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磁控溅射制备横向梯度分布的Mo/Si周期多层膜 被引量:7
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作者 涂昱淳 宋竹青 +6 位作者 黄秋实 朱京涛 徐敬 王占山 李乙洲 刘佳琪 张力 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第9期2419-2422,共4页
采用磁控溅射方法在Si基板上镀制了横向梯度分布的Mo/Si周期多层膜。以X射线掠入射反射测量了横向梯度多层膜的膜系结构,在基板65mm长度范围内,多层膜周期从8.21nm线性减小到6.57nm,周期梯度为0.03nm/mm。国家同步辐射实验室反射率计的... 采用磁控溅射方法在Si基板上镀制了横向梯度分布的Mo/Si周期多层膜。以X射线掠入射反射测量了横向梯度多层膜的膜系结构,在基板65mm长度范围内,多层膜周期从8.21nm线性减小到6.57nm,周期梯度为0.03nm/mm。国家同步辐射实验室反射率计的反射率测试结果表明:该横向梯度分布周期多层膜上不同位置,能反射在13.3~15.9nm波段范围内不同波长的极紫外光,反射率为60%~65%。 展开更多
关键词 MO/SI多层膜 磁控溅射 梯度多层膜 反射率 同步辐射
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氮气反应溅射制备软X射线Co/Ti多层膜 被引量:9
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作者 朱京涛 岳帅鹏 +1 位作者 涂昱淳 张一志 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第1期10-14,共5页
针对“水窗”波段(280~540 eV)对多层膜反射镜的应用需求,在Ti的L吸收边(452.5 eV)附近,优化设计了Co/Ti多层膜的膜系结构.计算了不同界面粗糙度条件下的反射率,结果显示,界面粗糙度对多层膜反射率有较大影响.采用直流磁控溅射方... 针对“水窗”波段(280~540 eV)对多层膜反射镜的应用需求,在Ti的L吸收边(452.5 eV)附近,优化设计了Co/Ti多层膜的膜系结构.计算了不同界面粗糙度条件下的反射率,结果显示,界面粗糙度对多层膜反射率有较大影响.采用直流磁控溅射方法在超光滑硅基片上制备了Co/Ti多层膜,通过将氮气引入原有的溅射气体氩气中作为反应气体,明显减小了制备的多层膜的界面粗糙度.利用X射线掠入射反射实验和透射电子显微镜测试了多层膜结构,并在北京同步辐射装置(BSRF)3W1B实验站测量了不同氮气浓度下多层膜的反射率.结果显示,氮气含量为5%的溅射气体制备的多层膜样品反射率最高,即将纯氩气溅射制备得到的反射率9.5%提高到了12.0%.得到的结果表明,将氮气加入反应溅射气体可以有效改善Co/Ti多层膜的性能. 展开更多
关键词 Co/Ti多层膜 磁控溅射 反应溅射 同步辐射 反射率
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静-动加载相结合的材料状态方程实验平台的研制
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作者 舒桦 涂昱淳 +13 位作者 王寯越 贾果 叶君建 邓文 束海云 杨艳平 杜雪艳 谢志勇 贺芝宇 方智恒 华能 黄秀光 裴文兵 傅思祖 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2018年第6期102-107,共6页
根据神光-Ⅱ第九路高功率激光加载的特点,对传统静高压金刚石压砧装置进行了改进和优化设计,研制出了适合高功率激光加载条件下材料宽域状态方程研究的新型静高压靶.在神光-Ⅱ高功率激光装置上建立了基于静高压金刚石压砧和动高压激光... 根据神光-Ⅱ第九路高功率激光加载的特点,对传统静高压金刚石压砧装置进行了改进和优化设计,研制出了适合高功率激光加载条件下材料宽域状态方程研究的新型静高压靶.在神光-Ⅱ高功率激光装置上建立了基于静高压金刚石压砧和动高压激光相结合的材料宽域状态方程研究平台.利用这一平台开展了超纯水的宽域状态方程实验探索,获得了较好的实验结果. 展开更多
关键词 静高压 状态方程 速度干涉仪
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磁控溅射制备极紫外高反射率多层膜应力研究 被引量:4
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作者 何世峰 涂昱淳 +3 位作者 冯志祥 岳帅鹏 王风丽 朱京涛 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第5期228-231,共4页
为制备硼边附近6.7 nm波长的极紫外高反射率多层膜反射镜,研究了Mo_2C/B_4C,Mo/B_4C周期多层膜,重点解决薄膜应力难题。采用直流磁控溅射技术制备了膜层厚度为30 nm的Mo,Mo_2C,B_4C,单层膜,周期厚度为3.5 nm,30对的Mo_2C/B_4C,Mo/B_4C... 为制备硼边附近6.7 nm波长的极紫外高反射率多层膜反射镜,研究了Mo_2C/B_4C,Mo/B_4C周期多层膜,重点解决薄膜应力难题。采用直流磁控溅射技术制备了膜层厚度为30 nm的Mo,Mo_2C,B_4C,单层膜,周期厚度为3.5 nm,30对的Mo_2C/B_4C,Mo/B_4C周期多层膜。利用台阶仪测试了镀膜前后基底面形,计算并比较了不同薄膜样品的应力值。结果表明Mo_2C/B_4C多层膜压应力要远小于Mo/B_4C多层膜,且成膜质量与Mo/B_4C相当。因此Mo_2C/B_4C是应用于6.7 nm反射镜较好的多层膜材料组合。 展开更多
关键词 应力 多层膜 磁控溅射 极紫外
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反应磁控溅射周期结构TiN/ZrO_(x) N_(y) 多层膜的微结构与膜基结合力 被引量:2
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作者 张冰烨 袁妍妍 +3 位作者 涂昱淳 孙健 兰睿 晏超 《江苏科技大学学报(自然科学版)》 CAS 北大核心 2021年第1期30-35,共6页
采用Ti靶和ZrO_( 2)靶在Ar、N_( 2)混合气氛中进行反应磁控溅射的方法,在不同预处理的基底上沉积制备了一系列的TiN/ZrON周期结构多层膜.利用X射线衍射(XRD)、原子力显微镜(AFM)和纳米力学综合测试系统对薄膜的微结构、表面粗糙度和膜... 采用Ti靶和ZrO_( 2)靶在Ar、N_( 2)混合气氛中进行反应磁控溅射的方法,在不同预处理的基底上沉积制备了一系列的TiN/ZrON周期结构多层膜.利用X射线衍射(XRD)、原子力显微镜(AFM)和纳米力学综合测试系统对薄膜的微结构、表面粗糙度和膜基结合力进行研究.结果表明,多层膜的结晶性整体较差,室温下沉积的薄膜多以非晶态形式存在.200℃生长温度下,结晶性略有提高.制备的多层膜均生长致密,颗粒分布较为均匀.在经过腐蚀处理和预镀一定厚度金属Ti层的不锈钢基底上生长的薄膜进行结合力测试.结果表明,增加预镀金属层的厚度和腐蚀处理方法可以提高薄膜的结合力. 展开更多
关键词 TiN/ZrO_(x)N_(y)纳米多层膜 反应磁控溅射 表面粗糙度 膜基结合力
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氮气反应溅射制备Co/Sb多层膜研究 被引量:2
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作者 岳帅鹏 朱京涛 +1 位作者 涂昱淳 张一志 《光学仪器》 2014年第4期359-363,共5页
针对"水窗"波段(280~540eV)对多层膜反射镜的应用需求,在Sb的M5吸收边(525.5eV)附近,选择Co和Sb作为该能点的多层膜材料组合,优化设计膜系结构。采用直流磁控溅射方法制备了Co/Sb多层膜,通过在溅射气体氩气中引入氮气作为反... 针对"水窗"波段(280~540eV)对多层膜反射镜的应用需求,在Sb的M5吸收边(525.5eV)附近,选择Co和Sb作为该能点的多层膜材料组合,优化设计膜系结构。采用直流磁控溅射方法制备了Co/Sb多层膜,通过在溅射气体氩气中引入氮气作为反应气体,多层膜界面粗糙度明显减小。利用X射线掠入射反射(GIXRR)测试多层膜结构,并在北京BSRF同步辐射3W1B实验站测量了反应溅射前后的多层膜反射率(SXR),结果表明:氮气含量为25%时的界面粗糙度最小,反射率从无反应溅射的7.2%提高到11.7%。 展开更多
关键词 反应溅射 多层膜 同步辐射 CO SB
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Shock temperature and reflectivity of precompressed H2O up to 350 GPa:Approaching the interior of planets
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作者 贺芝宇 舒桦 +10 位作者 黄秀光 张其黎 贾果 张帆 涂昱淳 王寯越 叶君建 谢志勇 方智恒 裴文兵 傅思祖 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2018年第12期405-412,共8页
Using a combination of static precompression and laser-driven shock compression, shock temperature and reflectivity of H2O have been measured up to 350 GPa and 2.1×10~4 K. Here, two calibration standards were app... Using a combination of static precompression and laser-driven shock compression, shock temperature and reflectivity of H2O have been measured up to 350 GPa and 2.1×10~4 K. Here, two calibration standards were applied to enhance temperature measurement reliability. Additionally, in temperature calculations, the discrepancy in reflectivity between active probe beam wavelength and self-emission wavelength has been taken into account to improve the data’s precision.Precompressed water’s temperature–pressure data are in very good agreement with our quantum molecular dynamics model,suggesting a superionic conductor of H2O in the icy planets’ deep interior. A sluggish slope gradually approaching Dulong–Petit limit at high temperature was found at a specific heat capacity. Also, high reflectivity and conductivity were observed at the same state. By analyzing the temperature–pressure diagram, reflectivity, conductivity and specific heat comprehensively at conditions simulating the interior of planets in this work, we found that as the pressure rises, a change in ionization appears; it is supposedly attributed to energetics of bond-breaking in the H2O as it transforms from a bonded molecular fluid to an ionic state. Such molecular dissociation in H2O is associated with the conducting transition because the dissociated hydrogen atoms contribute to electrical properties. 展开更多
关键词 high temperature measurement equation of state of water laser-driven shock diamond anvil cell
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X-ray nanometer focusing at the SSRF based on a multilayer Laue lens 被引量:3
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作者 朱京涛 涂昱淳 +4 位作者 李浩川 岳帅鹏 黄秋实 李爱国 王占山 《Chinese Physics C》 SCIE CAS CSCD 2015年第12期100-102,共3页
We designed and fabricated a multilayer Laue lens (MLL) as a hard X-ray focusing device. WSi2/Si multilayers were chosen owing to their excellent optical properties and relatively sharp interface. The multilayer sam... We designed and fabricated a multilayer Laue lens (MLL) as a hard X-ray focusing device. WSi2/Si multilayers were chosen owing to their excellent optical properties and relatively sharp interface. The multilayer sample was fabricated by using direct current (DC) magnetron sputtering technology and then was sliced and thinned to form an MLL. The thickness of each layer was determined by scanning electron microscopy (SEM) image analysis with marking layers. The focusing property of the MLL was measured at Beamline 15U, Shanghai Synchrotron Facility (SSRF). One-dimensional (1D) focusing resolutions of 92 nm are obtained at photon energy of 14 keV. 展开更多
关键词 hard X-ray nano-focusing multilayer Laue lens (MLL) synchrotron radiation
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