2-重氮-1-萘醌-5-磺酸-聚乙二醇酯的合成及性能研究

本文通过各种分子量范围的聚乙二醇与2-重氮-1-萘醌-5-磺酰氯(简称“215”-磺酰氯)按下式进行反应。式中,n为3～13的整数,作者对合成条件进行了探索。对所得的光敏剂作了波谱分析,并以这些光敏剂分别与线型酚醛树脂(软化点T_S=125～134℃)及溶剂等配制成紫外正性光刻胶,对光刻胶的感光性能进行了研究。结果表明聚乙二醇-300,在30℃下与215～磺酰氯反应3小时,介质的pH=7～8,所得光敏剂用于正性光刻胶,胶的性能优良,感光速度快,分辨力为Iμm。未曝光区域的留膜率可达96～98％。 文献中指出:单用215-磺酰氯作为光敏剂配制的光刻胶成像性差,分辨力不高,若改变磺酸酯基或磺酰胺氨基(即中心基团)的分子结构例如:酚类,胺类或醇类等化合物^([1～5]),则对光刻胶的性能有很大改善。本屋联这一论点提供了实验依据。

JS-4正性光刻胶两重性的研究

在ＪＳ－４紫外正性光刻胶（光敏剂为２－叠氮－１萘醌－５－磺酸－双酚Ａ酯）中加入添加剂后，经过涂布，前烘，掩膜触曝光，加热，全面曝光，碱液显影及刻蚀等使用步骤，可得与掩膜上图案相反的图像即负像；若无加热及全面曝光步骤，则得正像。添加剂的类型对光刻胶的两重性具有重要作用。本文通过实验筛选出碳酸胍，硝酸胍，苯胺以及苯并咪唑等添加剂，可使ＪＳ－４正性光刻胶具有两重性，即可得正图像，也可得负图像。除苯胺外，

重氮片光敏性与热稳定性的研究

本文研究了九种不同结构重氮盐组成的重氮片的光敏性、热稳定性以及两者之间的相互关系,研究了各种添加剂对重氮片光敏性和热稳定性的影响。试验以堂氮片光解和热解时吸收值降低的百分率(A%)来测试重氮片的光敏性和热稳定性。测试结果表明:组成重氮片的重氮盐结构不同与其光敏性与热稳定性有直接关系,而添加剂加入重氮片不会影响其光敏性,但对由同一结构重氮盐所组成的重氮片的光敏性有一定的影响。重氮盐芳环中在重氮基间位上引入烷氧基后,可以提高由该盐所组成的重氮片的光敏性,如在邻位上引入烷氧基后,可以提高相应重氮片的热稳定性。重氮片热稳定性的好坏与构成该重氮片的重氮盐的热分解温度的高低有着密切的关系。

抗蚀剂近年发展动态

前言自从聚乙烯醇肉桂酸酯、环化橡胶、邻叠氮醌类等光刻胶的相继问世,伴随着紫外光刻技术的发展,抗蚀剂的研制工作正日新月异。进入八十年代,超大规模集成电路、磁泡等器件要求分辨率达亚微米级,由此出现了 X-射线抗蚀剂、电子束抗蚀剂以及深紫外抗蚀剂。本文就它们的现状作些综述。