微纳米加工与检测技术进展

微纳米加工技术是一个新兴的综合性的制造技术,有良好的应用前景。本文分析了微纳米加工技术(M4)的应用领域及前景,介绍了各种微纳米加工技术及其与传统制造技术的对比,介绍了运用M4技术加工的一些产品零件及其误差,并介绍微纳米检测技术的几种实现方法及其与微纳米加工技术的关系。