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题名钼丝表面绝缘层的电泳制备工艺研究
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作者
游孟园
赵彦弘
徐晓强
杨志民
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机构
中国有研科技集团有限公司智能传感功能材料国家重点实验室
有研工程技术研究院有限公司先进电子材料事业部
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出处
《稀有金属》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2024年第8期1208-1214,共7页
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基金
国家自然科学基金项目(51477012)资助。
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文摘
加热钼丝是内加热型吸气剂的关键材料,但目前电泳制备绝缘层存在烧结温度高、涂层质量差等问题,影响了内加热型吸气剂激活电流的一致性。采用无水乙醇及氧化铝粉体作为悬浮液的主要成分,添加氧化镁改善电泳涂层质量,掺杂烧结助剂二氧化硅降低涂层的烧结温度。通过研究氧化镁的添加量对涂层的影响发现,掺杂氧化镁可以有效地促进氧化铝粉体的电泳沉积,且随氧化镁添加量增加,氧化铝的沉积速率逐渐增加,但过快的沉积速率易导致电泳涂层表面的均匀性变差,甚至开裂。研究二氧化硅的掺杂量对涂层质量的影响,结果发现,过高的掺杂量易导致烧结后涂层的收缩率变大,易产生开裂现象。同时,电泳绝缘层质量受烧结温度影响较大,随烧结温度升高,绝缘层孔隙率逐渐降低,但过高的烧结温度增加了涂层与加热钼丝之间的热应力,导致涂层质量下降。在悬浮液固相成分为Al_(2)O_(3)-1%MgO-4%SiO_(2)(质量分数),烧结温度为1400℃条件下,制备的涂层表面平整,厚度均匀,为最佳工艺参数。优化了现有电泳浆料各原料的比例,降低了烧结温度,并获得了具有高质量绝缘层的加热钼丝,为加热钼丝的发展提供了工艺指导。
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关键词
加热钼丝
电泳
绝缘层
AL2O3
烧结温度
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Keywords
Mo heating wire
electrophoresis
insulating layer
Al2O3
sintering temperature
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分类号
TN104.2
[电子电信—物理电子学]
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