槽式太阳能真空集热管研发的关键技术分析

从槽式太阳能热发电系统的工作原理出发,对集热管的结构、功能进行论述,提出了制约当前集热管发展的关键技术难点,并对今后开展具有自主知识产权的槽式高温集热管技术研发及其产业化发展进行了总结。

压电陶瓷阀在真空磁控反应溅射中的特性

在制备不锈钢-氮化铝(SS-AlN)金属陶瓷集热管的真空磁控溅射镀膜线上,采用PCV25型压电陶瓷阀作为反应气体氮气N2流量输出的驱动元件,实现反应溅射AlN反馈控制。研究了不同环境温度下压电阀偏置电压Vo对N2输出流量Q的影响。实验研究表明,在Vo先增加再减少的过程中,Q相应变化呈现迟滞特性。同时,该迟滞特性受压电阀工作的环境温度影响,环境温度越低迟滞特性越明显。例如与40℃相比,当环境温度为25℃时,压电阀的阈值电压小,饱和电压大,有效工作范围宽,且在压电阀有效工作范围内,N2输出流量Q随偏置电压Vo变化速率小。结合压电陶瓷阀的特性,优化设置反应溅射反馈控制参数,在高于30kW的溅射功率下,实现反应溅射AlN工艺稳定,制备厚度约为70 nm的AlN薄膜在可见光和太阳光范围内吸收几乎为零。

SS-AlN全玻璃真空集热管退火排气一体化项目试验探讨

通过对现有排气台的改造,将管口退火与真空排气同时进行。试验通过对新工艺所制作的真空管与正常工艺制作的真空管进行各项性能参数的测定与对比,从而确定该工艺的合理性与可行性。综合有关数据结果,可以确定:退火排气一体化工艺可将封口后产生的应力去除,能保证真空管质量;退火排气一体化工艺同原工艺相比,真空管的各项性能指标无明显差异。

反应溅射电压反馈智能控制的实现

磁控反应溅射中的电压波动是行业中普遍公认的难点,我们将PLC逻辑控制与先进的模糊控制结合,建立模糊逻辑,根据理论及实践经验自行设计专家系统判断程序,根据内置的逻辑判断及数据计算动态调整磁控反应溅射的电压——流量对应关系,减轻人为因素对产品质量造成的影响。这是一套磁控反应溅射电压控制的通用程序,在氮化铝反应溅射使用中电压的稳定性由目前行业中的波动±10V减低到了±1V,解决了氮化铝反应溅射电压波动大的难题,保证了生产的稳定。