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基于迁移学习与深度森林的晶圆图缺陷识别
被引量:
5
1
作者
沈宗礼
余建波
《浙江大学学报(工学版)》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2020年第6期1228-1239,共12页
为了有效识别晶圆图缺陷模式并及时诊断制造过程的故障源,提出基于迁移学习和深度森林集成的DenseNet-GCForest晶圆图缺陷模式识别模型.为了解决深度学习模型训练困难和晶圆图缺陷类型数目不平衡的问题,利用迁移学习将深度卷积神经网络D...
为了有效识别晶圆图缺陷模式并及时诊断制造过程的故障源,提出基于迁移学习和深度森林集成的DenseNet-GCForest晶圆图缺陷模式识别模型.为了解决深度学习模型训练困难和晶圆图缺陷类型数目不平衡的问题,利用迁移学习将深度卷积神经网络DenseNet在ImageNet上预训练的网络权重参数迁移至本模型并重新设计分类层,以减少深度网络模型的训练时间并提高模型的特征提取能力;基于DenseNet网络提取的高维抽象晶圆图特征,引入深度森林模型进行晶圆图特征缺陷模式识别.工业案例的实验验证结果表明,该方法的识别准确率达到了96.8%,并提高了识别效率,其性能优于典型的卷积神经网络以及其他常用识别方法.
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关键词
半导体制造
晶圆缺陷
迁移学习
卷积神经网络
深度森林
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职称材料
板式喂料机在设计、制造、使用中存在的问题及改进措施
被引量:
1
2
作者
汤宗成
沈宗礼
《水泥》
CAS
2000年第5期13-15,共3页
详细介绍水泥生产过程中石灰石破碎系统中重型板式喂料机的机型(以槽宽1200mm机型为例) ,阐述原有常规机型在设计、制造、使用中存在的问题及与通过实践进行改进的措施。
关键词
板式喂料机
故障分析
改进措施
水泥厂
水泥生产
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职称材料
选择性脊神经后根切断(SPR)术治疗脑性瘫痪4例
3
作者
马德民
马建志
沈宗礼
《内蒙古医学杂志》
1996年第4期225-226,共2页
选择性脊神经后根切断(SPR)术治疗脑性瘫痪4例马德民,马建志,沈宗礼(赤峰市红山区中医院,武警赤峰市支队医院)国内1990年徐林首先采用SPR术治疗脑痉挛,收到明显疗效。我院自1994年引进SPR手术4例,初步疗效...
选择性脊神经后根切断(SPR)术治疗脑性瘫痪4例马德民,马建志,沈宗礼(赤峰市红山区中医院,武警赤峰市支队医院)国内1990年徐林首先采用SPR术治疗脑痉挛,收到明显疗效。我院自1994年引进SPR手术4例,初步疗效满意,报道如下。1临床资料本组男性...
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关键词
脑性瘫痪
脊神经后根切断
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职称材料
题名
基于迁移学习与深度森林的晶圆图缺陷识别
被引量:
5
1
作者
沈宗礼
余建波
机构
同济大学机械与能源工程学院
出处
《浙江大学学报(工学版)》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2020年第6期1228-1239,共12页
基金
国家自然科学基金资助项目(71777173)
上海科委“科技创新行动计划”高新技术领域资助项目(19511106303)
中央高校基本科研业务费资助项目(22120180068,22120190196).
文摘
为了有效识别晶圆图缺陷模式并及时诊断制造过程的故障源,提出基于迁移学习和深度森林集成的DenseNet-GCForest晶圆图缺陷模式识别模型.为了解决深度学习模型训练困难和晶圆图缺陷类型数目不平衡的问题,利用迁移学习将深度卷积神经网络DenseNet在ImageNet上预训练的网络权重参数迁移至本模型并重新设计分类层,以减少深度网络模型的训练时间并提高模型的特征提取能力;基于DenseNet网络提取的高维抽象晶圆图特征,引入深度森林模型进行晶圆图特征缺陷模式识别.工业案例的实验验证结果表明,该方法的识别准确率达到了96.8%,并提高了识别效率,其性能优于典型的卷积神经网络以及其他常用识别方法.
关键词
半导体制造
晶圆缺陷
迁移学习
卷积神经网络
深度森林
Keywords
semiconductor manufacturing
wafer defect
transfer learning
CNN
deep forest
分类号
TP391.41 [自动化与计算机技术—计算机应用技术]
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职称材料
题名
板式喂料机在设计、制造、使用中存在的问题及改进措施
被引量:
1
2
作者
汤宗成
沈宗礼
机构
安徽芜湖电工机械厂
中国人民保险公司芜湖分公司
出处
《水泥》
CAS
2000年第5期13-15,共3页
文摘
详细介绍水泥生产过程中石灰石破碎系统中重型板式喂料机的机型(以槽宽1200mm机型为例) ,阐述原有常规机型在设计、制造、使用中存在的问题及与通过实践进行改进的措施。
关键词
板式喂料机
故障分析
改进措施
水泥厂
水泥生产
分类号
TQ172.614 [化学工程—水泥工业]
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职称材料
题名
选择性脊神经后根切断(SPR)术治疗脑性瘫痪4例
3
作者
马德民
马建志
沈宗礼
机构
赤峰市红山区中医院
出处
《内蒙古医学杂志》
1996年第4期225-226,共2页
文摘
选择性脊神经后根切断(SPR)术治疗脑性瘫痪4例马德民,马建志,沈宗礼(赤峰市红山区中医院,武警赤峰市支队医院)国内1990年徐林首先采用SPR术治疗脑痉挛,收到明显疗效。我院自1994年引进SPR手术4例,初步疗效满意,报道如下。1临床资料本组男性...
关键词
脑性瘫痪
脊神经后根切断
分类号
R742.305 [医药卫生—神经病学与精神病学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
基于迁移学习与深度森林的晶圆图缺陷识别
沈宗礼
余建波
《浙江大学学报(工学版)》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2020
5
下载PDF
职称材料
2
板式喂料机在设计、制造、使用中存在的问题及改进措施
汤宗成
沈宗礼
《水泥》
CAS
2000
1
下载PDF
职称材料
3
选择性脊神经后根切断(SPR)术治疗脑性瘫痪4例
马德民
马建志
沈宗礼
《内蒙古医学杂志》
1996
0
下载PDF
职称材料
已选择
0
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参考文献
引证文献
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