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光刻胶傅里叶全息图的记录条件对重构图像信噪比的影响 被引量:2
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作者 浦东林 王策 +2 位作者 吴建宏 陈新荣 《激光杂志》 CAS CSCD 北大核心 2004年第1期58-59,共2页
用光刻胶对具有不同空间频率的黑白二值条纹图像按各种不同条件记录了一系列傅里叶变换全息图 ,并用常规CCD摄像系统检测了重构图像的信息噪比 ,给出了信噪比与离焦量、参 -物光比和曝光量的关系曲线。实验结果表明 ,对给定的实验系统... 用光刻胶对具有不同空间频率的黑白二值条纹图像按各种不同条件记录了一系列傅里叶变换全息图 ,并用常规CCD摄像系统检测了重构图像的信息噪比 ,给出了信噪比与离焦量、参 -物光比和曝光量的关系曲线。实验结果表明 ,对给定的实验系统及记录介质存在一定的最佳离焦量和曝光量 ,对于不同空间频率的黑白二值条纹图像需要采用不同参 -物光比以获得最佳的信噪比。选择适当的记录条件可以对含有多种空间频率条纹的二值图像获得较好的重构效果。 展开更多
关键词 光刻胶 傅里叶全息图 重构图像 信噪比 浮雕全息图
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支持亚波长结构光刻的紫外干涉光学头 被引量:2
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作者 浦东林 魏国军 +1 位作者 张恒 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第10期2166-2170,共5页
设计了351 nm紫外光条件下支持亚波长结构干涉光刻的光学透镜组,数值孔径达到0.46,支持双光束最大干涉角度55°,该光学头理论上能光刻的最小结构周期为400 nm。研制了采用熔石英位相光栅作为分束元件的干涉光学头,在351 nm波长下,... 设计了351 nm紫外光条件下支持亚波长结构干涉光刻的光学透镜组,数值孔径达到0.46,支持双光束最大干涉角度55°,该光学头理论上能光刻的最小结构周期为400 nm。研制了采用熔石英位相光栅作为分束元件的干涉光学头,在351 nm波长下,光刻了周期为450 nm的点阵结构,得到了尺寸约200 nm的凸点结构,实验结果表明,该光学头具有支持亚波长周期结构光刻的功能,是一种亚波长结构器件制造的重要技术手段。 展开更多
关键词 亚波长光学 干涉光学头 紫外光刻
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电子纸微杯结构金属模具的设计与制作 被引量:1
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作者 浦东林 胡进 +2 位作者 朱鹏飞 魏国军 《液晶与显示》 CAS CSCD 北大核心 2011年第2期174-177,共4页
提出了用于电子纸的微结构金属模具的"选择生长"方法,即通过在金属基材上形成选择性的导电与不导电图形,来制作深纹的"微杯"金属模具。在金属基材上涂布负性光刻材料、用带有空间光调制器的激光直写系统曝光形成&qu... 提出了用于电子纸的微结构金属模具的"选择生长"方法,即通过在金属基材上形成选择性的导电与不导电图形,来制作深纹的"微杯"金属模具。在金属基材上涂布负性光刻材料、用带有空间光调制器的激光直写系统曝光形成"微杯"图形,然后通过电铸工艺制作出镍金属模具。实际制作的"蜂窝"分布的微杯结构参数与设计参数基本吻合。该工艺流程适合研制更大尺寸的电子纸的微杯模具,将为"微杯"模具制作提供一种有效手段。 展开更多
关键词 电子纸 微杯模具 光刻电铸
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傅里叶变换存储光刻系统的研制
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作者 浦东林 +1 位作者 解剑锋 沈雁 《激光杂志》 CAS CSCD 北大核心 2006年第5期51-52,共2页
研制了一种傅里叶变换存储光刻系统,为在光刻胶干版上进行傅里叶变换存储研究提供了一种有效的工具。系统采用空间光调制器作为图像输入,能够对图像进行空间、角度复用自动记录傅里叶全息图。由于曝光时间达到毫秒级,记录过程对振动不敏... 研制了一种傅里叶变换存储光刻系统,为在光刻胶干版上进行傅里叶变换存储研究提供了一种有效的工具。系统采用空间光调制器作为图像输入,能够对图像进行空间、角度复用自动记录傅里叶全息图。由于曝光时间达到毫秒级,记录过程对振动不敏感,不需要防震全息台。系统输入图像的条纹最高空间频率为每毫米19线对,记录频率达每分钟10次。 展开更多
关键词 傅里叶变换全息图 全息存储 光刻系统
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基于闪耀光栅图形化实现高分辨率干涉光刻 被引量:3
5
作者 胡进 董晓轩 +2 位作者 浦东林 申溯 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第12期3335-3342,共8页
为提高图形化干涉光刻质量,提出了基于闪耀光栅的图形化干涉光刻(PIIL)系统,并对该系统所采用的光学原理和实现方法进行了研究。首先,分析了图形化干涉光刻系统的光场特性,阐述了其分辨率提升的原理。讨论了光学系统带宽和图案分布对光... 为提高图形化干涉光刻质量,提出了基于闪耀光栅的图形化干涉光刻(PIIL)系统,并对该系统所采用的光学原理和实现方法进行了研究。首先,分析了图形化干涉光刻系统的光场特性,阐述了其分辨率提升的原理。讨论了光学系统带宽和图案分布对光刻图形质量的影响,给出了图形质量控制的工艺方法。其次,提出了一种新型的图形化干涉光刻方法,该方法采用闪耀光栅作为衍射分光器件,实现了位相和振幅的一体化调制。采用数值计算方法模拟了闪耀光栅的衍射特性和像面光场分布,讨论了闪耀光栅的优化设计方法,获得了高达92.3%的±1级衍射效率。最后,基于数字微镜器件(DMD)和微缩成像光路设计开发了图形化干涉光刻系统,实验获得了像素化的点阵图形和质量明显改善的光刻图像,验证了该方法对任意图形的适用性。 展开更多
关键词 图形化干涉光刻 傅里叶光学 衍射效率 激光直写 数字微镜器件
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亚微米光栅型导光板设计 被引量:2
6
作者 叶燕 浦东林 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第2期234-237,共4页
提出了利用亚微米光栅制作导光板的方法,给出亚微米光栅型导光板的初始结构.用严格耦合波理论计算分析了在满足基底全反射条件的45°入射角下红(700nm)、绿(555nm)、蓝(465nm)三色光垂直出射的亚微米光栅(0.651μm、0.516μm、0.433... 提出了利用亚微米光栅制作导光板的方法,给出亚微米光栅型导光板的初始结构.用严格耦合波理论计算分析了在满足基底全反射条件的45°入射角下红(700nm)、绿(555nm)、蓝(465nm)三色光垂直出射的亚微米光栅(0.651μm、0.516μm、0.433μm)在槽深0.05~0.9μm之间变化时,透射衍射效率在2%~43%之间变化.分析了亚微米光栅的作用,做出性能评价,并研究了特定范围入射角引起的衍射角变化. 展开更多
关键词 亚微米光栅 导光板 衍射效率
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用于光导板的亚微米光栅透射衍射特性分析 被引量:1
7
作者 叶燕 浦东林 +1 位作者 周云 《激光杂志》 CAS CSCD 北大核心 2007年第5期55-56,58,共3页
提出了利用亚微米光栅制作光导板的方法,用严格耦合波理论计算分析了亚微米光栅从光密介质到光疏介质的1级透射衍射效率与光栅槽深的关系,讨论在满足基底全反射条件的入射角下,对应于红、绿、蓝(红光700mn,绿光555nm,蓝光465nm)三色光... 提出了利用亚微米光栅制作光导板的方法,用严格耦合波理论计算分析了亚微米光栅从光密介质到光疏介质的1级透射衍射效率与光栅槽深的关系,讨论在满足基底全反射条件的入射角下,对应于红、绿、蓝(红光700mn,绿光555nm,蓝光465nm)三色光的亚微米光栅(0.651μm、0.516μm0、.433μm)在导波条件下的光场衍射特性,并用实验证明在导波条件下1级衍射效率与光栅槽深关系的可靠性,给出亚微米光栅型光导板的初始结构,进行误差分析。 展开更多
关键词 亚微米光栅 光导板 衍射效率
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新型纳米拓扑结构的生物相容性
8
作者 刘继春 许鹏 +2 位作者 余将明 浦东林 叶晓健 《中国组织工程研究与临床康复》 CAS CSCD 2012年第3期467-470,共4页
背景:国内外对纳米拓扑结构生物效应的探讨比较多,而缺乏对纳米拓扑结构的安全性评估。目的:评价新型纳米拓扑结构的生物相容性。方法:依据GB/T_16886中相关规定,采用纳米拓扑结构材料对昆明小鼠、新西兰大白兔、人行全身毒性试验、刺... 背景:国内外对纳米拓扑结构生物效应的探讨比较多,而缺乏对纳米拓扑结构的安全性评估。目的:评价新型纳米拓扑结构的生物相容性。方法:依据GB/T_16886中相关规定,采用纳米拓扑结构材料对昆明小鼠、新西兰大白兔、人行全身毒性试验、刺激与致敏试验及急性溶血试验。分离培养兔骨髓间充质干细胞复合培养于纳米拓扑结构,观察细胞的形态及增殖情况。结果与结论:全身毒性试验结果显示,所有试验动物均无死亡,试验前后体质量无明显差异;刺激与致敏试验中,所有试验动物局部皮肤均无红斑、溃烂等反应,阳性对照组与试验组之间差异有显著性意义;急性溶血试验结果显示,试验组无明显溶血反应,吸光光度计检测吸光度,溶血率符合小于5%的标准。体外细胞试验结果显示,骨髓间充质干细胞在此纳米坑上表现出良好的黏附、细胞形态,并且复合培养3d较1d细胞增殖明显。提示此纳米坑结构无生物学毒性,具有良好的生物相容性,可以作为骨科替代植入物试用于临床,但长期生物相容性仍需要全面的评测。 展开更多
关键词 纳米拓扑结构 纳米生物材料 生物相容性 急性毒性试验 刺激与致敏试验 急性溶血试验 体外细胞试验
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一种三维全息图的数字化实现方法 被引量:7
9
作者 万远红 张瑾 +1 位作者 浦东林 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第7期1268-1271,共4页
提出一种实现三维显示的新方法,从两步法彩虹全息基本原理出发,通过分区域分幅的方式对多视角图形的波前进行数字化编码,获得夫琅和费光场分布,在位相型硅基液晶空间光调制器上按视角顺序输入该信息,利用透镜的傅里叶变换特性再现多视... 提出一种实现三维显示的新方法,从两步法彩虹全息基本原理出发,通过分区域分幅的方式对多视角图形的波前进行数字化编码,获得夫琅和费光场分布,在位相型硅基液晶空间光调制器上按视角顺序输入该信息,利用透镜的傅里叶变换特性再现多视角子图像,干涉法逐区域拼接获得完整三维图像.最后通过实验获得了三维图像样品,验证了该方法.本方法可成为三维显示的重要技术手段. 展开更多
关键词 三维全息 位相提取 数字化 硅基液晶
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微纳柔性制造与印刷电子材料 被引量:6
10
作者 刘艳花 申溯 +4 位作者 周小红 方宗豹 浦东林 朱鹏飞 《中国材料进展》 CAS CSCD 2014年第3期129-134,179,共7页
微纳加工技术主要应用在光电子和IC领域,随着国际新一轮印刷电子技术的发展,电路线宽越来越细,对印刷电子材料与应用技术提出更高要求,传统印刷术很难实现数微米以下精密电路。针对国际行业研究现状、工艺及最新进展,详细阐述微纳柔性... 微纳加工技术主要应用在光电子和IC领域,随着国际新一轮印刷电子技术的发展,电路线宽越来越细,对印刷电子材料与应用技术提出更高要求,传统印刷术很难实现数微米以下精密电路。针对国际行业研究现状、工艺及最新进展,详细阐述微纳柔性制造技术的原理与特点。基于微纳图形化激光直写光刻技术、卷对卷纳米压印技术及其配套(微纳填充、转印和软压印)技术,以大尺寸透明导电材料的研发为例,微纳柔性制造在106.68 cm幅面上使印刷电路的线宽达到1.5μm。微纳柔性制造方法属于"加法"制造。展望了柔性制造在印刷电子材料产业发展中的前景和需求,指出微纳柔性制造与印刷材料的结合,有可能成为新一轮大尺寸柔性显示与触控、传感器件等产业发展的有力工具和推动性力量。 展开更多
关键词 微纳柔性制造 印刷电子 金属网格透明导电膜
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数字微镜器件制造精度误差对紫外光调制特性的影响 被引量:1
11
作者 袁晓峰 浦东林 +1 位作者 申溯 《应用光学》 CAS CSCD 北大核心 2012年第4期788-792,共5页
数字微镜器件(DMD)的能量利用率对于提高无掩膜激光直写系统的效率十分重要。对DMD在相干光照明下的相位调制特性进行数值和实验分析,发现同种型号DMD在出射0级光垂直于微镜表面角度入射情况下的衍射图样,其光能量分布各不相同,有0级光... 数字微镜器件(DMD)的能量利用率对于提高无掩膜激光直写系统的效率十分重要。对DMD在相干光照明下的相位调制特性进行数值和实验分析,发现同种型号DMD在出射0级光垂直于微镜表面角度入射情况下的衍射图样,其光能量分布各不相同,有0级光强占总光强27.2%的情况,也有零0级光强占总光强13.1%的情况,理论计算表明,DMD的微镜偏转角存在±1°的误差可以使DMD衍射0级的衍射效率在极大和极小之间变化。这一结论对于选择高能量利用效率的DMD有重要参考价值。 展开更多
关键词 光学器件 数字微镜器件(DMD) 无掩膜光刻系统 相位调制 闪耀光栅
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一种数字化的全息透镜制作方法 被引量:1
12
作者 李现胜 浦东林 +2 位作者 魏国军 申溯 《激光与红外》 CAS CSCD 北大核心 2010年第6期656-659,共4页
提出了一种采用并行激光直写技术的数字化全息透镜制作方法,先对离轴全息透镜进行理论模拟,得到条纹分布的数字图像,根据激光直写系统的光学参数,对生成的全息透镜模拟图像进行缩放处理,然后分块拼接曝光,实验得到了尺寸为3.1 mm×3... 提出了一种采用并行激光直写技术的数字化全息透镜制作方法,先对离轴全息透镜进行理论模拟,得到条纹分布的数字图像,根据激光直写系统的光学参数,对生成的全息透镜模拟图像进行缩放处理,然后分块拼接曝光,实验得到了尺寸为3.1 mm×3.1 mm的正方形离轴全息透镜,最小条纹周期为1.1μm,在532 nm激光照射下,透镜焦距为6.2 mm,最大空频处一级衍射光的衍射角为5.9°。本方法为制作全息透镜提供了一种有效地新方法。 展开更多
关键词 全息透镜 数字化 并行激光直写
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激光直写法制备仿刚毛微纳阵列的研究
13
作者 耿路峰 于敏 +2 位作者 浦东林 戴振东 《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第20期2469-2475,共7页
提出一种采用激光直写技术制备微纳阵列的新方法来制备仿壁虎刚毛二级结构微阵列。该制备过程由计算机控制完成。实验制备出具有不同几何尺寸的一级结构阵列,并在此基础上探索制备二级结构微阵列的三种方案,其中,"自上而下"... 提出一种采用激光直写技术制备微纳阵列的新方法来制备仿壁虎刚毛二级结构微阵列。该制备过程由计算机控制完成。实验制备出具有不同几何尺寸的一级结构阵列,并在此基础上探索制备二级结构微阵列的三种方案,其中,"自上而下"的方案通过对曝光时间和显影时间的控制使第二级结构扎根于第一级结构中,有效提高了两级结构间的连接强度。制备实验的同时,分析了曝光时间、显影时间等参数对阵列制备的影响。激光直写制备微纳阵列的方法具有高效率、低成本的优点。 展开更多
关键词 壁虎刚毛 微制造 二级结构 激光直写
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利用亚微米光栅制作导光棒方法研究
14
作者 汪玲玲 叶燕 +1 位作者 浦东林 《激光与红外》 CAS CSCD 北大核心 2006年第8期687-690,共4页
研究了周期为0.4—0.7μm结构的光栅的光导特性,用严格耦合波理论分析计算衍射效率与光栅槽深的关系,提出利用衍射效率与槽深的线性段进行导光棒设计,导光棒表面导光单元由三套出射光主波长分别是红光700nm,绿光546.1nm,蓝光435... 研究了周期为0.4—0.7μm结构的光栅的光导特性,用严格耦合波理论分析计算衍射效率与光栅槽深的关系,提出利用衍射效率与槽深的线性段进行导光棒设计,导光棒表面导光单元由三套出射光主波长分别是红光700nm,绿光546.1nm,蓝光435.8nm的亚微米光栅组成,用红、绿、蓝三色LED作为光源,通过光栅空频控制出射光方向、槽深调节衍射效率,达到导光棒出射光源的均匀性。 展开更多
关键词 亚微米光栅 导光棒 空频 槽深
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基于紫外纳米压印的菲涅耳透镜制作
15
作者 邹建兵 浦东林 +1 位作者 申溯 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第6期1085-1088,共4页
针对传统聚光系统中菲涅耳透镜成本较高并且光强分布不均匀的弊端,提出了利用紫外纳米压印技术制作菲涅耳透镜的方法.利用几何光学的光线追迹理论,设计了菲涅耳透镜模具.采用自行研制的紫外纳米压印系统对模具进行压印,紫外曝光后制得... 针对传统聚光系统中菲涅耳透镜成本较高并且光强分布不均匀的弊端,提出了利用紫外纳米压印技术制作菲涅耳透镜的方法.利用几何光学的光线追迹理论,设计了菲涅耳透镜模具.采用自行研制的紫外纳米压印系统对模具进行压印,紫外曝光后制得薄膜菲涅耳透镜.在太阳光下进行了测试,测试结果表明,低成本、高聚光倍数和光强分布均匀的菲涅耳透镜是可以实现的. 展开更多
关键词 菲涅耳透镜 紫外纳米压印 聚光型太阳能系统
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一种透明全息投影显示屏的研制
16
作者 周雷 吴智华 +3 位作者 浦东林 申溯 周小红 《苏州大学学报(工科版)》 CAS 2007年第4期11-14,共4页
研制了一种透明平面全息显示屏。显示屏由全息像素组成,每一个像素都基于散斑的像面全息结构,其中基元光栅起到调制入射光并定向衍射成像的作用。分析了显示屏的视场特性,对不同的参物比对显示屏衍射效率的影响进行了测量和分析。全息... 研制了一种透明平面全息显示屏。显示屏由全息像素组成,每一个像素都基于散斑的像面全息结构,其中基元光栅起到调制入射光并定向衍射成像的作用。分析了显示屏的视场特性,对不同的参物比对显示屏衍射效率的影响进行了测量和分析。全息显示屏具有高亮度和消色散的优点,浮雕型结构便于进行大幅面的快速微纳米压印复制,使得所提出的显示屏具有低成本的工艺优势。 展开更多
关键词 全息显示屏 散斑场 像面全息 衍射效率
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激光直写系统中DMD控制方法的设计与改进 被引量:3
17
作者 胡丹峰 +3 位作者 朱鹏飞 浦东林 徐杰 王加俊 《半导体光电》 CAS 北大核心 2021年第5期741-746,759,共7页
为解决在激光直写系统中利用数字微镜器件(DMD)无法对纵向像素数大于768的灰度图像进行滚动显示的问题,文章在其控制电路的数据传输、存储及显示驱动技术方面开展了研究。利用FPGA中丰富的逻辑资源实现了图像数据传输方式的改进,通过移... 为解决在激光直写系统中利用数字微镜器件(DMD)无法对纵向像素数大于768的灰度图像进行滚动显示的问题,文章在其控制电路的数据传输、存储及显示驱动技术方面开展了研究。利用FPGA中丰富的逻辑资源实现了图像数据传输方式的改进,通过移位寄存器对数据进行拆分和位宽转换。提出间隔存储方法实现大尺寸灰度图像数据的存储,基于此方法可实现灰度图像滚动显示时的数据读取。同时,省去在上位机中进行位平面拆分和图像分割的预处理步骤,简化了上位机操作流程并提高了系统数据传输效率。实验结果表明,该系统能够以419.6Hz的刷新率对大尺寸灰度图像进行滚动显示。 展开更多
关键词 数字微镜器件 现场可编程门阵列 数据存储 激光直写
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Large aperture phase-coded diffractive lens for achromatic and 16°field-of-view imaging with high efficiency
18
作者 马顾 郑鹏磊 +4 位作者 胡正文 马锁冬 许峰 浦东林 王钦华 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2022年第7期349-360,共12页
Diffractive lenses(DLs)can realize high-resolution imaging with light weight and compact size.Conventional DLs suffer large chromatic and off-axis aberrations,which significantly limits their practical applications.Al... Diffractive lenses(DLs)can realize high-resolution imaging with light weight and compact size.Conventional DLs suffer large chromatic and off-axis aberrations,which significantly limits their practical applications.Although many achromatic methods have been proposed,most of them are used for designing small aperture DLs,which have low diffraction efficiencies.In the designing of diffractive achromatic lenses,increasing the aperture and improving the diffraction efficiency have become two of the most important design issues.Here,a novel phase-coded diffractive lens(PCDL)for achromatic imaging with a large aperture and high efficiency is proposed and demonstrated experimentally,and it also possesses wide field-of-view(FOV)imaging at the same time.The phase distribution of the conventional phase-type diffractive lens(DL)is coded with a cubic function to expand both the working bandwidth and the FOV of conventional DL.The proposed phase-type DL is fabricated by using the laser direct writing of grey-scale patterns for a PCDL of a diameter of 10 mm,a focal length of 100 mm,and a cubic phase coding parameter of 30π.Experimental results show that the working bandwidth and the FOV of the PCDL respectively reach 50 nm and 16°with over 8%focusing efficiency,which are in significant contrast to the counterparts of conventional DL and in good agreement with the theoretical predictions.This work provides a novel way for implementing the achromatic,wide FOV,and high-efficiency imaging with large aperture DL. 展开更多
关键词 achromatic imaging diffractive lens phase coding large aperture high efficiency
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亚波长光栅结构彩色滤光片研究 被引量:14
19
作者 周云 叶燕 +3 位作者 申溯 方宗豹 浦东林 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第1期223-227,共5页
研究了一维亚波长光栅结构彩色滤光片在可见光波段的透射光谱特性。该彩色滤光片由柔性透明基底、介质光栅和金属光栅构成。利用严格耦合波分析法(RCWA)模拟了占空比、介质光栅的厚度、金属光栅的厚度和周期等结构参数对彩色滤光片的透... 研究了一维亚波长光栅结构彩色滤光片在可见光波段的透射光谱特性。该彩色滤光片由柔性透明基底、介质光栅和金属光栅构成。利用严格耦合波分析法(RCWA)模拟了占空比、介质光栅的厚度、金属光栅的厚度和周期等结构参数对彩色滤光片的透射光谱特性的影响,并在此基础上优化结构参数,设计出一种宽带宽、高透射效率且易于加工的彩色滤光片。该彩色滤光片带宽为85~100 nm,色纯度好;具有高达95%的偏振(TM)光透射效率;只需改变光栅的周期,就可获得针对R,G,B三色的透射光谱,降低了加工彩色滤光片的难度。与其他应用于彩色滤光片的光栅结构相比,所设计的彩色滤光片的中心光谱透射效率提高了12%,且减少了三色输出光谱之间的重叠区域,从而提高了彩色滤光片的色度性能,适合作为液晶平板显示中的滤光器件。 展开更多
关键词 光学器件 亚波长光学 滤光片 严格耦合波分析法 光栅
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一种基于空间光调制器的微透镜阵列制备技术 被引量:11
20
作者 申溯 浦东林 +1 位作者 胡进 《中国激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第3期244-248,共5页
提出了一种基于空间光调制器的并行光刻制备微透镜阵列的技术。采用数字微反射镜器件输入光刻图形,结合热回流技术,制作任意结构和排布的微透镜阵列。无限远校正显微微缩光学系统的长焦深保证了深纹光刻的实现,热回流法提供了良好的表... 提出了一种基于空间光调制器的并行光刻制备微透镜阵列的技术。采用数字微反射镜器件输入光刻图形,结合热回流技术,制作任意结构和排布的微透镜阵列。无限远校正显微微缩光学系统的长焦深保证了深纹光刻的实现,热回流法提供了良好的表面光滑度。与传统逐层并行光刻和掩模曝光技术相比,提出的技术方案更加便捷灵活,特别适合制作特征尺寸在数微米至百微米的微透镜阵列器件。得到的微透镜阵列模版经过电铸转移为金属模具,利用紫外卷对卷纳米压印技术在柔性基底上制备微透镜阵列器件,在超薄液晶显示、有机发光二极管(OLED)照明等领域有广泛应用。 展开更多
关键词 光学制造 微透镜阵列 光刻 空间光调制器
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