插入损耗均小于3 dB,衰减均方根误差都小于0.4 dB,输入1 dB压缩功率都大于25 dBm,芯片A衰减相位变动小于±5°,芯片B衰减相位变动小于±2.5°. 展开更多
关键词 反射式衰减器 毫米波 容性补偿 低衰减误差 低相位变动
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一款高精度宽带多功能芯片的设计
15
作者 郝张伟 汤飞鸿 +2 位作者 李大伟 沈宏昌 靳赛赛 《固体电子学研究与进展》 CAS 北大核心 2023年第6期492-497,共6页
基于0.15μm的GaAs pHEMT工艺,研制了一款覆盖X-Ku频段的高精度多功能芯片。该芯片集成了单刀双掷开关、驱动放大器、低噪声放大器和6位数控衰减器等功能模块。其中低噪声放大器采用电流复用技术降低功耗,并通过并联反馈进行增益补偿实... 基于0.15μm的GaAs pHEMT工艺,研制了一款覆盖X-Ku频段的高精度多功能芯片。该芯片集成了单刀双掷开关、驱动放大器、低噪声放大器和6位数控衰减器等功能模块。其中低噪声放大器采用电流复用技术降低功耗,并通过并联反馈进行增益补偿实现较好的增益平坦度。驱动放大器采用三级结构,并采用逐级增大管芯尺寸和功耗的方法提高线性度。数控衰减器在传统的T型衰减结构的基础上,加入串联电感和并联电容进行改进,保证较高衰减精度的同时减小了附加相移误差。测试结果表明:该多功能芯片在10~18 GHz范围内,接收通道增益14 dB,输出功率1 dB压缩点大于10 dBm,功耗0.2 W,衰减均方根误差值小于0.4 dB,附加相移均方根误差值小于2°;发射通道增益20 dB,输出功率1 dB压缩点大于17 dBm,功耗0.25 W。芯片尺寸仅3.5 mm×1.8 mm。 展开更多
关键词 宽带 高精度 衰减器 多功能芯片
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一种大功率高效率的Ku波段SiGe硅功率放大器设计
16
作者 李健康 童伟 +2 位作者 沈宏昌 浦钰钤 曲俊达 《固体电子学研究与进展》 CSCD 北大核心 2017年第4期245-250,256,共7页
采用SiGe BiCMOS工艺设计了一款大功率高效率硅基功率放大器芯片,用于驱动现有大功率GaN功率放大器芯片,满足相控阵雷达的低成本需求。该硅基功率放大器通过和低噪声放大器、驱动放大器、数控移相器、数控衰减器、单刀双掷开关、电源管... 采用SiGe BiCMOS工艺设计了一款大功率高效率硅基功率放大器芯片,用于驱动现有大功率GaN功率放大器芯片,满足相控阵雷达的低成本需求。该硅基功率放大器通过和低噪声放大器、驱动放大器、数控移相器、数控衰减器、单刀双掷开关、电源管理以及数字逻辑单元等硅基电路进一步集成,实现了一片式高集成度硅基幅相多功能芯片,从而降低了前端收发组件的尺寸和成本。在硅基功率放大器设计中,结合Stack结构、变压器耦合结构和有源偏置结构,开展电路设计及优化,提高了放大器的输出功率和效率。测试结果表明:研制的硅基功率放大器在Ku波段f_1~f_2(3GHz带宽)频带内,实现了小信号增益31dB;在-3dBm输入功率条件下,实现发射功率21.5dBm、功率附加效率(PAE)25%等技术指标。集成功率放大器的幅相多功能芯片在f_1~f_2(3GHz带宽)频带内,实现了发射通道增益24dB;在5dBm输入功率条件下发射功率21.5dBm、功率附加效率(PAE)23%等技术指标。 展开更多
关键词 SIGE 异质结双极晶体管 功率放大器 变压器 Stack结构
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GaN宽带大功率MMIC开关 被引量:1
17
作者 沈宏昌 任春江 +3 位作者 李忠辉 陈堂胜 张斌 高涛 《固体电子学研究与进展》 CAS CSCD 北大核心 2013年第2期F0003-F0003,共1页
GaNHEMT作为第三代宽禁带化合物半导体器件,其高的击穿电压、大的电流密度等特点,使其非常适合十微波大功率开关的研制。南京电子器件研究所利用76.2mm(3英寸)SiC衬底GaNHEMT材料实现了C~6GHz20W、DC~12GHz15W和DC~20GHz8w宽带... GaNHEMT作为第三代宽禁带化合物半导体器件,其高的击穿电压、大的电流密度等特点,使其非常适合十微波大功率开关的研制。南京电子器件研究所利用76.2mm(3英寸)SiC衬底GaNHEMT材料实现了C~6GHz20W、DC~12GHz15W和DC~20GHz8w宽带大功率系列开关的研制。 展开更多
关键词 功率开关 大功率 MMIC 宽带 GAN 南京电子器件研究所 半导体器件 击穿电压
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螺栓支承面垂直度测量方法与检具定位部分设计 被引量:1
18
作者 沈宏昌 《紧固件技术》 1995年第1期1-5,共5页
本文指出了我厂以前螺栓头部支承面跳动量具设计及测量方法存在的问题。研究了螺栓头部支承面对杆部螺栓轴线的垂直度与杆部螺栓的全跳动之间相互关系,介绍了检具定位部分的设计及特点。整套检具被高强度螺栓学会指定为推荐检具。
关键词 螺栓 支承面垂直度 测量 检测工具 设计
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Heterogeneous integration of GaAs pHEMT and Si CMOS on the same chip 被引量:2
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作者 吴立枢 赵岩 +2 位作者 沈宏昌 张有涛 陈堂胜 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2016年第6期494-499,共6页
In this work,we demonstrate the technology of wafer-scale transistor-level heterogeneous integration of Ga As pseudomorphic high electron mobility transistors(p HEMTs) and Si complementary metal–oxide semiconductor... In this work,we demonstrate the technology of wafer-scale transistor-level heterogeneous integration of Ga As pseudomorphic high electron mobility transistors(p HEMTs) and Si complementary metal–oxide semiconductor(CMOS) on the same Silicon substrate.Ga As p HEMTs are vertical stacked at the top of the Si CMOS wafer using a wafer bonding technique,and the best alignment accuracy of 5 μm is obtained.As a circuit example,a wide band Ga As digital controlled switch is fabricated,which features the technologies of a digital control circuit in Si CMOS and a switch circuit in Ga As p HEMT,15% smaller than the area of normal Ga As and Si CMOS circuits. 展开更多
关键词 Si CMOS GaAs pHEMT heterogeneous integration BENZOCYCLOBUTENE
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基于SiGe BiCMOS工艺的宽带有源矢量合成移相器
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作者 浦鈺钤 沈宏昌 童伟 《固体电子学研究与进展》 CAS 北大核心 2021年第4期268-273,共6页
采用0.13μm SiGe BiCMOS工艺设计了一款高集成度的六位宽带有源矢量合成移相器,该有源矢量合成移相器采用定制设计的超宽带无源巴伦和RLC正交网络,产生宽带的正交信号,保证幅度和相位平衡性。采用双平衡吉尔伯特结构的矢量合成加法器... 采用0.13μm SiGe BiCMOS工艺设计了一款高集成度的六位宽带有源矢量合成移相器,该有源矢量合成移相器采用定制设计的超宽带无源巴伦和RLC正交网络,产生宽带的正交信号,保证幅度和相位平衡性。采用双平衡吉尔伯特结构的矢量合成加法器对四路正交信号合成,其输入级偏置通过超宽带无源巴伦中心抽头提供,吉尔伯特结构开关级用作I、Q极性控制,尾电流源用作I/Q比值控制。通过数字译码电路和电流型数模转换电路控制对应移相位的I、Q极性和I/Q比值。采用双极型有源电感用作吉尔伯特结构的负载,最后合成的输出差分信号经过有源巴伦输出。测试结果表明,研制的有源矢量合成移相器芯片3 dB带宽为7~15 GHz,插损为14 dB,在8~16 GHz频率范围内寄生调幅小于±0.5 dB,输入1 dB功率压缩点为5 dBm,在9~15 GHz频率范围移相精度小于3°,电源电压为3.3 V,电流小于10 mA。包含测试焊盘,芯片尺寸为0.6 mm×0.9 mm,面积为传统同频段无源移相器的四分之一。 展开更多
关键词 锗硅 矢量合成移相器 超宽带巴伦 吉尔伯特结构 正交全通滤波器
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