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题名Al/CuPc/Cu肖特基气敏二极管制备与特性
被引量：2
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作者
王东兴
刘晓廉
焦兵兵
刘跃
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机构
哈尔滨理工大学应用科学学院
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出处
《哈尔滨理工大学学报》
CAS
2012年第2期127-130,共4页
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基金
黑龙江省教育厅科学技术研究项目(12511120)
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文摘
实验采用溅射和蒸发镀膜工艺,制备了一种新型的Al/CuPc/Cu三明治结构NO2气敏传感器.这种器件对NO2气体具有较高的敏感性,制备工艺简单,成本较低.通过研究其在NO2气体中电学特性的变化,来表征其敏感特性.研究结果表明,在10 ppm的NO2气体环境中,器件的正向电流明显增大.通过比较器件在空气和NO2气体中器件的肖特基势垒高度的变化,发现通入NO2气体50分钟后,CuPc/Al势垒高度降低了60 meV,正向整流电流增加77倍.
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关键词
肖特基
酞菁铜
敏感度
势垒高度
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Keywords
schottky
CuPc
sensitivity
potential barrier height
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分类号
TM321.5
[电气工程—电机]
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