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长/长波双色二类超晶格红外探测器研究
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作者 刘铭 游聪娅 +6 位作者 李景峰 常发冉 温涛 李农 周朋 程雨 王国伟 《红外与毫米波学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2023年第5期574-579,共6页
报道了长/长波双色二类超晶格红外焦平面探测器组件的研制。通过能带结构设计和分子束外延技术,获得了表面质量良好的长/长波双色超晶格外延材料。突破了长波超晶格低暗电流钝化、低损伤干法刻蚀等关键技术,制备出像元中心距30μm的320&... 报道了长/长波双色二类超晶格红外焦平面探测器组件的研制。通过能带结构设计和分子束外延技术,获得了表面质量良好的长/长波双色超晶格外延材料。突破了长波超晶格低暗电流钝化、低损伤干法刻蚀等关键技术,制备出像元中心距30μm的320×256长/长波双色InAs/GaSb超晶格焦平面探测器芯片。将芯片与双色读出电路互连,采用杜瓦封装,与制冷机耦合形成探测器组件。组件双波段50%后截止波长分别为7.7μm(波段1)和10.0μm(波段2)。波段1平均峰值探测率达到8.21×10^(10)cm·W^(-1)·Hz^(1/2),NETD实现28.8 mK;波段2平均峰值探测率达到6.15×10^(10)cm·W^(-1)·Hz^(1/2),NETD为37.8 mK,获得了清晰的成像效果,实现长/长波双色探测。 展开更多
关键词 二类超晶格 长/长波 双色 焦平面阵列
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Ⅱ类超晶格红外探测器多层膜背增透研究
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作者 游聪娅 刘铭 +2 位作者 任秀娟 崔戈 周朋 《激光与红外》 CAS CSCD 北大核心 2023年第3期408-412,共5页
Ⅱ类超晶格材料相对较小的吸收系数限制了超晶格焦平面探测器的探测性能,通过在焦平面背面镀制增透膜,可有效提升器件的量子效率。研究采用仿真计算,设计了GaSb基InAs/GaSb超晶格探测器的多层背增透膜结构,并在GaSb衬底和超晶格焦平面... Ⅱ类超晶格材料相对较小的吸收系数限制了超晶格焦平面探测器的探测性能,通过在焦平面背面镀制增透膜,可有效提升器件的量子效率。研究采用仿真计算,设计了GaSb基InAs/GaSb超晶格探测器的多层背增透膜结构,并在GaSb衬底和超晶格焦平面探测器上进行了制备,实验结果验证了该薄膜具有提升探测器响应性能的作用。 展开更多
关键词 Ⅱ类超晶格 焦平面探测器 背增透
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InAs/GaSb Ⅱ类超晶格红外探测器背减薄技术研究
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作者 王晓乾 胡雨农 +3 位作者 游聪娅 李景峰 李海燕 刘铭 《红外》 CAS 2023年第10期15-20,共6页
针对InAs/GaSb Ⅱ类超晶格红外探测器开发高质量背减薄工艺,获得了高质量衬底表面,改善了超晶格红外探测器组件的成像品质。采用机械抛光和机械化学抛光相结合的工艺减薄衬底,其中机械抛光削减衬底大部分厚度,然后通过机械化学抛光去除... 针对InAs/GaSb Ⅱ类超晶格红外探测器开发高质量背减薄工艺,获得了高质量衬底表面,改善了超晶格红外探测器组件的成像品质。采用机械抛光和机械化学抛光相结合的工艺减薄衬底,其中机械抛光削减衬底大部分厚度,然后通过机械化学抛光去除机械损伤。机械化学抛光过程中,在压力、转速等不变的情况下,主要研究机械化学抛光液的pH值对衬底表面质量的影响。实验结果表明,当机械化学抛光液的pH值为9.4时,获得了高质量、低损伤的芯片衬底表面,并实现了最佳的探测器组件成像效果。 展开更多
关键词 InAs/GaSbⅡ类超晶格 红外探测器 背减薄 PH值
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基于石墨烯材料的太赫兹波探测器研究进展 被引量:3
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作者 仝文浩 刘北云 +5 位作者 杨炎翰 游聪娅 王保柱 睢丙东 袁瑞玚 张永哲 《太赫兹科学与电子信息学报》 北大核心 2018年第4期588-594,共7页
太赫兹波具有瞬态性、宽带性、穿透性和低能性等一系列独特性质,使其在材料研究、信息传递、环境检测、国防安全、医疗服务等方面展现了非常广阔的应用前景。作为该领域应用的关键,太赫兹探测器得到科研人员极大的重视。一般来讲,探测... 太赫兹波具有瞬态性、宽带性、穿透性和低能性等一系列独特性质,使其在材料研究、信息传递、环境检测、国防安全、医疗服务等方面展现了非常广阔的应用前景。作为该领域应用的关键,太赫兹探测器得到科研人员极大的重视。一般来讲,探测器的性能很大程度上依赖于基质材料的特性。石墨烯具有2个非常重要的优势,一是石墨烯具有线性能带结构,使得能够吸收太赫兹波;二是石墨烯具有超高载流子迁移率,能够进行超快探测。因此,石墨烯基有望成为太赫兹频段新一代高性能探测器的基质材料。详细综述了近几年关于石墨烯基太赫兹探测器的发展状况。 展开更多
关键词 石墨烯 太赫兹波 探测器 室温 高灵敏度
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石墨烯导热性能及其测试方法 被引量:7
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作者 李坤威 刘亚伟 +6 位作者 张剑 游聪娅 田甜 张博 刘丹敏 陈爱兵 张永哲 《化学通报》 CSCD 北大核心 2017年第7期603-610,共8页
石墨烯以其独特的结构和优异的性能引起人们广泛的关注。本文通过总结近期国内外石墨烯导热工作研究进展,梳理了石墨烯的导热机理,根据导热机理指出缺陷、基底、石墨烯边缘是影响石墨烯热导率的主要因素。综述了采用分子动力学及非平衡... 石墨烯以其独特的结构和优异的性能引起人们广泛的关注。本文通过总结近期国内外石墨烯导热工作研究进展,梳理了石墨烯的导热机理,根据导热机理指出缺陷、基底、石墨烯边缘是影响石墨烯热导率的主要因素。综述了采用分子动力学及非平衡态格林函数方法进行石墨烯热导率模型计算的研究成果,并在模型的基础上,全面阐述了实验方面针对不同层数石墨烯热导率的测试方法及结果。 展开更多
关键词 石墨烯 导热机理 理论模型 热导率测试方法
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High responsivity and near-infrared photodetector based on graphene/MoSe_2 heterostructure 被引量:3
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作者 刘北云 游聪娅 +5 位作者 赵晨 申高亮 刘亚伟 李毓佛 严辉 张永哲 《Chinese Optics Letters》 SCIE EI CAS CSCD 2019年第2期7-11,共5页
Graphene has attracted great interest in optoelectronics, owing to its high carrier mobility and broadband absorption. However, a graphene photodetector exhibits low photoresponsivity because of its weak light absorpt... Graphene has attracted great interest in optoelectronics, owing to its high carrier mobility and broadband absorption. However, a graphene photodetector exhibits low photoresponsivity because of its weak light absorption. In this work, we designed a graphene/MoSe_2 heterostructure photodetector, which exhibits photoresponse ranging from visible to near infrared and an ultrahigh photoresponsivity up to 1.3 × 104 A·W^(-1) at 550 nm. The electron–hole pairs are excited in a few-layered MoSe2 and separated by the built-in electric field. A large number of electrons shift to graphene, while the holes remain in the MoSe_2, which creates a photogating effect. 展开更多
关键词 HIGH RESPONSIVITY NEAR-INFRARED MoSe2 HETEROSTRUCTURE
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