基于双目视觉的六边形芯片晶圆台高度差测量

针对检测中晶圆台可能影响检测精度的问题,提出了一种基于双目视觉测量芯片晶圆台的测量方法。由于没有现成的六边形芯片数据集,因此采集的样本主要来自由CAD软件绘制生成的理想数据集,然后对采集的数据集进行训练,训练结果值符合检测识别的要求,且准确识别了六边形芯片。最后,利用YOLOv5s网络框架和全局立体匹配算法来对同一直线边缘芯片进行匹配测量,通过求差,计算是否含有高度差,由高度差可以判断出晶圆台是否在同一水平面上。多次实验的结果表明,此方法可以准确检测到六边形芯片晶圆台的高度差。