催化氮化制备氮化硅研究进展

氮化硅具有高强度、耐高温、耐腐蚀耐磨损、抗热震、抗氧化等优良性能,被广泛应用于耐火材料、冶金及航天等领域。催化氮化法是在硅粉氮化过程中引入催化剂,不仅能够实现硅粉的低温快速氮化,而且能够改变产物的形貌,促进氮化硅晶须的生成,进而改善制品的显微结构,提高其力学性能。为此,综述了金属单质和金属氧化物作为催化剂催化氮化制备氮化硅的研究进展,并展望了催化氮化制备氮化硅工艺今后的发展方向。