程控式真空规校准装置

程控式真空规校准装置主要用于日常对工作用真空规的校准。它采用动态直接比对法、静态膨胀法和静态直接比对法等三种方法可以对１×１０５～５×１０－４Ｐａ范围内的真空规进行校准。采用可编程控制器对校准全过程实行自动控制，并具有保护、报警、语音提示等功能，提高了工作效率和安全可靠性，避免了由于误操作或真空系统故障造成的经济损失。

定容式气体微流量标准装置

介绍了定容式气体微流量标准装置及其性能 ,讨论了温度变化、气体吸附和系统漏放气等干扰效应 ,分析了标准装置的不确定度。该标准的校准范围为 1× 1 0 - 3～ 1 0Pa·m3/s,不确定度 (1σ)小于 1 2 % ,用于校准热容式质量流量计。

动态流量法超高真空标准装置的性能测试

动态流量法超高真空标准装置是用于校准真空规的绝对真空计量标准。它由校准系统、恒压式气体微流量计和抽气系统组成。极限压力６．５×１０－９Ｐａ，校准范围１０－２～１０－７Ｐａ，不确定度３％（１０－２～１０－６Ｐａ）和１０％（１０－７Ｐａ）。

定容式气体微流量标准装置的不确定度分析

定容式气体微流量标准装置采用定容法工作原理 ,用于校准热容式质量流量计 ,测量范围为1×10 -3～10Pa·m3·s -1 ,不确定度(1σ)小于1.20 %。

动态流量法超高真空标准装置

研制成功的动态流量法超高真空标准装置是一台用来校准真空规的绝对真空计量标准。装置由校准系统、微流量计系统、抽气系统和计算机控制系统组成。校准系统采用四球结构 ,校准球室直径为50 0mm。极限真空度为 6 5× 10 - 9Pa ,校准范围为 10 - 2 ～ 10 - 7Pa ,不确定度为 3% (10 - 2 ～ 10 - 6 Pa)和10 % (10 - 7Pa)。

石英管内表面镀膜方法的研究

给出了在石英玻璃管内表面上镀膜的一种方法，并对镀膜工艺参数和影响膜质量的一些因素进行了讨论。

提高不锈钢超高真空系统极限真空的一种方法

为提高超高真空系统的极限真空，在加热烘烤期间用干燥气体冲洗法进行了各种试验。结果表明：冲洗的比不冲洗的极限真空要好；间断冲洗的比连续冲洗的极限真空要好。这对如何提高真空系统的极限真空提供了一定实验依据。