直流偏压对不锈钢上纯铬涂层结构和性能的影响

采用等离子体增强磁控溅射系统在奥氏体不锈钢表面沉积纯铬涂层,以达到表面强化的效果。通过改变基体直流偏压来调节离子能量,研究离子能量对涂层微观结构和力学性能的影响。采用XRD、SEM、纳米压痕仪、摩擦磨损仪等分别对纯铬涂层的微观结构和力学性能进行了表征。随着偏压增加,纯铬涂层致密度增加,结构由柱状晶向等轴晶转变,沉积速率线性下降,晶粒取向由(110)和(211)向(200)转变。其中,偏压为-25 V时,H/E*与H3/E*2分别为0.0302、0.0058,涂层的塑韧性最高,与基体结合性能最强,耐磨性最佳;且平均摩擦系数仅为0.39,磨痕截面积为61μm2。