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带动态反应池的电感耦合等离子体质谱仪分析半导体级四甲基氢氧化铵
被引量：
7
1
作者
陈建敏
游维松
《岩矿测试》
CAS
CSCD
北大核心
2009年第6期603-604,共2页
关键词
四甲基氢氧化铵
电感耦合等离子体质谱仪
半导体
反应池
TMAH
杂质含量
液晶显示器
有机溶剂
下载PDF
职称材料
动态反应池电感耦合等离子体质谱仪分析半导体级盐酸中杂质
被引量：
3
2
作者
陈建敏
游维松
《岩矿测试》
CAS
CSCD
北大核心
2010年第1期I0001-I0002,共2页
关键词
电感耦合等离子体质谱仪
半导体工业
杂质
盐酸
反应池
器件设计
关键工艺
下载PDF
职称材料
动态反应池电感耦合等离子体质谱法测定超纯水中的痕量元素
被引量：
1
3
作者
陈建敏
游维松
《岩矿测试》
CAS
CSCD
北大核心
2010年第3期I0001-I0002,共2页
关键词
痕量元素分析
电感耦合等离子体质谱法
超纯水
反应池
测定
检出限
仪器
下载PDF
职称材料
题名
带动态反应池的电感耦合等离子体质谱仪分析半导体级四甲基氢氧化铵
被引量：
7
1
作者
陈建敏
游维松
机构
珀金埃尔默仪器上海有限公司北京办事处
出处
《岩矿测试》
CAS
CSCD
北大核心
2009年第6期603-604,共2页
关键词
四甲基氢氧化铵
电感耦合等离子体质谱仪
半导体
反应池
TMAH
杂质含量
液晶显示器
有机溶剂
分类号
TN304.23 [电子电信—物理电子学]
TQ226.31 [化学工程—有机化工]
下载PDF
职称材料
题名
动态反应池电感耦合等离子体质谱仪分析半导体级盐酸中杂质
被引量：
3
2
作者
陈建敏
游维松
机构
珀金埃尔默仪器(上海)有限公司北京办事处
出处
《岩矿测试》
CAS
CSCD
北大核心
2010年第1期I0001-I0002,共2页
关键词
电感耦合等离子体质谱仪
半导体工业
杂质
盐酸
反应池
器件设计
关键工艺
分类号
TF843.1 [冶金工程—有色金属冶金]
F416.63 [经济管理—产业经济]
下载PDF
职称材料
题名
动态反应池电感耦合等离子体质谱法测定超纯水中的痕量元素
被引量：
1
3
作者
陈建敏
游维松
机构
珀金埃尔默仪器(上海)有限公司北京办事处
出处
《岩矿测试》
CAS
CSCD
北大核心
2010年第3期I0001-I0002,共2页
关键词
痕量元素分析
电感耦合等离子体质谱法
超纯水
反应池
测定
检出限
仪器
分类号
O657.34 [理学—分析化学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
带动态反应池的电感耦合等离子体质谱仪分析半导体级四甲基氢氧化铵
陈建敏
游维松
《岩矿测试》
CAS
CSCD
北大核心
2009
7
下载PDF
职称材料
2
动态反应池电感耦合等离子体质谱仪分析半导体级盐酸中杂质
陈建敏
游维松
《岩矿测试》
CAS
CSCD
北大核心
2010
3
下载PDF
职称材料
3
动态反应池电感耦合等离子体质谱法测定超纯水中的痕量元素
陈建敏
游维松
《岩矿测试》
CAS
CSCD
北大核心
2010
1
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职称材料
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