基于光散射理论的玻璃晶圆表面缺陷检测方法研究

本文对玻璃晶圆加工过程中常见的三种缺陷类型——颗粒缺陷、气泡缺陷、三角形划痕的散射光强进行分析,发现不同缺陷结构在空间中有不同的散射光强分布特点,可以建立缺陷结构与散射光强空间分布的对应关系;同时针对产线中晶圆表面微米量级缺陷,进行了不同尺寸颗粒缺陷的散射光强度计算,得出了微米级别缺陷尺寸与散射光强度之间的关系曲线。从而提出一种非成像缺陷检测方法:检测获取缺陷散射光强值与空间分布,利用散射光空间分布结构确定缺陷结构以及利用散射光强计算缺陷尺寸,从而间接确定缺陷信息,达到缺陷检测的目的。为晶圆产业应用过程中的缺陷快速检测提供方法参考。