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硅基1.55μm共振腔增强型探测器(英文) 被引量:3
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作者 毛容伟 左玉华 +6 位作者 李传波 成步文 滕学公 罗丽萍 张合顺 于金中 王启明 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第2期271-275,共5页
报道了一种利用硅乳胶作为键合介质的新型键合技术 .高反射率的SiO2 /Si反射镜预先用PECVD系统生长在硅片上 ,然后键合到InGaAs有源区上 ,键合温度为 35 0℃ ,无需特殊表面处理 ,反射镜的反射率可以高达 99 9%以上 ,制作工艺简单 ,价格... 报道了一种利用硅乳胶作为键合介质的新型键合技术 .高反射率的SiO2 /Si反射镜预先用PECVD系统生长在硅片上 ,然后键合到InGaAs有源区上 ,键合温度为 35 0℃ ,无需特殊表面处理 ,反射镜的反射率可以高达 99 9%以上 ,制作工艺简单 ,价格便宜 .并获得硅基峰值响应波长为 1 5 4 μm ,量子效率达 2 2 6 %的窄带响应 ,峰值半高宽为 2 7nm .本方法有望用于工业生产 . 展开更多
关键词 RCE探测器 高量子效率 直接键合 键合介质 INGAAS
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硅基1.55μm可调谐共振腔窄带光电探测器的研究 被引量:3
2
作者 毛容伟 成步文 +5 位作者 李传波 左玉华 滕学公 罗丽萍 余金中 王启明 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第12期1783-1787,共5页
制作了一种低成本硅基1.55μm可调谐共振腔增强型探测器.首次获得硅基长波长可调谐共振腔探测器的窄带响应,共振峰量子效率达44%,峰值半高宽为12.5nm,调谐范围14.5nm,并且获得1.8GHz的高频响应.本制作工艺不复杂,成本低,有望用于工业生产.
关键词 共振腔增强型探测器 介质键合 INGAAS 可调谐 高频响应
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半导体GaN/MgAl2O4中缓冲层的透射电子显微分析 被引量:1
3
作者 韩培德 杨海峰 +2 位作者 张泽 段树坤 滕学公 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 1998年第10期736-739,共4页
运用透射电子显微镜(TEM)和高分辨透射电子显微镜(HREM)对金属有机化学气相沉积(MOCVD)的(0001)GaN/(111)MgAl2O4异质结构中的缓冲层进行了观察和分析。
关键词 外延生长 氮化镓 缓冲层 透射电子显微镜
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多孔硅膜的半峰值宽度小于10nm的针形发光峰 被引量:4
4
作者 夏永伟 滕学公 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 1996年第4期318-320,共3页
通过改变电化学腐蚀生成多孔硅膜的工艺条件,研究了它的发光峰形状的变化.第一次从实验上观测到多孔硅膜的针形发光激发谱和发射光谱,其半峰值宽度均小于10um.讨论了形成计形峰的可能机理.
关键词 多孔硅膜 光谱 可见光
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染色腐蚀多孔硅的光致可见光发光特性 被引量:1
5
作者 夏永伟 李国花 +1 位作者 滕学公 樊志军 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 1994年第10期681-685,共5页
用氯氟酸硝酸水溶液对硅单晶抛光片进行染色腐蚀,制备了多孔硅.本文研究染色腐蚀多孔硅的光致可见光发光特性,特别是激发光强度和波长与发射光强度与波长的关系,多孔硅的稳定性和响应特性.
关键词 多孔硅 光致发光 可见光 染色腐蚀
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GaAs/AlGaAs光子平行存贮器的性能
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作者 夏永伟 滕学公 +2 位作者 李国花 樊志军 王守武 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 1996年第2期131-135,共5页
本文报告用PnpN型GaAs/AlGaAs结构的光电双稳器件形成的光子平行存贮器单元器件和4×4阵列器件的特性.单元器件的最小维持功耗小于30μW.使器件从“关闭”态翻转到“导通”态所需的光触发功率小于80μW.... 本文报告用PnpN型GaAs/AlGaAs结构的光电双稳器件形成的光子平行存贮器单元器件和4×4阵列器件的特性.单元器件的最小维持功耗小于30μW.使器件从“关闭”态翻转到“导通”态所需的光触发功率小于80μW.单元面积160×160μm、间距40μm的存贮器4×4原理性阵列已经研制成功,这是0.85μm波长范围的光子平行存贮器的首次报道. 展开更多
关键词 光子平行存储器 砷化镓 ALGAAS 存储器 性能
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Pd—MOSFET氢敏元件与周边电路集成化兼容性研究
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作者 陆文兰 滕学公 《上海半导体》 1990年第2期15-17,共3页
关键词 P^d-MOSFET 氢敏元件 周边电路
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