圆光栅检测仪的研制

介绍了一种高精度、精密、自动化、动态测量的光栅检测仪，测量光栅盘的扩展不确定度为0．08″。该仪器采用了高回转精度的空气静压轴承及多头均化技术，减小了参考盘刻划误差的影响，同时，采用了计算机系统控制测量过程，进行数据处理，实现了自动化测量，检测结果和误差曲线由打印机打印输出。